本發(fā)明涉及彩色濾光片技術(shù)領(lǐng)域,具體地說,涉及一種彩色濾光片及其獲取的涂布裝置和獲取方法。
背景技術(shù):
彩色濾光片(Color filter)是一種表現(xiàn)顏色的光學(xué)濾光片,它可以精確選擇欲通過的小范圍波段光波,而反射掉其他不希望通過的波段。彩色濾光片通常安裝在光源的前方,使人眼可以接收到飽和的某個(gè)顏色光線。有紅外濾光片紅外,綠色,藍(lán)色等。與UV濾光片,VD濾光片相比,凡是帶色的濾光片之總稱。如反差濾光片、分色用濾光片、LB濾光片等。
彩色濾光片用途包括通過選色通帶及顯示器的最大輸出功率對(duì)單色顯示器進(jìn)行反差增強(qiáng)。寬帶濾光片用來提高光學(xué)掃描儀和紅、黃、琥珀色發(fā)光二極管顯示器的反差及性能。中密度三槽型濾光片及極化鏡通過減少內(nèi)部反射并在顯示器輸出功率及背景之間產(chǎn)生一個(gè)較大的變量從而增強(qiáng)液晶顯示器(LCD)的反差。
彩色濾光片基本結(jié)構(gòu)由玻璃基板、黑色矩陣、彩色層、保護(hù)層和ITO導(dǎo)電膜組成。
彩色濾光片為液晶平面顯示器彩色化之關(guān)鍵零組件。液晶平面顯示器為非主動(dòng)發(fā)光之組件,其色彩之顯示必需透過內(nèi)部的背光模塊(穿透型LCD)或外部的環(huán)境入射光(反射型或半穿透型LCD)提供光源,再搭配驅(qū)動(dòng)IC(Drive IC)與液晶控制形成灰階顯示,而后透過彩色濾光片的R,G,B彩色層提供色相,形成彩色顯示畫面。
在液晶面板行業(yè),彩色濾光片側(cè)基板制程幾乎全部為光阻材料制作,光阻在玻璃基體上經(jīng)涂布、曝光、顯影形成液晶盒重要組成部分之一——彩色濾光片,隨著時(shí)代進(jìn)步和技術(shù)發(fā)展,日益精細(xì)的產(chǎn)品對(duì)制程的要求也越來越高,涂布作為一道重要的工藝過程,其涂布出來的光阻膜層膜厚均一性顯得尤為重要,此方案目的即為改善涂布膜厚均一性;
目前業(yè)界彩色濾光片工程對(duì)于每道涂布制程的特性值監(jiān)控中均有涂布膜厚均一性這一項(xiàng),一般以彩色層的膜厚均一性2.5%~3%作為規(guī)格值,彩色層的膜厚均一性算法公式如下:
膜厚均一性=[(膜厚最大值-膜厚最小值)/(膜厚平均值×2)]×100%
業(yè)界涂布設(shè)備涂布彩色濾光片的彩色層一般依涂布動(dòng)作的先后順序分為三個(gè)部分(如圖1所示):涂布初始段、涂布穩(wěn)定段和涂布末尾段,涂布初始段為涂布機(jī)構(gòu)的加速階段涂布的膜層,涂布穩(wěn)定段為涂布機(jī)構(gòu)加速完成在穩(wěn)定運(yùn)行階段涂布的膜層,涂布末尾段為涂布機(jī)構(gòu)在減速階段涂布的膜層。
一般情況下,穩(wěn)定運(yùn)行階段涂布的膜層膜厚均一性是非常好的,可達(dá)1%左右,而涂布初始段和涂布末尾段因?yàn)橥坎紮C(jī)構(gòu)還在加減速運(yùn)行,此種不穩(wěn)定的狀態(tài)導(dǎo)致這兩段的膜厚均需慢慢調(diào)整才能達(dá)到和整體的膜厚偏差不大的范圍,從而達(dá)到所需的膜厚均一性規(guī)格;
目前業(yè)界此種涂布方式存在以下缺點(diǎn):1、彩色濾光片彩色層的膜厚均一性值難以做到更好,一般均在2%以上;2、新產(chǎn)品投入前均需對(duì)涂布的涂布初始段和涂布末尾段調(diào)整多次,調(diào)整的參數(shù)和對(duì)應(yīng)的膜厚變化范圍沒有明確的線性關(guān)系,難以調(diào)整;3、調(diào)節(jié)參數(shù)較多,且調(diào)整操作頻繁,對(duì)于專業(yè)要求較高,若調(diào)整出錯(cuò),可能影響設(shè)備壽命或者造成品質(zhì)降低;4、有時(shí)會(huì)因設(shè)備硬體極限導(dǎo)致不能進(jìn)一步的調(diào)整。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的目的在于提供一種獲取彩色濾光片的涂布裝置,該裝置設(shè)置了初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái),利用該裝置成功實(shí)現(xiàn)制備彩色層的厚度均一性為1.2%以下的彩色濾光片,解決現(xiàn)有技術(shù)中彩色濾光片彩色層的膜厚均一性無法達(dá)到1.2%以下的問題。
本發(fā)明首先提供一種彩色濾光片,所述彩色濾光片彩色層的厚度均一性為1.2%以下。
優(yōu)選的彩色濾光片彩色層的厚度均一性為0.6%~1.0%。
所述彩色濾光片由玻璃基板、黑色矩陣、彩色層、保護(hù)層和ITO導(dǎo)電膜組成。
所述彩色濾光片的彩色層中添加彩色光阻劑;
所述的彩色光阻劑由以下組分及重量份的原料制成:
顏料分散液:20~40份;
光引發(fā)劑:0.1~2份;
堿可溶性樹脂:5~15份;
溶劑:40~60份;
雙季戊四醇五六丙烯酸單體:2~4份;
金剛烷衍生物單體:2~3份。
所述顏料分散液選自紅色顏料、綠色顏料、黃色顏料、藍(lán)色顏料、紫色顏料和黑色顏料中的至少一種。
所述光引發(fā)劑選自苯乙酮系化合物、二苯甲酮系化合物和二咪唑系化合物中的至少一種。
