絲網(wǎng)印刷機、元件安裝線和絲網(wǎng)印刷方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的一個或多個實施例涉及絲網(wǎng)印刷機、元件安裝線和絲網(wǎng)印刷方法。
【背景技術(shù)】
[0002]元件安裝線設(shè)置有將諸如焊料的膏劑印刷在基板上的絲網(wǎng)印刷機和將元件安裝在其上由絲網(wǎng)印刷機印刷了膏劑的基板上的元件安裝機。在這種元件安裝線的絲網(wǎng)印刷機中，使由一對夾緊構(gòu)件在兩側(cè)夾緊的基板與形成有圖案孔的掩模的下表面接觸，使刮板在與基板接觸的掩模上滑動以使掩模的圖案孔填充有膏劑，然后使基板沿遠(yuǎn)離掩模的方向移動以執(zhí)行板釋放(例如參見專利文獻(xiàn)I)。
[0003]專利文獻(xiàn)I 是 JP-A-2003-266629。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]然而，近年來，掩模的厚度已經(jīng)因與細(xì)節(jié)距基板相關(guān)聯(lián)的印刷圖案的精細(xì)化而減小。因此，由于在填充膏劑時與基板緊密接觸的掩模在隨后的板釋放中被拉向基板且掩模的中心部由此向下彎曲，因此在基板的端部部分圖案孔相對于膏劑形成的方向不垂直于基板，由此膏劑可能失去形狀，印刷精度可能降低。
[0005]本發(fā)明實施例的目的之一是提供通過防止膏劑在板釋放時失去形狀而確保良好印刷精度的絲網(wǎng)印刷機、元件安裝線和絲網(wǎng)印刷方法。
[0006]根據(jù)實施例的絲網(wǎng)印刷機包括:掩模，具有形成在其上的圖案孔；基板保持單元，在掩模的下方由一對夾緊構(gòu)件在兩側(cè)夾緊并保持基板；基板保持單元移動機構(gòu)，使保持基板的基板保持單元移動以使基板與掩模的下表面接觸；膏劑填充單元，使通過基板保持單元移動機構(gòu)與基板接觸的掩模的圖案孔填充有膏劑；掩模抽吸部，設(shè)置在所述一對夾緊構(gòu)件中，并抽吸與基板接觸的掩模；和控制單元，控制掩模抽吸部，以在基板保持單元移動機構(gòu)使基板沿遠(yuǎn)離掩模的方向移動以在掩模的圖案孔填充有膏劑之后執(zhí)行板釋放時保持抽吸掩模，并在基板的移動開始之后，在被吸到掩模抽吸部的掩模維持平行于基板的姿態(tài)的狀態(tài)下釋放對掩模的抽吸。
[0007]根據(jù)實施例的元件安裝線包括:根據(jù)實施例的絲網(wǎng)印刷機；和元件安裝機，將元件安裝在其上由絲網(wǎng)印刷機印刷了膏劑的基板上。
[0008]根據(jù)實施例的絲網(wǎng)印刷方法包括:在其上形成有圖案孔的掩模的下方由一對夾緊構(gòu)件在兩側(cè)夾緊并保持基板的基板保持步驟；使由夾緊構(gòu)件夾緊并保持的基板與掩模的下表面接觸的接觸步驟；使與基板接觸的掩模的圖案孔填充有膏劑的膏劑填充步驟；和在掩模的圖案孔填充有膏劑之后通過使基板沿遠(yuǎn)離掩模的方向移動而執(zhí)行板釋放的板釋放步驟，其中，在板釋放步驟中，當(dāng)基板沿遠(yuǎn)離掩模的方向移動時，設(shè)置在所述一對夾緊構(gòu)件中的掩模抽吸部保持抽吸掩模，并且，在基板的移動開始之后，在被吸到掩模抽吸部的掩模維持平行于基板的姿態(tài)的狀態(tài)下，釋放掩模到掩模抽吸部的抽吸。
[0009]根據(jù)本發(fā)明，可以通過防止膏劑在板釋放時失去形狀而確保良好的印刷精度。
【附圖說明】
[0010]參照附圖描述實現(xiàn)本發(fā)明的各種特征的總體構(gòu)造。提供附圖和相關(guān)的描述是用于說明本發(fā)明的實施例，而不是限制本發(fā)明的范圍。
[0011]圖1是本發(fā)明實施例的元件安裝線的構(gòu)造的示意圖。
[0012]圖2是構(gòu)成本發(fā)明實施例的元件安裝線的絲網(wǎng)印刷機的平面圖。
[0013]圖3是本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷機的正視圖。
[0014]圖4是本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷機的側(cè)視圖。
[0015]圖5A、5B和5C是示出本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷機的操作的圖。
[0016]圖6是本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷機的基板保持單元的透視圖。
[0017]圖7是本發(fā)明實施例的基板保持單元的部分分解透視圖。
[0018]圖8A是橫截面圖，SB是分解橫截面圖，示出本發(fā)明實施例的與夾緊構(gòu)件一起的掩模抽吸部。
