本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組成物、保護膜及具有保護膜的元件，尤其涉及一種可形成透明性佳與耐化學(xué)性佳的保護膜的感光性樹脂組成物、由該感光性樹脂組成物所形成的保護膜、以及包括上述保護膜的液晶顯示元件。

背景技術(shù)：

近年來，在半導(dǎo)體工業(yè)、液晶顯示器或有機電激發(fā)光顯示器等領(lǐng)域中，隨著尺寸的日益縮小化，對于微影制程中所需的圖案的微細化也要求日高。為了達到微細化的圖案，一般通過具有高解析及高感度的正型感光性材料經(jīng)曝光及顯影而形成，其中，以聚硅氧烷聚合物為成分的正型感光性材料漸成為業(yè)界使用的主流。

日本特開2008-107529號揭示一種可形成高透明度的硬化膜的感光性樹脂組成物。該組成物中使用含環(huán)氧丙烷基或丁二酸酐基的聚硅氧烷聚合物，其于共聚合時經(jīng)開環(huán)反應(yīng)形成親水性的結(jié)構(gòu)，雖可于稀薄堿性顯影液下得到高溶解性，然而，該感光性樹脂組成物的耐化學(xué)性不佳，因此仍無法令業(yè)界所接受。

因此，業(yè)界亟待尋求一種能兼顧高透明性及耐化學(xué)性優(yōu)異的感光性樹脂組成物。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供一種用于液晶顯示元件的感光性樹脂組成物，其能夠改善現(xiàn)有保護膜的透明性與耐化學(xué)性不佳的問題。

本發(fā)明提供一種感光性樹脂組成物，其包括復(fù)合樹脂(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)以及溶劑(C)，其中復(fù)合樹脂(A)包括主鏈及側(cè)鏈，主鏈包括(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)的衍生重復(fù)單元；側(cè)鏈包括硅氧烷系單體(a2)的衍生重復(fù)單元，且鍵結(jié)于(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)的衍生重復(fù)單元；且復(fù)合樹脂(A)符合下述條件(I)及條件(II)中的至少一個：

條件(I)：主鏈不包括含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)的衍生重復(fù)單元，含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)包含羧酸基結(jié)構(gòu)及不飽和鍵，或者包含羧酸酐結(jié)構(gòu)及不飽和鍵；

條件(II)：硅氧烷系單體(a2)包括以下述通式(A-4)所示的單體(a2-1)。

Si(R⁷)_w(OR⁸)_4-w 通式(A-4)

通式(A-4)中，R⁷表示以下述通式(A-5)、通式(A-6)或通式(A-7)所示的結(jié)構(gòu)、或碳數(shù)1～10的烴基、未經(jīng)取代或部分氫原子以鹵素或碳數(shù)1～10的烴基取代的苯基，但至少一個R⁷表示以下述通式(A-5)、通式(A-6)或通式(A-7)所示的結(jié)構(gòu)。R⁸表示氫原子、碳數(shù)1～6的烴基、碳數(shù)1～6的?；⒒蛱紨?shù)6～15的芳香基。當通式(A-4)中具有2個以上的R⁷或R⁸時，各個R⁷或R⁸可彼此相同或不同。w表示1～3的整數(shù)。

通式(A-5)中，R⁹表示碳數(shù)1～10的烴基；m為0或1；*表示鍵結(jié)處。

通式(A-6)中，R¹⁰表示單鍵、碳數(shù)1～10的烷基或碳數(shù)1～10的烷氧基；R¹¹表示氫原子或碳數(shù)1～10的烴基；n為0或1；*表示鍵結(jié)處。

通式(A-7)中，R¹²表示單鍵或碳數(shù)1～6的伸烷基；*表示鍵結(jié)處。

在本發(fā)明的一實施例中，上述的主鏈還包括其他不飽和單體(a1-3)的衍生重復(fù)單元。

在本發(fā)明的一實施例中，上述的(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)具有下述通式(A-1)的結(jié)構(gòu)，

