1.一種短波紅外窄帶濾光片,其特征在于,包括:基板(2)和形成在基板(2)兩側(cè)表面上的正面膜系和反面膜系,正面膜系為:A/(HL)4L(HL)8L(HL)8L(HL)41.64H0.64L/S,反面膜系為:A/(0.5HL0.5H)11α(0.5HL0.5H)12β(0.5LH0.5L)7γ(0.5LH0.5L)10ω(0.5LH0.5L)10/S;膜系中的符號含義:A為空氣,S為H-K9L玻璃基底,H為高折射率材料五氧化二鈦,L為低折射率材料二氧化硅,α、β、γ和ω分別表示各膜系中心波長與中心波長的倍數(shù)。
2.如權(quán)利要求1所述的短波紅外窄帶濾光片,其特征在于,所述基板(2)選用直徑為20mm、厚度為0.5mm的K9玻璃,其表面光圈N≤3,局部光圈ΔN≤0.5,不平行度<30″,表面光潔度B=Ⅴ。
3.如權(quán)利要求1所述的短波紅外窄帶濾光片,其特征在于,所述反面膜系中,α=0.845,β=1.55,γ=2.2,ω=2.7。
4.基于權(quán)利要求1-3中任一項所述短波紅外窄帶濾光片的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
S1:真空室清潔;
S2:鍍膜前基片清洗;
S3:真空室準備
在真空室電子槍坩堝內(nèi)預(yù)置鍍膜材料;
S4:膜層鍍制
打開離子源,用離子束清洗基板,離子源采用氬氣作為工作氣體,利用離子束輔助的電子束蒸鍍方法進行膜層沉積。
5.如權(quán)利要求4所述的短波紅外窄帶濾光片的制備方法,其特征在于,所述步驟S4中,膜層鍍制中,二氧化鈦膜沉積時,離子源氬氣氣體流量18±2sccm,氧氣氣體流量25±3sccm,離子源束壓180V~250V,離子源束流80V~120V,控制沉積速率0.2-0.5nm/s;二氧化硅膜沉積時,離子源氬氣氣體流量18±2sccm,氧氣氣體流量12±2sccm,離子源束壓180V~220V,離子源束流80V~110V,沉積速率0.5-1nm/s。
6.如權(quán)利要求5所述的短波紅外窄帶濾光片的制備方法,其特征在于,所述步驟S4中,所述離子源的工作氣體氬氣純度不小于99.995%,氣體流量18sccm-22sccm。
7.如權(quán)利要求5所述的短波紅外窄帶濾光片的制備方法,其特征在于,所述步驟S4中,膜層鍍制前,將基片加熱到200±10℃,并保持1h。
8.如權(quán)利要求4所述的短波紅外窄帶濾光片的制備方法,其特征在于,所述步驟S1中,用噴砂機清洗鍍膜機真空室防護屏、電極、擋板和工裝,然后用脫脂紗布蘸無水乙醇擦凈真空室;所述步驟S2中,依次用脫脂紗布和脫脂棉布蘸體積比1:1的乙醇、乙醚混合溶液擦凈基片表面。
9.如權(quán)利要求4所述的短波紅外窄帶濾光片的制備方法,其特征在于,所述步驟S3中,所述電子槍坩堝內(nèi)預(yù)置鍍膜材料純度不小于99.99%,預(yù)置鍍膜材料的量滿足:1000mm鍍膜機,二氧化鈦、二氧化硅分別為100g、150g。
10.如權(quán)利要求4所述的短波紅外窄帶濾光片的制備方法,其特征在于,還包括步驟S5:基板降溫,在真空不低于2×10-3Pa,降溫到80±8℃,關(guān)閉抽真空系統(tǒng),真空室降到室溫后取出沉積鏡片。