所述光引發(fā)劑具體為苯偶??s酮、α,α-二烷氧基苯乙酮、α-羥基烷基苯基酮、α-氨基烷基苯基酮或二甲苯酮。
所述堿可溶性樹脂選自亞克力樹脂、亞克力-環(huán)氧樹脂、亞克力-苯乙烯樹脂和苯酚-酚醛樹脂中的至少一種。
所述溶劑選自丙二酮甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基-3-亞胺丙酸乙酯、2-庚烷、3-庚烷、環(huán)戊酮和環(huán)己酮中的至少一種。
所述金剛烷衍生物單體的結(jié)構(gòu)式如下:
其中,R1、R2、R3、R4分別獨(dú)立地選自C1~C10或氫原子。
優(yōu)選的是R1、R2、R3、R4分別獨(dú)立地選自C1或氫原子。
或所述金剛烷衍生物單體的結(jié)構(gòu)式如下:
其中,R5、R6、R7、R8分別獨(dú)立地選自C1~C10或氫原子。
優(yōu)選的是R5、R6、R7、R8分別獨(dú)立地選自C1或氫原子。
所述的彩色光阻劑的制備方法包括以下步驟:
將顏料分散液加入到容器中;在攪拌下,依次向容器中加入堿可溶性樹脂、雙季戊四醇五六丙烯酸單體、金剛烷衍生物單體、光引發(fā)劑和溶劑,并在室溫下繼續(xù)攪拌6-8小時(shí),得到混合均勻的彩色光阻劑。
在80r/min-200r/min的轉(zhuǎn)速下進(jìn)行攪拌。
一種獲取彩色濾光片的涂布裝置,它包括涂布平臺(tái)和涂布機(jī)構(gòu)。
所述的獲取彩色濾光片的涂布裝置還包括初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)。
所述的初始段升降延伸平臺(tái)設(shè)置在涂布平臺(tái)涂布起始方向一側(cè)。
所述的末尾段升降延伸平臺(tái)設(shè)置在涂布平臺(tái)涂布結(jié)束方向一側(cè)。
所述涂布裝置包括初始段清洗及風(fēng)干裝置。
所述的初始段清洗及風(fēng)干裝置設(shè)置在初始段升降延伸平臺(tái)正上方。
所述涂布裝置包括末尾段清洗及風(fēng)干裝置。
所述的末尾段清洗及風(fēng)干裝置設(shè)置在末尾段升降延伸平臺(tái)正上方。
設(shè)所述的涂布機(jī)構(gòu)加速階段涂布的膜層長度為a mm,設(shè)所述初始段升降延伸平臺(tái)的長度為A mm,則1mm<(A-a)<5mm。
優(yōu)選的是2mm<(A-a)<3mm。
設(shè)所述的涂布機(jī)構(gòu)減速階段涂布的膜層長度為b mm,設(shè)所述末尾段升降延伸平臺(tái)的長度為B mm,則1mm<(B-b)<5mm。
優(yōu)選的是2mm<(B-b)<3mm。
所述的初始段升降延伸平臺(tái)和/或所述的末尾段升降延伸平臺(tái)上固定安裝有基體。
所述基體包括玻璃基體或光阻粘附性與玻璃材料相近的材料基體。
所述的初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)均能沿垂直方向上下移動(dòng)。
所述的初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)均能沿水平方向平行移動(dòng)。
在獲取彩色濾光片的涂布裝置不工作時(shí),所述的初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)均不與涂布平臺(tái)接觸。
一種利用獲取彩色濾光片的涂布裝置制備彩色濾光片的方法包括以下步驟:
初始段升降延伸平臺(tái)與涂布平臺(tái)涂布起始方向一側(cè)接觸;
末尾段升降延伸平臺(tái)與涂布平臺(tái)涂布結(jié)束方向一側(cè)接觸;
利用初始段清洗及風(fēng)干裝置和末尾段清洗及風(fēng)干裝置分別對(duì)初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)依次進(jìn)行清洗和干燥處理;
將玻璃基體裝載在涂布平臺(tái)上;
調(diào)整初始段升降延伸平臺(tái),使初始段升降延伸平臺(tái)上安裝的基體的上表面與涂布平臺(tái)上玻璃基體的上表面齊平;
調(diào)整末尾段升降延伸平臺(tái),使末尾段升降延伸平臺(tái)上安裝的基體的上表面與涂布平臺(tái)上玻璃基體的上表面齊平;
啟動(dòng)涂布機(jī)構(gòu),自初始段升降延伸平臺(tái)開始涂布,至末尾段升降延伸平臺(tái)涂布完成;
涂布結(jié)束后,調(diào)整初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)向遠(yuǎn)離涂布平臺(tái)方向,然后將涂布平臺(tái)表面完成涂布的玻璃基體退出;
再次利用初始段清洗及風(fēng)干裝置和末尾段清洗及風(fēng)干裝置分別對(duì)初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)依次進(jìn)行清洗和干燥處理。
當(dāng)所述的初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)只能沿垂直方向上下移動(dòng)時(shí),涂布結(jié)束后,調(diào)整初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)向下移動(dòng)。
