Oled顯示屏真空干膜裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及OLED顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種OLED顯示屏真空干膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)電致發(fā)光顯示(OLED)技術(shù)快速發(fā)展，給顯示界帶來巨大沖擊，然而顯示技術(shù)一直停留在小尺寸顯示屏，而大尺寸顯示屏成本一直無法降下來去和液晶顯示去競爭，從而更快的走入尋常百姓家中。
[0003]現(xiàn)在打印和印刷技術(shù)被科學(xué)界公認(rèn)為降低大尺寸OLED顯示屏的最佳途徑，所以工業(yè)界紛紛研究大尺寸OLED打印及印刷技術(shù)及工藝，而打印及印刷工藝與傳統(tǒng)技術(shù)除了把蒸鍍工藝改為打印或印刷，還有因?yàn)榇蛴〖坝∷⑦@樣濕法工藝而帶來的干燥處理問題，這種干燥處理就是把濕法工藝中材料需要做成墨水或者漿料而引入的溶劑去除掉，但是目前的加工技術(shù)中，對(duì)于如何去除這種溶劑，尚沒有較佳的處理技術(shù)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種可以有效地去除濕法工藝中墨水或者漿料而引入的溶劑的OLED顯示屏真空干膜裝置。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0006]OLED顯示屏真空干膜裝置，其包括:
[0007]箱體；
[0008]冷熱板，其固定安裝于箱體內(nèi)，冷熱板還連接冷卻加熱源；
[0009]第一真空栗，其安裝于箱體的頂部，從箱體的頂部對(duì)箱體的內(nèi)部抽真空；
[0010]第二真空栗，其相對(duì)第一真空栗安裝于箱體的底部，從箱體的底部對(duì)箱體的內(nèi)部抽真空。
[0011]本發(fā)明通過在箱體的頂部和底部分別設(shè)置第一真空栗和第二真空栗，并在箱體內(nèi)固定設(shè)置冷熱板，使用時(shí)，將樣品放在冷熱板上，關(guān)好箱體，冷熱板快速加熱，第一真空栗粗抽，到達(dá)一定真空度，然后啟動(dòng)第二真空栗抽到極限真空，然后冷熱板快速冷卻樣品，補(bǔ)氣平衡，取出樣品，由此使得OLED的濕法工藝中材料需要做成墨水或者漿料而引入的溶劑被有效地去除掉，有效地解決了 OLED濕法工藝中的干燥處理問題，從而提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本，使工業(yè)界突破大尺寸OLED顯示成為可能。
[0012]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以作如下改進(jìn):
[0013]作為優(yōu)選的方案，上述的箱體上連接第一真空栗的部分上設(shè)置有真空度調(diào)節(jié)器。
[0014]采用上述優(yōu)選的方案，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)第一真空栗的抽速和真空度大小的調(diào)節(jié)。
[0015]作為優(yōu)選的方案，上述的箱體的頂部設(shè)置有真空室，第一真空栗連通真空室。
[0016]采用上述優(yōu)選的方案，可以實(shí)現(xiàn)在箱體的頂部預(yù)抽真空。
[0017]作為優(yōu)選的方案，上述的真空室上還設(shè)置有加速腔室。
[0018]采用上述優(yōu)選的方案，在同等真空栗配置情況下可以加快預(yù)抽真空速度大于40% ο
[0019]作為優(yōu)選的方案，上述的真空室呈上窄下寬的結(jié)構(gòu)。
[0020]采用上述優(yōu)選的方案，可使的抽力到達(dá)真空室下部分散均勻。
[0021]作為優(yōu)選的方案，上述的真空室內(nèi)設(shè)置有抽力分散單元，用于分散真空室內(nèi)所形成的抽力。
[0022]采用上述優(yōu)選的方案，可以解決真空接口到真空室體積由小突然變大引起的抽力分散不均問題，使得設(shè)備水平面上抽力分布均勻大小一致，提高批次穩(wěn)定性與成品率，從而降低生產(chǎn)成本。
[0023]作為優(yōu)選的方案，上述的抽力分散單元包括多塊由上至下依次設(shè)置的板體，該板體上開設(shè)有多個(gè)通孔。
[0024]采用上述優(yōu)選的方案，可以進(jìn)一步地使得設(shè)備水平面上抽力分布均勻大小一致。
[0025]作為優(yōu)選的方案，上述的板體之間還設(shè)置膜層。
[0026]采用上述優(yōu)選的方案，可以進(jìn)一步地使得設(shè)備水平面上抽力分布均勻大小一致。
[0027]作為優(yōu)選的方案，上述的冷熱板的周圍設(shè)置剖面呈有u形的導(dǎo)向板。
[0028]采用上述優(yōu)選的方案，可以輔助抽力均勻向上，抽力均勻的優(yōu)點(diǎn)就是膜干燥的均勻，一致性好，批次穩(wěn)定型好，自然成品率就高，成本自然就降低。
[0029]作為優(yōu)選的方案，上述的冷熱板的底部還設(shè)置有連通箱體外部的補(bǔ)氣口。
[0030]采用上述優(yōu)選的方案，可以通過微量補(bǔ)氣輔助控制真空度及加快干燥過程。
【附圖說明】
[0031]圖1為本發(fā)明的OLED顯示屏真空干膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032]圖2為本發(fā)明的OLED顯示屏真空干膜裝置中的抽力分散單元的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0033]其中，1.箱體11.冷熱板12.真空壁13.真空室14.加速腔室15.導(dǎo)向板16.補(bǔ)氣口 2.第一真空栗21.真空度調(diào)節(jié)器3.第二真空栗4.抽力分散單元41.板體42.膜層。
【具體實(shí)施方式】
[0034]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0035]為了達(dá)到本發(fā)明的目的，如圖1所示，在本發(fā)明的OLED顯示屏真空干膜裝置的其中一些實(shí)施方式中，其包括:箱體I ；冷熱板11，其固定安裝于箱體I內(nèi)，冷熱板11還連接冷卻加熱源(未示出)；第一真空栗2，其安裝于箱體I的頂部，從箱體I的頂部對(duì)箱體I的內(nèi)部抽真空;第二真空栗3，其相對(duì)第一真空栗2安裝于箱體I的底部，從箱體I的底部對(duì)箱體I的內(nèi)部抽真空。
[0036]其中，第一真空栗2具體可以為前級(jí)栗，第二真空栗3具體可以是高真空分子栗、冷栗或者擴(kuò)散栗。同時(shí)，箱體I內(nèi)設(shè)置的真空壁12，其具有加熱冷卻功能，可以在前級(jí)預(yù)抽時(shí)通過冷卻加熱方式改善抽速。
[0037]本實(shí)施例的OLED顯示屏真空干膜裝置通過在箱體的頂部和底部分別設(shè)置第一真空栗和第二真空栗，并在箱體內(nèi)固定設(shè)置冷熱板，使用時(shí)，將樣品放在冷熱板上，關(guān)好箱體，冷熱板快速加熱，第一真空栗粗抽，到達(dá)一定真空度，然后啟動(dòng)第二真空栗抽到極限真空，然后冷熱板快速冷卻樣品，補(bǔ)氣平衡，取出樣品，由此使得OLED的濕法工藝中材料需要做成墨水或者漿料而引入的溶劑被有效地去除掉，有效地解決了 OLED濕法工藝中的干燥處理問題，從而提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本。
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