通式(A-1)中，R¹表示氫原子或甲基；a表示1至6的整數(shù)；R²各自獨立表示碳數(shù)1～12的烷基、苯基、碳數(shù)1～6的烷氧基或以下述通式(A-2)所示的結(jié)構(gòu)。b表示1至150的整數(shù)；R³表示碳數(shù)1～6的烷基或以下述通式(A-3)所示的結(jié)構(gòu)。當主鏈中具有多個由通式(A-1)表示的衍生重復(fù)單元時，各個由通式(A-1)表示的衍生重復(fù)單元可彼此相同或不同。

通式(A-2)中，R⁴、R⁵各自獨立表示碳數(shù)1～12的烷基或苯基；c表示2至13的整數(shù)。

通式(A-3)中，R⁶各自獨立表示碳數(shù)1～12的烷基或苯基。

在本發(fā)明的一實施例中，上述的硅氧烷系單體(a2)還包括以下述通式(A-8)所示的單體(a2-2)，

Si(R¹³)_x(OR¹⁴)_4-x 通式(A-8)

通式(A-8)中，R¹³表示碳數(shù)1～10的烴基、未經(jīng)取代或部分氫原子以鹵素或碳數(shù)1～10的烴基取代的苯基。R¹⁴表示氫原子、碳數(shù)1～6的烴基、碳數(shù)1～6的酰基、或碳數(shù)6～15的芳香基。當通式(A-8)中具有2個以上的R¹³或R¹⁴時，各個R¹³或R¹⁴可彼此相同或不同；x表示0～3的整數(shù)。

在本發(fā)明的一實施例中，基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的使用量為1～30重量份，溶劑(C)的使用量為100～1600重量份。

在本發(fā)明的一實施例中，上述的感光性樹脂組成物還包括熱發(fā)生劑(D)。

在本發(fā)明的一實施例中，基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，熱發(fā)生劑(D)的使用量為0.5～6重量份。

本發(fā)明另提供一種保護膜，由上述的感光性樹脂組成物制成。

本發(fā)明另提供一種液晶顯示元件，包括上述的保護膜。

基于上述，本發(fā)明的感光性樹脂組成物由于含有具有聚(甲基)丙烯酸結(jié)構(gòu)的主鏈及聚硅氧烷結(jié)構(gòu)的側(cè)鏈的復(fù)合樹脂(A)，而兼具高透明性及耐化學(xué)性優(yōu)異的特性，故可以改善保護膜的透明性與耐化學(xué)性不佳的問題，進而適用于液晶顯示元件。

為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例作詳細說明如下。

具體實施方式

在下文中，是以(甲基)丙烯酸表示丙烯酸和/或甲基丙烯酸，并以(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯；同樣地，以(甲基)丙烯?；硎颈；?或甲基丙烯?；?。

此外，在下文中，是以“～系”來作為具有類似官能基的化合物或重復(fù)單元的總括性代稱。

<感光性樹脂組成物>

本發(fā)明提供一種感光性樹脂組成物，其包括復(fù)合樹脂(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)以及溶劑(C)。此外，若需要，感光性樹脂組成物可還包括熱發(fā)生劑(D)以及添加劑(E)。以下將詳細說明用于本發(fā)明的感光性樹脂組成物的各個成分。

復(fù)合樹脂(A)

復(fù)合樹脂(A)包括主鏈及側(cè)鏈，主鏈包括(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)的衍生重復(fù)單元；側(cè)鏈包括硅氧烷系單體(a2)的衍生重復(fù)單元，且鍵結(jié)于甲基丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)的衍生重復(fù)單元。

更具體而言，復(fù)合樹脂(A)符合下述條件(I)及條件(II)中的至少一個：

條件(I)：主鏈還包括含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)的衍生重復(fù)單元，含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)包含羧酸基結(jié)構(gòu)及不飽和鍵，或者包含羧酸酐結(jié)構(gòu)及不飽和鍵。

條件(II)：硅氧烷系單體(a2)包括以下述通式(A-4)所示的單體(a2-1)。

另外，在本發(fā)明的一實施例中，主鏈也可還包括其他不飽和單體(a1-3)的衍生重復(fù)單元。以下針對本發(fā)明的復(fù)合樹脂(A)的各構(gòu)成分別進行說明。

含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)