當(dāng)所述的初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)即能沿垂直方向上下移動(dòng);又能沿水平方向平行移動(dòng)時(shí),涂布結(jié)束后,調(diào)整初始段升降延伸平臺(tái)遠(yuǎn)離涂布平臺(tái)涂布起始方向一側(cè)水平移動(dòng),調(diào)整末尾段升降延伸平臺(tái)遠(yuǎn)離涂布平臺(tái)涂布結(jié)束方向一側(cè)水平移動(dòng)。
本發(fā)明的有益效果:
增添設(shè)置了初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái),使涂布機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的加速階段涂布的膜層和減速階段涂布的膜層分別涂覆在初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)上,實(shí)現(xiàn)本發(fā)明在玻璃基體上的膜層均為涂布機(jī)構(gòu)加速完成在穩(wěn)定運(yùn)行階段涂布的膜層,可顯著提高玻璃基板上膜厚均一性。
由于增添設(shè)置了初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái),直接舍去涂布機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的加速階段涂布的膜層和減速階段涂布的膜層,所以不需調(diào)整涂布初始段和涂布末尾段的膜厚,可以節(jié)省大量首件調(diào)整時(shí)間,提升工廠運(yùn)行效率。
膜厚參數(shù)減少,本發(fā)明僅需調(diào)整涂布速度這一參數(shù)即可調(diào)整整張玻璃基體上的膜厚,而涂布速度與膜厚之間有線性關(guān)系,可以較為簡單的涂出目標(biāo)膜厚。
對(duì)于人員操作和專業(yè)要求不高,且會(huì)減少誤操作帶來的風(fēng)險(xiǎn)。
省去涂布初始段和涂布末尾段調(diào)整步驟,使涂布機(jī)構(gòu)和芯片級(jí)封裝設(shè)備均能保持穩(wěn)定狀態(tài)運(yùn)行,不會(huì)經(jīng)常修改其運(yùn)動(dòng)參數(shù),可提升設(shè)備壽命,減少老化保養(yǎng)費(fèi)用,利于降低成本。
為實(shí)現(xiàn)此種涂布方式所需的設(shè)備改造費(fèi)用不高,易于實(shí)現(xiàn)。
為了滿足人們對(duì)高清晰度的需求,本發(fā)明不僅改善彩色濾光片彩色層的厚度均一性基礎(chǔ)上,還采用特定的彩色光阻劑,在彩色光阻劑中添加金剛烷衍生物單體,由于金剛烷衍生物單體結(jié)構(gòu)中含有剛性的苯基基團(tuán)和易顯影的羧基基團(tuán),具有光學(xué)特性、耐熱性、酸敏性等性質(zhì),因此,可將其用于彩色光阻劑中,以增強(qiáng)彩色光阻劑膜層的硬度;同時(shí)可提高彩色光阻圖像顯影前后的對(duì)比度,有效縮短彩色光阻圖像的斜邊長度,使得彩色光阻的線寬愈接近光罩的圖像愈具有較高的解析度。最終本發(fā)明實(shí)現(xiàn)將彩色濾光片的透析度降低至3μm,提高透過率的目的。
附圖說明
在下文中將基于實(shí)施例并參考附圖來對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述。其中:
圖1顯示了現(xiàn)有涂布膜層在玻璃基體上的分布示意圖,圖中A表示涂布初始段,圖中B表示涂布穩(wěn)定段,圖中C表示涂布末尾段;
圖2顯示了本發(fā)明獲取彩色濾光片的涂布裝置結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3顯示了本發(fā)明開始涂布狀態(tài)示意圖,圖中A表示涂布初始段,圖中B表示涂布穩(wěn)定段,圖中C表示涂布末尾段,圖中7表示玻璃基體;
在附圖中,相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按照實(shí)際的比例繪制。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
如圖2所示的實(shí)施例中,獲取彩色濾光片的涂布裝置包括涂布平臺(tái)1和涂布機(jī)構(gòu)2;
所述的獲取彩色濾光片的涂布裝置還包括初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4;
所述的初始段升降延伸平臺(tái)3設(shè)置在涂布平臺(tái)1涂布起始方向一側(cè);
所述的末尾段升降延伸平臺(tái)4設(shè)置在涂布平臺(tái)1涂布結(jié)束方向一側(cè)。
