檢測設(shè)備及其探針組件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及測試設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種探針組件以及使用該探針組件的檢測設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著LCD(Liquid Crystal Display，液晶顯示器)顯示技術(shù)的不斷發(fā)展，LTPS(LowTemperature Poly-silicon，低溫多晶娃技術(shù))工藝面板被認(rèn)為是目前全球高端應(yīng)用市場最具發(fā)展前景的主流顯示技術(shù)之一。具有高分辨率、反應(yīng)速度快、高亮度、高開口率、低功耗等優(yōu)勢，被廣泛應(yīng)用在中高端智能手機(jī)、平板電腦等中小尺寸顯示領(lǐng)域。但因LTPS工藝面板中的陣列制程復(fù)雜導(dǎo)致產(chǎn)品良率不高，出貨需求缺口大。而陣列測試儀檢查可以監(jiān)控LTPS制程，反饋產(chǎn)線，達(dá)到不斷提高良率之目的。所以大多產(chǎn)線都會(huì)對產(chǎn)品進(jìn)行使用陣列測試儀檢查。
[0003]現(xiàn)在業(yè)界LTPS/AMOLED (Active-matrix organic light emitting d1de，有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極體面板)使用全接觸型陣列測試儀設(shè)備進(jìn)行測試，主要包括C0G(chipon grass，玻璃芯片)方式、(Full-Pin Contact Probing，全接腳探針)和Demux(解復(fù)用器)方式，現(xiàn)有技術(shù)中的探針與LCD顯示器中的測試點(diǎn)接觸測試過程中，探針需要足夠的滑行量才能夠與LTPS工藝的面板中的測試點(diǎn)接觸，為保證測試結(jié)果精確度，不發(fā)生漏接觸現(xiàn)象。固定探針的探針卡需要足夠針卡滑行量保證探針與測試點(diǎn)完全接觸，但是由于探針與測試點(diǎn)均過細(xì)，難以控制和判斷探針將要與測試點(diǎn)接觸時(shí)的針卡滑行量，滑行過快，容易刮損測試點(diǎn)，滑行過慢容易誤以為探針已全部與測試點(diǎn)接觸，導(dǎo)致出現(xiàn)部分測試點(diǎn)漏測現(xiàn)象。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種檢測設(shè)備及其探針組件，主要解決現(xiàn)有技術(shù)在對LTPS工藝的面板進(jìn)行測試過程中，探針與測試點(diǎn)接觸時(shí)容易出現(xiàn)探針刮損測試點(diǎn)以及觸點(diǎn)漏測等技術(shù)問題。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種探針固定組件，其包括固定板、電路板、探針以及彈性件，電路板與固定板相固定，電路板具有測試連接部；探針一端與測試連接部連接，另一端用于與產(chǎn)品的測試點(diǎn)接觸，以對產(chǎn)品進(jìn)行電路測試；彈性件將探針與測試連接部彈性連接，以使探針與產(chǎn)品的測試點(diǎn)彈性接觸從而減少探針對產(chǎn)品的測試點(diǎn)的刮損和接觸不良。
[0006]其中，探針為多個(gè)，對應(yīng)地，測試連接部為多個(gè)，多個(gè)測試連接部陣列排布于電路板上。
[0007]其中，彈性件為多個(gè)，與探針一一對應(yīng)。
[0008]其中，彈性件為一塊，多個(gè)探針陣列于彈性件上。
[0009]其中，彈性件為兩塊以上，兩塊以上彈性件排列設(shè)于電路板上，其中，每塊彈性件上設(shè)有兩個(gè)以上的探針。
[0010]其中，彈性件為彈簧。
[0011]其中，彈性件為硅膠墊或橡膠墊。
[0012]其中，固定板具有通孔，電路板插設(shè)于固定板的內(nèi)部，彈性件設(shè)于通孔并與抵接至電路板。
[0013]其中，探針固定組件還包括測面攝像頭和測高攝像頭，測面攝像頭，設(shè)于探針的一側(cè)并垂直設(shè)于固定板，用于反饋被測物的位置信息以方便探針與產(chǎn)品的測試點(diǎn)對位；測高攝像頭垂直設(shè)于固定板的側(cè)面，用于反饋探針固定組件所處高度的環(huán)境信息以方便探針與產(chǎn)品的測試點(diǎn)快速對位。
[0014]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的另一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種陣列基板檢測裝置，陣列基板檢測裝置包括上述的探針固定組件。