含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)包含羧酸基結(jié)構(gòu)及不飽和鍵的官能基，或者包含羧酸酐結(jié)構(gòu)及不飽和鍵的官能基。舉例而言，可以是包括不飽和單羧酸化合物、不飽和二羧酸化合物、不飽和酸酐化合物、多環(huán)型不飽和羧酸化合物、多環(huán)型不飽和二羧酸化合物、多環(huán)型不飽和酸酐化合物，但不限于此。

不飽和單羧酸化合物的具體例如：(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯酰乙氧基丁二酸酯、2-(甲基)丙烯酰乙氧基六氫化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯酰乙氧基苯二甲酸酯、omega-羧基聚己內(nèi)酯多元醇單丙烯酸酯(商品名為ARONIX M-5300，東亞合成制)。

不飽和二羧酸化合物的具體例如：馬來酸、富馬酸、甲基富馬酸、衣康酸、檸康酸等。于本發(fā)明的具體例中，不飽和二羧酸酐化合物為前述不飽和二羧酸化合物的酸酐化合物。

多環(huán)型不飽和羧酸化合物的具體例如：5-羧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯。

多環(huán)型不飽和二羧酸化合物的具體例如：5,6-二羧酸二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯。

多環(huán)型不飽和二羧酸酐化合物例如為多環(huán)型不飽和二羧酸化合物的酸酐化合物。

含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)的較佳具體例為丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐、2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯及2-甲基丙烯酰基乙氧基六氫化苯二甲酸。

含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)可單獨或混合復(fù)數(shù)種使用。

(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)

(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)例如是具有下述通式(A-1)的結(jié)構(gòu)：

通式(A-1)中，R¹表示氫原子或甲基；a表示1至6的整數(shù)；R²各自獨立表示碳數(shù)1～12的烷基、苯基、碳數(shù)1～6的烷氧基或以下述通式(A-2)所示的結(jié)構(gòu)。b表示1至150的整數(shù)；R³表示碳數(shù)1～6的烷基或以下述通式(A-3)所示的結(jié)構(gòu)。當主鏈中具有多個由通式(A-1)表示的衍生重復(fù)單元時，各個由通式(A-1)表示的衍生重復(fù)單元可彼此相同或不同。

通式(A-2)中，R⁴、R⁵各自獨立表示碳數(shù)1～12的烷基或苯基；c表示2至13的整數(shù)。

通式(A-3)中，R⁶各自獨立表示碳數(shù)1～12的烷基或苯基。

所述碳數(shù)1～12的烷基的具體例可列舉甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基或癸基。

所述碳數(shù)1～6的烷氧基的具體例可列舉甲氧基、乙氧基、丙氧基或丁氧基。

由通式(A-1)所示的(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)包括烯丙基硅烷類(allylsilane)和甲基丙烯酸硅烷類(methacrylic silanes)，其具體例為3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(3-methacryloxypropyltrimethoxysilane)、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷(3-methacryloxypropyltriethoxysilane)、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷(3-methacryloxypropylmethyl-dimethoxysilane)、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷(3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane)、由下述結(jié)構(gòu)式(1-1)至(1-6)所示的化合物或FM-0711、FM-0721、FM-0725(Chisso Corporation制造)。

由通式(A-1)所示的(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)可單獨或混合復(fù)數(shù)種使用。

其他不飽和單體(a1-3)

其他不飽和單體(a1-3)可以是包括含環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物、含環(huán)氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物、環(huán)氧丙醚化合物、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂環(huán)族酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不飽和二羧酸二酯、(甲基)丙烯酸羥烷酯、(甲基)丙烯酸酯的聚醚、芳香乙烯化合物及前述以外的其他不飽和化合物，但不限于此。

含環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物的具體例如：(甲基)丙烯酸環(huán)氧丙酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基環(huán)氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-環(huán)氧丁酯、(甲基)丙烯酸-6,7-環(huán)氧庚酯、(甲基)丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯。

含環(huán)氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物的具體例如：α-乙基丙烯酸環(huán)氧丙酯、α-正丙基丙烯酸環(huán)氧丙酯、α-正丁基丙烯酸環(huán)氧丙酯、α-乙基丙烯酸6,7-環(huán)氧庚酯。