本發(fā)明在原始的涂布平臺(tái)1基礎(chǔ)上,增添設(shè)置了初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4,使涂布機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的加速階段涂布的膜層和減速階段涂布的膜層分別涂覆在初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4上,保證了在涂布平臺(tái)1表面玻璃基體上涂覆的膜層為穩(wěn)定運(yùn)行階段涂布的膜層,由于穩(wěn)定運(yùn)行階段涂布的膜層膜厚均一性好,而本發(fā)明只保留了穩(wěn)定運(yùn)行階段涂布的膜層,因此得到的該裝置制備的彩色濾光片彩色層的厚度均一性達(dá)到1.2%以下。
獲取彩色濾光片的涂布裝置包括初始段清洗及風(fēng)干裝置5。
且初始段清洗及風(fēng)干裝置5設(shè)置在初始段升降延伸平臺(tái)正上方3。
該部件目的能及時(shí)對(duì)初始段升降延伸平臺(tái)3進(jìn)行清洗及風(fēng)干處理,保證涂布過程順利的進(jìn)行。
獲取彩色濾光片的涂布裝置包括末尾段清洗及風(fēng)干裝置6。
且末尾段清洗及風(fēng)干裝置6設(shè)置在末尾段升降延伸平臺(tái)正上方4。
該部件目的能及時(shí)對(duì)末尾段升降延伸平臺(tái)4進(jìn)行清洗及風(fēng)干處理,保證涂布過程順利的進(jìn)行。
設(shè)所述的涂布機(jī)構(gòu)2加速階段涂布的膜層長度為a mm,設(shè)所述初始段升降延伸平臺(tái)3的長度為A mm,則1mm<(A-a)<5mm。
優(yōu)選的是2mm<(A-a)<3mm。
初始段升降延伸平臺(tái)3的長度應(yīng)該大于涂布機(jī)構(gòu)2加速階段涂布的膜層長度,但從制備成本的角度考量,為了避免材料的浪費(fèi),也不易過長,因此對(duì)初始段升降延伸平臺(tái)3的長度進(jìn)行適當(dāng)?shù)南薅ā?/p>
設(shè)所述的涂布機(jī)構(gòu)2減速階段涂布的膜層長度為b mm,設(shè)所述末尾段升降延伸平臺(tái)4的長度為B mm,則1mm<(B-b)<5mm。
優(yōu)選的是2mm<(B-b)<3mm。
末尾段升降延伸平臺(tái)4的長度應(yīng)該大于涂布機(jī)構(gòu)2減速階段涂布的膜層長度,但從制備成本的角度考量,為了避免材料的浪費(fèi),也不易過長,因此對(duì)初始段升降延伸平臺(tái)3的長度進(jìn)行適當(dāng)?shù)南薅ā?/p>
初始段升降延伸平臺(tái)3和/或末尾段升降延伸平臺(tái)4上固定安裝的基體的。
所述基體包括玻璃基體或光阻粘附性與玻璃材料相近的材料基體。
在初始段升降延伸平臺(tái)3上設(shè)置玻璃基體或光阻粘附性與玻璃材料相近的材料基體,保證與涂布平臺(tái)1表面玻璃基體的光阻粘附性相近,避免由于光阻粘附性差異較大,導(dǎo)致涂布過程存在技術(shù)障礙,保證了涂布過程順利的進(jìn)行。
在末尾段升降延伸平臺(tái)4上設(shè)置玻璃基體或光阻粘附性與玻璃材料相近的材料基體,保證與涂布平臺(tái)1表面玻璃基體的光阻粘附性相近,避免由于光阻粘附性差異較大,導(dǎo)致涂布過程存在技術(shù)障礙,保證了涂布過程順利的進(jìn)行。
初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4均能沿垂直方向上下移動(dòng)。
初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4均能沿垂直方向上下移動(dòng),通過調(diào)整初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4,保證涂覆時(shí)涂覆平面處于水平狀態(tài),使涂布過程順利的進(jìn)行。
初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4均能沿水平方向平行移動(dòng)。
若初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4只能沿垂直方向上下移動(dòng),為了保證涂布能順利進(jìn)行,必須保證初始段升降延伸平臺(tái)3與涂布平臺(tái)1涂布起始方向一側(cè)接觸;末尾段升降延伸平臺(tái)4與涂布平臺(tái)1涂布結(jié)束方向一側(cè)接觸;但是在接觸的情況下,為后續(xù)初始段清洗及風(fēng)干裝置5和末尾段清洗及風(fēng)干裝置6的工作造成一定的影響,會(huì)導(dǎo)致清洗過程造成涂布平臺(tái)1的污染,不利于涂布過程的順利進(jìn)行,因此要求初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4均能沿水平方向平行移動(dòng),在初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4清洗時(shí),初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4與涂布平臺(tái)1處于分離狀態(tài),即保證清洗的順利進(jìn)行,也避免清洗過程對(duì)涂布平臺(tái)1的濺射污染,進(jìn)而保證涂布過程的順利進(jìn)行。
在獲取彩色濾光片的涂布裝置不工作時(shí),所述的初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4均不與涂布平臺(tái)1接觸。
