技術(shù)總結(jié)
微機(jī)械設(shè)備包括能夠圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)的可傾斜結(jié)構(gòu)?？蓛A斜結(jié)構(gòu)通過(guò)壓電型的致動(dòng)結(jié)構(gòu)被耦合到固定結(jié)構(gòu)。致動(dòng)結(jié)構(gòu)由具有螺旋形狀的彈簧元件形成。每個(gè)彈簧元件包括橫向于第一旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)延伸的致動(dòng)臂。每個(gè)致動(dòng)臂承載壓電材料的相應(yīng)壓電帶。致動(dòng)臂被分開(kāi)為兩組，使得其壓電帶處于相反相位而被偏壓以獲得在圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)的可傾斜結(jié)構(gòu)的相反方向中的旋轉(zhuǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：D·朱斯蒂;R·卡爾米納蒂;M·默利
受保護(hù)的技術(shù)使用者：意法半導(dǎo)體股份有限公司
文檔號(hào)碼：201610487301
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.28
技術(shù)公布日：2017.06.13