環(huán)氧丙醚化合物的具體例如：鄰-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、間-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚(m-vinylbenzylglycidylether)、對-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚(p-vinylbenzylglycidylether)。

(甲基)丙烯酸烷基酯的具體例如：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸二級丁酯、(甲基)丙烯酸三級丁酯。

(甲基)丙烯酸脂環(huán)族酯的具體例如：(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基環(huán)己酯、三環(huán)[5.2.1.0^2.6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯(或稱為(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊酯)、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯。

(甲基)丙烯酸芳基酯的具體例如：(甲基)丙烯酸苯基酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯。不飽和二羧酸二酯的具體例如馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯。

(甲基)丙烯酸羥烷酯的具體例如：(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯。

(甲基)丙烯酸酯的聚醚的具體例如：聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯。

芳香乙烯化合物的具體例如：苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯，對-甲基苯乙烯、對-甲氧基苯乙烯。

以外的其他不飽和化合物的具體例如：丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙烯乙酯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-苯基馬來酰亞胺、N-芐基馬來酰亞胺,N-丁二酰亞胺基-3-馬來酰亞胺苯甲酸酯、N-丁二酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸酯、N-丁二酰亞胺基-6-馬來酰亞胺己酸酯、N-丁二酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)馬來酰亞胺。

其他不飽和單體(a1-3)的較佳具體例為甲基丙烯酸環(huán)氧丙酯、(甲基)丙烯酸-3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯、甲基丙烯酸-6,7-環(huán)氧庚酯、鄰-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚、間-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚、對-乙烯基苯甲基環(huán)氧丙醚、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸三級丁酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸雙環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊氧基乙酯、苯乙烯、對-甲氧基苯乙烯、(甲基)丙烯酸異冰片酯。

其他不飽和單體(a1-3)可單獨或混合復(fù)數(shù)種使用。

硅氧烷系單體(a2)

硅氧烷系單體(a2)包括以下述通式(A-4)所示的單體(a2-1)：

Si(R⁷)_w(OR⁸)_4-w 通式(A-4)

通式(A-4)中，R⁷表示以下述通式(A-5)、通式(A-6)或通式(A-7)所示的結(jié)構(gòu)、或碳數(shù)1～10的烴基、未經(jīng)取代或部分氫原子以鹵素或碳數(shù)1～10的烴基取代的苯基，但至少一個R⁷表示以下述通式(A-5)、通式(A-6)或通式(A-7)所示的結(jié)構(gòu)。R⁸表示氫原子、碳數(shù)1～6的烴基、碳數(shù)1～6的?；?、或碳數(shù)6～15的芳香基。當通式(A-4)中具有2個以上的R⁷或R⁸時，各個R⁷或R⁸可彼此相同或不同。w表示1～3的整數(shù)。

通式(A-5)中，R⁹表示碳數(shù)1～10的烴基；m為0或1；*表示鍵結(jié)處。

通式(A-6)中，R¹⁰表示單鍵、碳數(shù)1～10的烷基或碳數(shù)1～10的烷氧基；R¹¹表示氫原子或碳數(shù)1～10的烴基；n為0或1；*表示鍵結(jié)處。

通式(A-7)中，R¹²表示單鍵或碳數(shù)1～6的伸烷基；*表示鍵結(jié)處。

此外，硅氧烷系單體(a2)還包括以下述通式(A-8)所示的單體(a2-2)：

Si(R¹³)_x(OR¹⁴)_4-x 通式(A-8)

通式(A-8)中，R¹³表示碳數(shù)1～10的烴基、未經(jīng)取代或部分氫原子以鹵素或碳數(shù)1～10的烴基取代的苯基。R¹⁴表示氫原子、碳數(shù)1～6的烴基、碳數(shù)1～6的酰基、或碳數(shù)6～15的芳香基。當通式(A-8)中具有2個以上的R¹³或R¹⁴時，各個R¹³或R¹⁴可彼此相同或不同；x表示0～3的整數(shù)。

更詳細而言，當R⁷或R¹³代表碳數(shù)1～10的烷基時，R⁷或R¹³的具體例為甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、第三丁基、正己基或正癸基。此外，R⁷或R¹³也可為烷基上具有其他取代基的烷基，此R⁷或R¹³的具體例為三氟甲基、3,3,3-三氟丙基、3-胺丙基、3-巰丙基或3-異氰酸丙基。