[0019]圖9是示出本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷機的控制系統(tǒng)的框圖。
[0020]圖1OA和1B是示出本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷機的操作的圖。
[0021]圖1lAUlB和IlC是示出本發(fā)明實施例的絲網(wǎng)印刷機的操作的圖。
【具體實施方式】
[0022]下面，參照附圖描述本發(fā)明的實施例。圖1所示的元件安裝線I設(shè)置成用于通過將元件3安裝在基板2上來制造元件安裝基板，并構(gòu)造成包括用諸如焊料的膏劑Pst在從基板供應(yīng)部4供應(yīng)來的基板2的電極2a上執(zhí)行絲網(wǎng)印刷的絲網(wǎng)印刷機5、以及將元件3安裝在其上由絲網(wǎng)印刷機5印刷了膏劑Pst的基板2上的元件安裝機6。在該實施例中，基板2在元件安裝線I中流動的方向是圖1中從左側(cè)向右側(cè)的水平面內(nèi)方向(操作者OP觀察的縱向方向)，并且被稱為X軸方向。與X軸方向垂直的水平面內(nèi)方向(操作者OP觀察的前后方向)被稱為Y軸方向，垂直方向被稱為Z軸方向。在該實施例中，圖1平面的左側(cè)對應(yīng)于基板2流動的上游側(cè)(上游處理側(cè))，圖1平面的右側(cè)對應(yīng)于基板2流動的下游側(cè)(下游處理側(cè))。
[0023]在圖2、3和4中，絲網(wǎng)印刷機5設(shè)置有位于基臺11上的基板保持_移動機構(gòu)12，掩模13安裝在基板保持-移動機構(gòu)12的上方。作為基板送入部的將從位于上游處理側(cè)的另一裝置(這里是基板供應(yīng)部4)送入的基板2送至基板保持-移動機構(gòu)12的送入傳送器14設(shè)置在基臺11上的基板保持-移動機構(gòu)12的基板2流動的上游側(cè)(圖2和3平面的左側(cè))，并且作為基板排出部的接收從基板保持-移動機構(gòu)12送來的基板2并將基板2排出到位于下游處理側(cè)的另一裝置(這里是元件安裝機6)的排出傳送器15設(shè)置在基臺11上的基板保持-移動機構(gòu)12的基板2流動的下游側(cè)(圖2和3平面的右側(cè))。絲網(wǎng)印刷機5在掩模13的上方設(shè)置有印刷頭16和膏劑供應(yīng)注射器17，并在掩模13的下方設(shè)置有照相機單元18，印刷頭16通過印刷頭移動機構(gòu)16M移動，膏劑供應(yīng)注射器17與印刷頭16 —體地設(shè)置，照相機單元18作為成像裝置，在照相機單元移動機構(gòu)18M的作用下在水平面中移動。
[0024]在圖3和4中，基板保持_移動機構(gòu)12由保持基板2的基板保持單兀21和使基板保持單元21在水平面內(nèi)方向(在X-Y平面中)和垂直(Z軸)方向上移動的基板保持單元移動機構(gòu)22形成?；灞３謫卧?1設(shè)置有:升降板31，成為基部；一對前后傳送器支撐構(gòu)件32，從升降板31向上延伸；一對前后傳送器33 (還參見圖2)，附接到傳送器支撐構(gòu)件32 ;下接收部35，在附接到升降板31的升降致動器34的作用下在升降板31的上方上下移動；以及一對前后夾緊構(gòu)件37 (還參見圖2)，設(shè)置在傳送器33的上方，并在夾緊構(gòu)件驅(qū)動電機36的作用下沿Y軸方向打開或閉合。
[0025]在圖3和4中，下接收部35由在升降致動器34的作用下上下移動的基部工作臺35a和設(shè)置成從基部工作臺35a的上表面向上延伸的多個下接收銷35b形成。下接收部35的基部工作臺35a，在基板保持單元移動機構(gòu)22不上推基板保持單元21且升降致動器34也不上推下接收部35的第一位置到達(dá)Hl的高度(圖5A)，在基板保持單元移動機構(gòu)22不上推基板保持單元21且升降致動器34上推下接收部35的第二位置到達(dá)H2的高度，并在基板保持單元移動機構(gòu)22在升降致動器34上推下接收部35的狀態(tài)下上推基板保持單元21的第三位置到達(dá)H3的高度(圖5C)。圖3和4示出基部工作臺35a位于第一位置的狀態(tài)。
[0026]在圖2中，掩模13具有在X-Y平面中延伸的矩形的平板形狀，其外周由框架構(gòu)件13W支撐。掩模13具有圖案孔13P，圖案孔13P的布置形成為對應(yīng)于基板2的電極2a的布置。一對基板側(cè)標(biāo)記2m設(shè)置在基板2的對角位置,一對掩模側(cè)標(biāo)記13m對應(yīng)于基板側(cè)標(biāo)記2m設(shè)置在掩模13上。
[0027]在圖6中，每個夾緊構(gòu)件37設(shè)置有掩模抽吸部40。如圖7、8A和8B所示，掩模抽吸部40具有塊體41，該塊體41由設(shè)置成