[0015]本發(fā)明的有益效果是:區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明的檢測設(shè)備及其探針組件在探針與測試連接部通過彈性件彈性連接，以使探針與產(chǎn)品的測試點(diǎn)接觸時(shí)具有一定的彈性滑行量，從而減少探針對產(chǎn)品的測試點(diǎn)的刮損和避免出現(xiàn)接觸不良現(xiàn)象，提高測試精度和被測產(chǎn)品的質(zhì)量。
【附圖說明】
[0016]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中:
[0017]圖1是本發(fā)明探針固定組件一實(shí)施例的截面示意圖；
[0018]圖2是本發(fā)明探針固定組件另一實(shí)施例的截面示意圖；
[0019]圖3是本發(fā)明探針固定組件另一實(shí)施例的截面示意圖；
[0020]圖4是本發(fā)明探針固定組件另一實(shí)施例的截面示意圖；
[0021]圖4a是圖4所示的探針固定組件的A截面放大示意圖；
[0022]圖5是本發(fā)明探針固定組件另一實(shí)施例的截面示意圖；
[0023]圖6是本發(fā)明探針固定組件另一實(shí)施例的截面示意圖；
[0024]圖7是圖6中緊固件的另一結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖8是圖6中緊固件的另一結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖9是圖6中緊固件的另一結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖10是本發(fā)明陣列基板檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，均屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0029]請參閱圖1，圖1是本發(fā)明探針固定組件一實(shí)施例的截面示意圖。本實(shí)施例中的探針固定組件10包括固定板100、電路板200、探針300以及彈性件400，電路板200與固定板100相固定，電路板200具有測試連接部210。探針300 —端與測試連接部210連接，另一端用于與產(chǎn)品的測試點(diǎn)接觸，以對產(chǎn)品進(jìn)行電路測試。彈性件400將探針300與測試連接部210彈性連接，以使探針300與產(chǎn)品的測試點(diǎn)彈性接觸從而減少探針300對產(chǎn)品的測試點(diǎn)的刮損并且避免接觸不良。本實(shí)施例中的電路板200設(shè)于固定板100的表面，彈性件覆蓋于測試連接部210。
[0030]請一并參閱圖2，圖2是本發(fā)明探針固定組件另一實(shí)施例的截面示意圖。在其它實(shí)施例中，彈性件400可以為彈性柱420，該彈性柱420由硅膠、橡膠或皮革等具有彈性作用的彈性材料制成，探針固定組件10進(jìn)一步包括導(dǎo)線500，該導(dǎo)線500設(shè)于彈性件400中，其一端與探針300連接，另一端與測試連接部210導(dǎo)通。彈性柱420可通過膠水、熱熔膠或雙面膠等具有粘性的材料粘于電路板200上。
[0031]請一并參閱圖3，圖3是本發(fā)明探針固定組件另一實(shí)施例的截面示意圖。在其它實(shí)施例中的電路板200并不一定限定設(shè)于固定板100表面，其也可以設(shè)于固定板100的內(nèi)部，具體地，固定板100具有一通槽110和通孔120，電路板200設(shè)于該通槽110中，彈性件400設(shè)于通孔120中并抵接至電路板200。進(jìn)一步地，本實(shí)施例的探針固定組件10還包括旋轉(zhuǎn)扣600，該旋轉(zhuǎn)扣600設(shè)于固定板100的側(cè)面，用于在電路板200插設(shè)于通槽110后可旋轉(zhuǎn)地堵住通槽110以防止電路板200滑出。旋轉(zhuǎn)扣600通過固定件可旋轉(zhuǎn)地設(shè)于固定板100的側(cè)面，該固定件可以是螺釘610或柱子。
[0032]本發(fā)明的探針300為多個(gè)，對應(yīng)地，測試連接部210為多個(gè)，多個(gè)測試連接部210陣列排布于電路板200上。彈性件400為多個(gè)，與探針300——對應(yīng)。
[0033]請一并參閱圖4，圖4是本發(fā)明探針固定組件另一實(shí)施例的截面示意圖。在其它實(shí)施例中的彈性件400還可以是彈簧430，彈簧430設(shè)于通孔120并抵接至電路板200的測試連接部210。為防止彈簧430過度晃動(dòng)，通孔120的直徑比彈簧430的徑向最大寬度只需略大 1.5-0.1mm，優(yōu)選 0.2mm。
[0034]請一并參閱圖4a，圖4a是圖4所示的探針固定組件的A截面放大示意圖。在其它實(shí)施例中，進(jìn)一步地，彈性件400還包括固定片431，彈簧430 —端與測試連接部210導(dǎo)通，另一端插入固定片431并與探針300導(dǎo)通。固定板100進(jìn)一步具有卡接孔140、插入口 150以及卡接部160，卡接孔140兩端分別連通通孔120、插入口 150，固定片431以一定的角度傾斜插入至