當R⁷或R¹³代表碳數(shù)2～10的烯基時，R⁷或R¹³的具體例為乙烯基。此外，R⁷或R¹³也可為烯基上具有其他取代基的烯基，此R⁷或R¹³的具體例為3-丙烯酰氧基丙基或3-甲基丙烯酰氧基丙基。

當R⁷或R¹³代表碳數(shù)2～10的炔基時，R⁷或R¹³的具體例為乙炔基。此外，R⁷或R¹³也可為炔基上具有其他取代基的炔基。

當R⁷或R¹³代表未經(jīng)取代或部分氫原子以鹵素或碳數(shù)1～10的烴基取代的苯基，R⁷或R¹³的具體例為苯基、甲苯基(tolyl)或萘基(naphthyl)。此外，R⁷或R¹³也可為芳香基上具有其他取代基的芳香基，此R⁷或R¹³的具體例為對-羥基苯基(o-hydroxy phenyl)、1-(對-羥基苯基)乙基(1-(o-hydroxyphenyl)ethyl)、2-(對-羥基苯基)乙基(2-(o-hydroxyphenyl)ethyl)或4-羥基-5-(對-羥基苯基羰氧基)戊基(4-hydroxy-5-(p-hydroxyphenylcarbonyloxy)pentyl)。

當R⁷代表以通式(A-5)所示的結(jié)構(gòu)時，R⁹較佳為碳數(shù)1～10的烷基。通式(A-5)所示的結(jié)構(gòu)的具體例為式(A-5-1)至式(A-5-3)所示的基團。特別地，以通式(A-5)所示的結(jié)構(gòu)由二羧酸(dicarboxylic acid)經(jīng)分子內(nèi)脫水(intramolecular dehydration)所形成的基團，其中該二羧酸的具體例為丁二酸或戊二酸。

當R⁷代表以通式(A-6)所示的結(jié)構(gòu)時，R¹⁰較佳為碳數(shù)1～10的烷基或碳數(shù)1～10的烷氧基，R¹¹較佳為氫原子。以通式(A-6)所示的結(jié)構(gòu)的具體例為環(huán)氧丙烷基戊基(oxetanylpentyl)、環(huán)氧丙氧基丙基(glycidoxypropyl)或2-環(huán)氧丙烷基丁氧基(2-oxetanyl butoxyl)。特別地，以通式(A-6)所示的結(jié)構(gòu)由二元醇(diol)經(jīng)分子內(nèi)脫水所形成的基團，其中該二元醇的具體例為丙二醇、丁二醇或戊二醇。

當R⁷代表以通式(A-7)所示的結(jié)構(gòu)時，R¹²較佳為碳數(shù)1～6的伸烷基。以通式(A-7)所示的結(jié)構(gòu)的具體例為2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基(2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl)。

另一方面，當R⁸或R¹⁴代表碳數(shù)1～6的烷基時，R⁸或R¹⁴的具體例為甲基、乙基、正丙基、異丙基或正丁基。當R⁸或R¹⁴代表具有碳數(shù)1～6的酰基時，R⁸或R¹⁴的具體例為乙?；?。當R⁸或R¹⁴代表碳數(shù)6～15的芳香基時，R⁸或R¹⁴的具體例為苯基。

w表示1～3的整數(shù)，x表示0～3的整數(shù)。當w或x表示2或3時，多個R⁷或R¹³可為相同或不同；當w或x表示1或2時，多個R⁸或R¹⁴可為相同或不同。