此步操作是便于獲取彩色濾光片的涂布裝置的保養(yǎng),最終達(dá)到提升該裝置使用壽命的目的。
本發(fā)明還涉及一種彩色濾光片的制備方法,在圖3所示的本發(fā)明開始涂布狀態(tài)示意圖,所述的初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)只能沿垂直方向上下移動(dòng),利用獲取彩色濾光片的涂布裝置制備彩色濾光片的方法包括:
初始段升降延伸平臺(tái)3與涂布平臺(tái)1涂布起始方向一側(cè)接觸;
末尾段升降延伸平臺(tái)4與涂布平臺(tái)1涂布結(jié)束方向一側(cè)接觸;
利用初始段清洗及風(fēng)干裝置5和末尾段清洗及風(fēng)干裝置6分別對(duì)初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4依次進(jìn)行清洗和干燥處理;
將玻璃基體裝載在涂布平臺(tái)1上;
調(diào)整初始段升降延伸平臺(tái)3,使初始段升降延伸平臺(tái)3上安裝的基體的上表面與涂布平臺(tái)1上玻璃基體的上表面齊平;所述基體為玻璃基體;
調(diào)整末尾段升降延伸平臺(tái)4,使末尾段升降延伸平臺(tái)4上安裝的基體的上表面與涂布平臺(tái)1上玻璃基體的上表面齊平;所述基體為玻璃基體;
啟動(dòng)涂布機(jī)構(gòu)2,自初始段升降延伸平臺(tái)3開始涂布,至末尾段升降延伸平臺(tái)4涂布完成;
涂布結(jié)束后,調(diào)整初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4向下移動(dòng),然后將涂布平臺(tái)1表面完成涂布的玻璃基體退出;
再次利用初始段清洗及風(fēng)干裝置5和末尾段清洗及風(fēng)干裝置6分別對(duì)初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4依次進(jìn)行清洗和干燥處理。
本發(fā)明制備彩色濾光片的方法,利用了獲取彩色濾光片的涂布裝置,該裝置增添設(shè)置了初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4,使涂布機(jī)構(gòu)2產(chǎn)生的加速階段涂布的膜層涂覆在初始段升降延伸平臺(tái)3表面的玻璃基體或光阻粘附性與玻璃材料相近的材料基體上,使涂布機(jī)構(gòu)2產(chǎn)生的減速階段涂布的膜層涂覆在末尾段升降延伸平臺(tái)4表面的玻璃基體或光阻粘附性與玻璃材料相近的材料基體上,使涂布平臺(tái)表面玻璃基體上的膜層均為涂布機(jī)構(gòu)加速完成在穩(wěn)定運(yùn)行階段涂布的膜層,達(dá)到提高玻璃基板上膜厚均一性的目的。
由于增添設(shè)置了初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái),直接舍去涂布機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的加速階段涂布的膜層和減速階段涂布的膜層,所以涂布過程中不需調(diào)整涂布初始段和涂布末尾段的膜厚,可以節(jié)省大量首件調(diào)整時(shí)間,提升工廠運(yùn)行效率。
由于不需調(diào)整涂布初始段和涂布末尾段的膜厚,膜厚參數(shù)減少,本發(fā)明僅需調(diào)整涂布速度這一參數(shù)即可調(diào)整整張玻璃基體上的膜厚,而涂布速度與膜厚之間有線性關(guān)系,可以較為簡單的涂出目標(biāo)膜厚。
本發(fā)明僅需調(diào)整涂布速度這一參數(shù),因此對(duì)于人員操作和專業(yè)要求不高,且會(huì)減少誤操作帶來的風(fēng)險(xiǎn)。
由于省去涂布初始段和涂布末尾段調(diào)整步驟,使涂布機(jī)構(gòu)和芯片級(jí)封裝設(shè)備均能保持穩(wěn)定狀態(tài)運(yùn)行,不會(huì)經(jīng)常修改其運(yùn)動(dòng)參數(shù),可提升設(shè)備壽命,減少老化保養(yǎng)費(fèi)用,利于降低成本。
本發(fā)明生產(chǎn)的彩色濾光片彩色層的厚度均一性為0.68%。
為了改善彩色層的彩色光阻劑的解析度,滿足人們對(duì)高清晰度的需要,在上述彩色濾光片彩色層中采用的彩色光阻劑,所述的彩色光阻劑為紅色光阻劑,具體由以下組分及重量份的原料制成:
顏料分散液:30份;
光引發(fā)劑:1份;
堿可溶性樹脂:10份;
溶劑:54份;
雙季戊四醇五六丙烯酸單體:3份;
金剛烷衍生物單體:2份。
所述顏料分散液為紅色顏料分散液。
所述光引發(fā)劑為α,α-二烷氧基苯乙酮。
所述堿可溶性樹脂為亞克力-環(huán)氧樹脂。
所述溶劑為環(huán)己酮。
當(dāng)所述的金剛烷衍生物單體的結(jié)構(gòu)式為:
式中R1、R2、R3、R4分別選擇氫原子時(shí),所形成的金剛烷衍生物單體為:1,3,5,7-四(4-丙烯酸基苯基)金剛烷,其結(jié)構(gòu)式如下:
所述1,3,5,7-四(4-丙烯酸基苯基)金剛烷的制備方法具體如下:
將1,3,5,7-四(4-碘苯基)金剛烷(0.008mol)、丙烯酸(0.032mol)、三乙胺(0.0128mol)、PdCl2(0.0016mol)和DMF(50mL)加入到1000mL燒瓶中,在N2保護(hù)下于160℃回流12小時(shí)。反應(yīng)結(jié)束后冷卻到室溫,過濾,在濾液中滴加入1mol/L稀鹽酸,以將濾液的pH調(diào)節(jié)為1,得淡黃色固體粗產(chǎn)品;繼續(xù)對(duì)粗產(chǎn)品用DMF重結(jié)晶,得到白色固體,產(chǎn)率為55%。
對(duì)該白色固體的核磁圖譜進(jìn)行了解析,具體如下:1HNMR(500MHz,CDCl3):δ10.8(s,4H),δ7.86(m,8H),δ7.44(m,12H),δ6.27(d,4H),δ1.54(s,12H),從而驗(yàn)證了該白色固體即為1,3,5,7-四(4-丙烯酸基苯基)金剛烷。
所述的彩色光阻劑的制備方法包括以下步驟:
將30份紅色顏料分散液加入到容器中;在80r/min的轉(zhuǎn)速下進(jìn)行攪拌,依次向容器中加入10份亞克力-環(huán)氧樹脂、3份雙季戊四醇五六丙烯酸單體、2份1,3,5,7-四(4-丙烯酸基苯基)金剛烷、1份α,α-二烷氧基苯乙酮和54份環(huán)己酮,并在室溫下繼續(xù)攪拌6小時(shí),得到混合均勻的紅色光阻劑。
金剛烷具有四個(gè)環(huán)己烷環(huán)縮合成籠形的結(jié)構(gòu),是一種對(duì)稱性高且穩(wěn)定的化合物,其衍生物由于顯示出特殊的功能;上述紅色光阻劑中采用金剛烷衍生物單體作為原料,由于金剛烷衍生物單體結(jié)構(gòu)中含有剛性的苯基基團(tuán)和易顯影的羧基基團(tuán),具有光學(xué)特性、耐熱性、酸敏性等性質(zhì),因此,可將其用于彩色光阻劑中,以增強(qiáng)彩色光阻劑膜層的硬度;同時(shí)可提高彩色光阻圖像顯影前后的對(duì)比度,有效縮短彩色光阻圖像的斜邊長度,使得彩色光阻的線寬愈接近光罩的圖像愈具有較高的解析度。
通過上述方法得到的表面完成涂布的玻璃基體依次進(jìn)行曝光和顯影處理,得到彩色濾光片,所述彩色濾光片由玻璃基板、黑色矩陣、彩色層、保護(hù)層和ITO導(dǎo)電膜組成。通過檢測可知,該彩色濾光片彩色層的厚度均一性為0.68%,透析度為3μm。本發(fā)明通過改善彩色濾光片彩色層的厚度均一性,且重新調(diào)整了彩色光阻劑,在彩色光阻劑中添加1,3,5,7-四(4-丙烯酸基苯基)金剛烷,成功實(shí)現(xiàn)將彩色濾光片的透析度降低至3μm,能滿足人們對(duì)高清晰度的需求。
當(dāng)所述金剛烷衍生物單體的結(jié)構(gòu)式為:且式中R5、R6、R7、R8分別選擇氫原子時(shí),所形成的金剛烷衍生物單體為:1,3,5,7-四(丙烯酸酯)金剛烷,其結(jié)構(gòu)式如下:
所述1,3,5,7-四(丙烯酸酯)金剛烷的制備方法具體如下:
將1,3,5,7-金剛烷四醇(0.07mol)、丙烯酸(5mol)、濃硫酸(0.2mol)、對(duì)甲氧基苯酚(0.001mol)和甲苯(60mL)加入到1000mL燒瓶中,在N2保護(hù)下加熱回流12小時(shí),通過Dean-Stark水分離器去除副產(chǎn)物水。反應(yīng)結(jié)束后冷卻到室溫,邊攪拌邊加入10wt%氫氧化鈉水溶液,中和殘留的甲基丙烯酸和硫酸,得粗產(chǎn)品;繼續(xù)對(duì)粗產(chǎn)品用DMF重結(jié)晶得到白色固體,產(chǎn)率58%。
對(duì)該白色固體的核磁圖譜進(jìn)行了解析,如下:1HNMR(500MHz,CDCl3):δ6.33(m,4H),δ6.10(m,4H),δ5.80(m,4H),δ2.29(s,12H),從而驗(yàn)證了該白色固體即為1,3,5,7-四(丙烯酸酯)金剛烷。
所述的彩色光阻劑的制備方法包括以下步驟:
將30份紅色顏料分散液加入到容器中;在80r/min的轉(zhuǎn)速下進(jìn)行攪拌,依次向容器中加入10份亞克力-環(huán)氧樹脂、3份雙季戊四醇五六丙烯酸單體、2份1,3,5,7-四(丙烯酸酯)金剛烷、1份α,α-二烷氧基苯乙酮和54份環(huán)己酮,并在室溫下繼續(xù)攪拌6小時(shí),得到混合均勻的紅色光阻劑。
通過上述方法得到的表面完成涂布的玻璃基體依次進(jìn)行曝光和顯影處理,得到彩色濾光片,所述彩色濾光片由玻璃基板、黑色矩陣、彩色層、保護(hù)層和ITO導(dǎo)電膜組成。通過檢測可知,該彩色濾光片彩色層的厚度均一性為0.68%,透過率為19.108。本發(fā)明通過改善彩色濾光片彩色層的厚度均一性,且重新調(diào)整了彩色光阻劑,在彩色光阻劑中添加1,3,5,7-四(丙烯酸酯)金剛烷,成功實(shí)現(xiàn)將彩色濾光片的透過率提高至19.108,能滿足人們對(duì)高清晰度的需求。
本發(fā)明還涉及一種彩色濾光片的制備方法,在圖3所示的本發(fā)明開始涂布狀態(tài)示意圖,所述的初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái)即能沿垂直方向上下移動(dòng);又能沿水平方向平行移動(dòng),且在獲取彩色濾光片的涂布裝置不工作時(shí),所述的初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4均不與涂布平臺(tái)1接觸;利用獲取彩色濾光片的涂布裝置制備彩色濾光片的方法包括:
利用初始段清洗及風(fēng)干裝置5和末尾段清洗及風(fēng)干裝置6分別對(duì)初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4依次進(jìn)行清洗和干燥處理;
調(diào)整初始段升降延伸平臺(tái)3,使初始段升降延伸平臺(tái)3與涂布平臺(tái)1涂布起始方向一側(cè)接觸;
調(diào)整末尾段升降延伸平臺(tái)4,使末尾段升降延伸平臺(tái)4與涂布平臺(tái)1涂布結(jié)束方向一側(cè)接觸;
將玻璃基體裝載在涂布平臺(tái)1上;
調(diào)整初始段升降延伸平臺(tái)3,使初始段升降延伸平臺(tái)3上安裝的基體的上表面與涂布平臺(tái)1上玻璃基體的上表面齊平;所述基體為玻璃基體;
調(diào)整末尾段升降延伸平臺(tái)4,使末尾段升降延伸平臺(tái)4上安裝的基體的上表面與涂布平臺(tái)1上玻璃基體的上表面齊平;所述基體為玻璃基體;
啟動(dòng)涂布機(jī)構(gòu)2,自初始段升降延伸平臺(tái)3開始涂布,至末尾段升降延伸平臺(tái)4涂布完成;
涂布結(jié)束后,調(diào)整初始段升降延伸平臺(tái)3遠(yuǎn)離涂布平臺(tái)1涂布起始方向一側(cè)水平移動(dòng),調(diào)整末尾段升降延伸平臺(tái)4遠(yuǎn)離涂布平臺(tái)1涂布結(jié)束方向一側(cè)水平移動(dòng),然后將涂布平臺(tái)1表面完成涂布的玻璃基體退出;
再次利用初始段清洗及風(fēng)干裝置5和末尾段清洗及風(fēng)干裝置6分別對(duì)初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4依次進(jìn)行清洗和干燥處理。
本發(fā)明制備彩色濾光片的方法,利用了獲取彩色濾光片的涂布裝置,該裝置增添設(shè)置了初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4,使涂布機(jī)構(gòu)2產(chǎn)生的加速階段涂布的膜層涂覆在初始段升降延伸平臺(tái)3表面的玻璃基體或光阻粘附性與玻璃材料相近的材料基體上,使涂布機(jī)構(gòu)2產(chǎn)生的減速階段涂布的膜層涂覆在末尾段升降延伸平臺(tái)4表面的玻璃基體或光阻粘附性與玻璃材料相近的材料基體上,使涂布平臺(tái)表面玻璃基體上的膜層均為涂布機(jī)構(gòu)加速完成在穩(wěn)定運(yùn)行階段涂布的膜層,達(dá)到提高玻璃基板上膜厚均一性的目的。
由于增添設(shè)置了初始段升降延伸平臺(tái)和末尾段升降延伸平臺(tái),直接舍去涂布機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的加速階段涂布的膜層和減速階段涂布的膜層,所以涂布過程中不需調(diào)整涂布初始段和涂布末尾段的膜厚,可以節(jié)省大量首件調(diào)整時(shí)間,提升工廠運(yùn)行效率。
由于不需調(diào)整涂布初始段和涂布末尾段的膜厚,膜厚參數(shù)減少,本發(fā)明僅需調(diào)整涂布速度這一參數(shù)即可調(diào)整整張玻璃基體上的膜厚,而涂布速度與膜厚之間有線性關(guān)系,可以較為簡單的涂出目標(biāo)膜厚。
本發(fā)明僅需調(diào)整涂布速度這一參數(shù),因此對(duì)于人員操作和專業(yè)要求不高,且會(huì)減少誤操作帶來的風(fēng)險(xiǎn)。
由于省去涂布初始段和涂布末尾段調(diào)整步驟,使涂布機(jī)構(gòu)和芯片級(jí)封裝設(shè)備均能保持穩(wěn)定狀態(tài)運(yùn)行,不會(huì)經(jīng)常修改其運(yùn)動(dòng)參數(shù),可提升設(shè)備壽命,減少老化保養(yǎng)費(fèi)用,利于降低成本。
本發(fā)明生產(chǎn)的彩色濾光片彩色層的厚度均一性為0.72%。
由于初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4均能沿水平方向平行移動(dòng),在初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4清洗時(shí),初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4與涂布平臺(tái)1處于分離狀態(tài),即保證清洗的順利進(jìn)行,也避免清洗過程對(duì)涂布平臺(tái)1的濺射污染,進(jìn)而保證涂布過程的順利進(jìn)行。
由于獲取彩色濾光片的涂布裝置不工作時(shí),所述的初始段升降延伸平臺(tái)3和末尾段升降延伸平臺(tái)4均不與涂布平臺(tái)1接觸,便于獲取彩色濾光片的涂布裝置的保養(yǎng),最終達(dá)到提升該裝置使用壽命的目的。
為了改善彩色層的彩色光阻劑的解析度,滿足人們對(duì)高清晰度的需要,在上述彩色濾光片彩色層中采用的彩色光阻劑,所述的彩色光阻劑為綠色光阻劑,具體由以下組分及重量份的原料制成:
顏料分散液:25份;
光引發(fā)劑:1份;
堿可溶性樹脂:12份;
溶劑:57份;
雙季戊四醇五六丙烯酸單體:3份;
金剛烷衍生物單體:2份。
