技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及提供一種用于光刻設(shè)備的溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)。對象中的溫度變化引起對象變形，這阻礙了對象被精確定位。溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)使用對象中或上的設(shè)置有流體的導(dǎo)管系統(tǒng)以控制對象的溫度，從而減小對象變形。以這種方式，可以更精確地定位對象的部分。然而，對象的加速和溫度調(diào)節(jié)系統(tǒng)引發(fā)對象上或中的導(dǎo)管系統(tǒng)內(nèi)的流體的壓力變化，這也會引起對象變形。為了提供改進的導(dǎo)管系統(tǒng)，光刻設(shè)備還包括控制系統(tǒng)，其用于基于表示導(dǎo)管中的壓力變化的測量值來控制對象的移動。

技術(shù)研發(fā)人員：P·德維特;Y·德沃斯;P·赫姆佩紐斯;N·科姆珀;R·M·G·里杰斯;F·范德梅尤倫;S·博伊瑞
受保護的技術(shù)使用者：ASML荷蘭有限公司
文檔號碼：201580032779
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.21
技術(shù)公布日：2017.02.22