在通式(A-4)中，硅氧烷系(a2-1)的具體例例如：3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷(3-glycidoxypropyltrimethoxysilane)、3-環(huán)氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷(3-glycidoxypropyltriethoxysilane)、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷(2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane)、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷(2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane)、2-環(huán)氧丙烷基丁氧基丙基三苯氧基硅烷(2-oxetanylbutoxypropyltriphenoxy silane)，以及由東亞合成所制造的市售品：2-環(huán)氧丙烷基丁氧基丙基三甲氧基硅烷(2-oxetanylbutoxypropyltrimethoxysilane(商品名TMSOX-D)、2-環(huán)氧丙烷基丁氧基丙基三乙氧基硅烷(2-oxetanyl butoxypropyltriethoxysilane(商品名TESOX-D)、3-(三苯氧基硅基)丙基丁二酸(3-triphenoxysilyl propyl succinic anhydride)、由信越化學(xué)所制造的市售品：3-(三甲氧基硅基)丙基丁二酸酐(3-trimethoxysilyl propyl succinic anhydride)(商品名X-12-967)、由WACKER公司所制造的市售品：3-(三乙氧基硅基)丙基丁二酸酐(3-(triethoxysilyl)propyl succinic anhydride)(商品名GF-20)、3-(三甲氧基硅基)丙基戊二酸酐(3-(trimethoxysilyl)propyl glutaric anhydride，簡稱TMSG)、3-(三乙氧基硅基)丙基戊二酸酐(3-(triethoxysilyl)propyl glutaric anhydride)、3-(三苯氧基硅基)丙基戊二酸酐(3-(triphenoxysilyl)propyl glutaric anhydride)、二異丙氧基-二(2-環(huán)氧丙烷基丁氧基丙基)硅烷(diisopropoxy-di(2-oxetanylbutoxypropyl)silane，簡稱DIDOS)、二(3-環(huán)氧丙烷基戊基)二甲氧基硅烷(di(3-oxetanylpentyl)dimethoxy silane)、(二正丁氧基硅基)二(丙基丁二酸酐)((di-n-butoxysilyl)di(propyl succinic anhydride))、(二甲氧基硅基)二(乙基丁二酸酐)((dimethoxysilyl)di(ethyl succinic anhydride))、3-環(huán)氧丙氧基丙基二甲基甲氧基硅烷(3-glycidoxypropyldimethylmethoxysilane)、3-環(huán)氧丙氧基丙基二甲基乙氧基硅烷(3-glycidoxypropyl dimethylethoxysilane)、二(2-環(huán)氧丙烷基丁氧基戊基)-2-環(huán)氧丙烷基戊基乙氧基硅烷(di(2-oxetanylbutoxypentyl)-2-oxetanylpentyl ethoxysilane)、三(2-環(huán)氧丙烷基戊基)甲氧基硅烷(tri(2-oxetanyl pentyl)methoxy silane)、苯氧基硅基三丙基丁二酸酐(phenoxysilyl tripropyl succinic anhydride)、或甲基甲氧基硅基二乙基丁二酸酐(methoxysilyl diethyl succinic anhydride)等。