所述顏料分散液為綠色顏料分散液和黃色顏料分散液;其中綠色顏料分散液:15份,黃色顏料分散液:10份;
所述光引發(fā)劑為α-氨基烷基苯基酮。
所述堿可溶性樹脂為苯酚-酚醛樹脂。
所述溶劑為環(huán)己酮。
當(dāng)所述的金剛烷衍生物單體的結(jié)構(gòu)式為:
式中為R1、R2、R3、R4分別選擇C1時(shí),所形成的金剛烷衍生物單體為:1,3,5,7-四(4-甲基丙烯酸基苯基)金剛烷,其結(jié)構(gòu)式如下:
所述1,3,5,7-四(4-甲基丙烯酸基苯基)金剛烷的制備方法具體如下:
將1,3,5,7-四(4-碘苯基)金剛烷(0.008mol)、甲基丙烯酸(0.032mol)、三乙胺(0.0128mol)、PdCl2(0.0016mol)和DMF(50mL)加入到1000mL燒瓶中,在N2保護(hù)下于160℃回流12小時(shí)。反應(yīng)結(jié)束后冷卻到室溫,過濾在濾液中滴加入1mol/L稀鹽酸,以將濾液的pH調(diào)節(jié)為1,得淡黃色固體粗產(chǎn)品;繼續(xù)對(duì)粗產(chǎn)品用DMF重結(jié)晶,得到白色固體,產(chǎn)率為51%。
對(duì)該白色固體的核磁圖譜進(jìn)行了解析,具體如下:1HNMR(500MHz,CDCl3):δ10.7(s,4H),δ7.45(m,8H),δ7.12(m,8H),δ6.15(m,4H),δ2.42~2.40(m,24H),從而驗(yàn)證了該白色固體即為1,3,5,7-四(4-甲基丙烯酸基苯基)金剛烷。
所述的彩色光阻劑的制備方法包括以下步驟:
將15份綠色顏料分散液和10份黃色顏料分散液依次加入到容器中;在80r/min的轉(zhuǎn)速下進(jìn)行攪拌,依次向容器中加入12份苯酚-酚醛樹脂、3份雙季戊四醇五六丙烯酸單體、2份1,3,5,7-四(4-碘苯基)金剛烷、1份α-氨基烷基苯基酮和57份環(huán)己酮,并在室溫下繼續(xù)攪拌6小時(shí),得到混合均勻的綠色光阻劑。
上述綠色光阻劑中采用金剛烷衍生物單體作為原料,由于金剛烷衍生物單體結(jié)構(gòu)中含有剛性的苯基基團(tuán)和易顯影的羧基基團(tuán),具有光學(xué)特性、耐熱性、酸敏性等性質(zhì),因此,可將其用于彩色光阻劑中,以增強(qiáng)彩色光阻劑膜層的硬度;同時(shí)可提高彩色光阻圖像顯影前后的對(duì)比度,有效縮短彩色光阻圖像的斜邊長度,使得彩色光阻的線寬愈接近光罩的圖像愈具有較高的解析度。
通過上述方法得到的表面完成涂布的玻璃基體依次進(jìn)行曝光和顯影處理,得到彩色濾光片,所述彩色濾光片由玻璃基板、黑色矩陣、彩色層、保護(hù)層和ITO導(dǎo)電膜組成。通過檢測可知,該彩色濾光片彩色層的厚度均一性為0.71%,透析度為3μm。本發(fā)明通過改善彩色濾光片彩色層的厚度均一性,且重新調(diào)整了彩色光阻劑,在彩色光阻劑中添加1,3,5,7-四(4-甲基丙烯酸基苯基)金剛烷,成功實(shí)現(xiàn)將彩色濾光片的透析度降低至3μm,能滿足人們對(duì)高清晰度的需求。
當(dāng)所述金剛烷衍生物單體的結(jié)構(gòu)式為:且式中R5、R6、R7、R8分別選擇C1時(shí),所形成的金剛烷衍生物單體為:1,3,5,7-四(丙烯酸甲酯)金剛烷,其結(jié)構(gòu)式如下:
所述1,3,5,7-四(丙烯酸甲酯)金剛烷的制備方法具體如下:
1,3,5,7-金剛烷四醇(0.07mol)、甲基丙烯酸(5mol)、濃硫酸(0.25mol)、對(duì)甲氧基苯酚(0.001mol)和甲苯(60mL)加入到1000mL燒瓶中,在N2保護(hù)下加熱回流12小時(shí),通過Dean-Stark水分離器去除副產(chǎn)物水。反應(yīng)結(jié)束后冷卻到室溫,邊攪拌邊加入10wt%氫氧化鈉水溶液,中和殘留的甲基丙烯酸和硫酸,得粗產(chǎn)品;繼續(xù)對(duì)粗產(chǎn)品用DMF重結(jié)晶得到白色固體,產(chǎn)率50%。
對(duì)該白色固體的核磁圖譜進(jìn)行了解析,如下:1HNMR(500MHz,CDCl3):δ6.47(m,4H),δ6.38(m,4H),δ2.36(s,12H),δ2.00(t,12H),從而驗(yàn)證了該白色固體即為1,3,5,7-四(丙烯酸甲酯)金剛烷。
所述的彩色光阻劑的制備方法包括以下步驟:
將15份綠色顏料分散液和10份黃色顏料分散液依次加入到容器中;在80r/min的轉(zhuǎn)速下進(jìn)行攪拌,依次向容器中加入12份苯酚-酚醛樹脂、3份雙季戊四醇五六丙烯酸單體、2份1,3,5,7-四(丙烯酸甲酯)金剛烷、1份α,α-二烷氧基苯乙酮和57份環(huán)己酮,并在室溫下繼續(xù)攪拌6小時(shí),得到混合均勻的紅色光阻劑。
通過上述方法得到的表面完成涂布的玻璃基體依次進(jìn)行曝光和顯影處理,得到彩色濾光片,所述彩色濾光片由玻璃基板、黑色矩陣、彩色層、保護(hù)層和ITO導(dǎo)電膜組成。通過檢測可知,該彩色濾光片彩色層的厚度均一性為0.71%,透過率為56.028。本發(fā)明通過改善彩色濾光片彩色層的厚度均一性,且重新調(diào)整了彩色光阻劑,在彩色光阻劑中添加1,3,5,7-四(丙烯酸甲酯)金剛烷,成功實(shí)現(xiàn)將彩色濾光片的透過率提高至56.028,能滿足人們對(duì)高清晰度的需求。