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      制造流體噴射芯片的方法、打印頭、流體噴射芯片和噴墨式打印機與流程

      文檔序號:11159916閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種制造流體噴射芯片的方法,包括:

      提供襯底;

      在所述襯底上形成多個驅(qū)動元件;

      形成多個驅(qū)動元件組,每個組包括所述多個驅(qū)動元件中的并聯(lián)電耦接的至少兩個驅(qū)動元件;

      在所述襯底上形成多個流體噴射器件;以及

      將所述多個流體噴射器件中的每個流體噴射器件與所述多個驅(qū)動元件組中的相應(yīng)組電耦接,使得所述多個驅(qū)動元件根據(jù)圖像數(shù)據(jù)選擇性地激活所述多個流體噴射器件,以使流體從打印頭中排出。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,還包括在所述襯底上形成用于在所述流體噴射器件與流體源之間提供流體連通的通道的步驟。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,所述多個驅(qū)動元件包括多個晶體管。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,將每個流體噴射器件與驅(qū)動元件的相應(yīng)組電耦接的步驟包括在所述襯底上沉積電互連部件。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,每個組包括四個驅(qū)動元件。

      6.一種打印頭,包括通過權(quán)利要求1所述的方法形成的流體噴射芯片。

      7.一種流體噴射芯片,包括:

      襯底;

      多個驅(qū)動元件組,形成在所述襯底上,每個組包括至少兩個并聯(lián)電耦接的驅(qū)動元件;以及

      多個流體噴射器件,布置在所述襯底上,所述多個流體噴射器件中的每個流體噴射器件與所述多個驅(qū)動元件組中的相應(yīng)組電耦接,使得所述多個驅(qū)動元件根據(jù)圖像數(shù)據(jù)選擇性地激活所述多個流體噴射器件,以使流體從打印頭中排出。

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的流體噴射芯片,其中,所述襯底還包括用于在所述流體噴射器件與流體源之間提供流體連通的通道。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的流體噴射芯片,其中,所述多個流體噴射器件中的每個流體噴射器件與沿著所述通道豎直相鄰的流體噴射器件在豎直方向上間隔開統(tǒng)一距離。

      10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的流體噴射芯片,其中,所述多個流體噴射器件形成兩個列,各列位于所述通道的相對側(cè)。

      11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的流體噴射芯片,其中,每個列相對于另一個列在豎直方向上偏移。

      12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的流體噴射芯片,其中,每個列相對于另一個列在豎直方向上偏移一距離,所述距離是所述多個流體噴射器件中的各豎直相鄰的流體噴射器件之間的統(tǒng)一豎直距離的一半。

      13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的流體噴射芯片,其中,所述多個驅(qū)動元件組包括多個晶體管。

      14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的流體噴射芯片,其中,每個組包括四個并聯(lián)電耦接的驅(qū)動元件。

      15.一種噴墨式打印機,包括:

      外殼;

      滑動架,用于沿著布置在所述外殼內(nèi)的軸進(jìn)行往復(fù)運動;

      一個或多個打印頭組件,布置在所述滑動架上,使得所述一個或多個打印頭組件根據(jù)控制機制隨著所述滑動架沿所述軸進(jìn)行往復(fù)運動而在打印媒介上噴射墨,其中,所述一個或多個打印頭組件中的至少一個打印頭組件包括:

      打印頭,所述打印頭包括:

      流體噴射芯片,所述流體噴射芯片包括:

      襯底;

      多個驅(qū)動元件組,形成在所述襯底上,每個組包括至少兩個并聯(lián)電耦接的驅(qū)動元件;以及

      多個流體噴射器件,布置在所述襯底上,所述多個流體噴射器件中的每個流體噴射器件與所述多個驅(qū)動元件組中的相應(yīng)組電耦接,使得所述多個驅(qū)動元件根據(jù)圖像數(shù)據(jù)選擇性地激活所述多個流體噴射器件,以使流體從打印頭中排出。

      16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的噴墨式打印機,其中,所述襯底還包括用于在所述流體噴射器件與流體源之間提供流體連通的通道。

      17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的噴墨式打印機,其中,所述多個流體噴射器件中的每個流體噴射器件與沿著所述通道豎直相鄰的流體噴射器件在豎直方向上間隔開統(tǒng)一距離。

      18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的噴墨式打印機,其中,所述多個流體噴射器件形成兩個列,各列位于所述通道的相對側(cè)。

      19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的噴墨式打印機,其中,每個列相對于另一個列在豎直方向上偏移。

      20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的噴墨式打印機,其中,每個組包括四個并聯(lián)電耦接的驅(qū)動元件。

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