技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種浸液限制機(jī)構(gòu)及溫度補(bǔ)償方法，該浸液限制機(jī)構(gòu)包括浸沒(méi)頭，浸沒(méi)頭上由外到內(nèi)依次設(shè)有供氣腔和氣液回收腔，供氣腔與第一供氣設(shè)備連通，用于形成對(duì)浸液密封的氣簾，氣液回收腔包括由內(nèi)至外同軸設(shè)置的內(nèi)腔體和外腔體，內(nèi)腔體通過(guò)抽排管與氣液回收設(shè)備連通，用于抽排氣液混合物，外腔體通過(guò)進(jìn)氣管與第二供氣設(shè)備連通，第二供氣設(shè)備提供的氣體與內(nèi)腔體外壁、外腔體內(nèi)壁接觸后冷凝放熱。本發(fā)明通過(guò)在外腔體內(nèi)通入冷凝氣體對(duì)內(nèi)腔體進(jìn)行可全面的熱補(bǔ)償，且直接在內(nèi)層壁上進(jìn)行熱補(bǔ)償，減小了熱阻，增大了熱補(bǔ)償面積，提高了效率；同時(shí)外腔體將內(nèi)腔體與其他部位進(jìn)行了熱隔離，降低了制冷“冷源”作用在其余部位上的制冷功率。

技術(shù)研發(fā)人員：趙丹平
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.02.29
技術(shù)公布日：2017.09.15