在通式(A-8)中，硅氧烷系單體(a2-2)的具體例如：四甲氧基硅烷(tetramethoxysilane)、四乙氧基硅烷(tetraethoxysilane)、四乙酰氧基硅烷(tetraacetoxysilane)、或四苯氧基硅烷等(tetraphenoxy silane)、甲基三甲氧基硅烷(methyltrimethoxy silane，簡稱MTMS)、甲基三乙氧基硅烷(methyltriethoxysilane)、甲基三異丙氧基硅烷(methyltriisopropoxysilane)、甲基三正丁氧基硅烷(methyltri-n-butoxysilane)、乙基三甲氧基硅烷(ethyltrimethoxy silane)、乙基三乙氧基硅烷(ethyltriethoxysilane)、乙基三異丙氧基硅烷(ethyltriisopropoxysilane)、乙基三正丁氧基硅烷(ethyltri-n-butoxysilane)、正丙基三甲氧基硅烷(n-propyltrimethoxysilane)、正丙基三乙氧基硅烷(n-propyltriethoxysilane)、正丁基三甲氧基硅烷(n-butyltrimethoxysilane)、正丁基三乙氧基硅烷(n-butyltriethoxy silane)、正己基三甲氧基硅烷(n-hexyltrimethoxysilane)、正己基三乙氧基硅烷(n-hexyltriethoxysilane)、癸基三甲氧基硅烷(decyltrimethoxysilane)、乙烯基三甲氧基硅烷(vinyltrimethoxy silane)、乙烯基三乙氧基硅烷(vinyltriethoxysilane)、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(3-acryoyloxypropyltrimethoxysilane)、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(3-methylacryloyloxypropyltrimethoxy silane，簡稱MPTMS)、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷(3-methylacryloyloxypropyltriethoxysilane)、苯基三甲氧基硅烷(phenyltrimethoxysilane，簡稱PTMS)、苯基三乙氧基硅烷(phenyltriethoxysilane，簡稱PTES)、對-羥基苯基三甲氧基硅烷(p-hydroxyphenyltrimethoxysilane)、1-(對-羥基苯基)乙基三甲氧基硅烷(1-(p-hydroxyphenyl)ethyltrimethoxysilane)、2-(對-羥基苯基)乙基三甲氧基硅烷(2-(p-hydroxyphenyl)ethyltrimethoxysilane)、4-羥基-5-(對-羥基苯基羰氧基)戊基三甲氧基硅烷(4-hydroxy-5-(p-hydroxyphenylcarbonyloxy)pentyltrimethoxysilane)、三氟甲基三甲氧基硅烷(trifluoromethyltrimethoxysilane)、三氟甲基三乙氧基硅烷(trifluoromethyltriethoxysilane)、3,3,3-三氟丙基三甲氧基硅烷(3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane)、3-胺丙基三甲氧基硅烷(3-aminopropyltrimethoxysilane)、3-胺丙基三乙氧基硅烷(3-aminopropyltriethoxysilane)、3-巰丙基三甲氧基硅烷(3-mercaptopropyltrimethoxysilane)、二甲基二甲氧基硅烷(dimethyldimethoxysilane，簡稱DMDMS)、二甲基二乙氧基硅烷(dimethyldiethoxysilane)、二甲基二乙酰氧基硅烷(dimethyldiacetyl oxysilane)、二正丁基二甲氧基硅烷(di-n-butyldimethoxysilane)、二苯基二甲氧基硅烷(diphenyldimethoxysilane)、三甲基甲氧基硅烷(trimethylmethoxysilane)、三正丁基乙氧基硅烷(tri-n-butyl ethoxysilane)等。

硅氧烷系單體(a2-2)可單獨使用或組合多種來使用。

復(fù)合樹脂(A)的制備方法

復(fù)合樹脂(A)的制備方法例如可使用但不限于下列方法(1)～方法(3)中的任一個。

方法(1)

首先，將含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)、(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)以及其他不飽和單體(a1-3)進行共聚合反應(yīng)，較佳地，采用自由基聚合反應(yīng)，得到含有硅氧烷基團的主鏈共聚物，接著在含有硅氧烷基團的主鏈共聚物中加入硅氧烷系單體(a2)之后，進行水解聚縮合反應(yīng)以形成側(cè)鏈聚縮合物，進而制得復(fù)合樹脂(A)。

方法(2)

首先，將含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)、(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)以及其他不飽和單體(a1-3)進行共聚合反應(yīng)，較佳地，采用自由基聚合反應(yīng)，先制得含有硅氧烷基團的主鏈共聚物，另一方面，先對硅氧烷系單體(a2)進行水解聚縮合反應(yīng)，以制得側(cè)鏈聚縮合物。最后，將含有硅氧烷基團的主鏈共聚物以及側(cè)鏈聚縮合物進行水解聚縮合反應(yīng)，進而制得復(fù)合樹脂(A)。

方法(3)

與上述方法(2)相同，先制得含有硅氧烷基團的主鏈共聚物以及側(cè)鏈聚縮合物。惟，差異在于，方法(3)在制備含有硅氧烷基團的主鏈共聚物時，也加入部分硅氧烷系單體(a2)，使主鏈共聚物上的硅氧烷基團上也生成側(cè)鏈的聚縮合物(也就是說，在主鏈生成時，也同步產(chǎn)生部分側(cè)鏈)。之后，再進行最后的水解聚縮合反應(yīng)，以制得復(fù)合樹脂(A)時。

本發(fā)明的主鏈共聚物的共聚合反應(yīng)并無特別限制，較佳地，采用自由基聚合反應(yīng)，其是由含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)、(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)、其他不飽和單體(a1-3)在適當?shù)木酆掀鹗紕┐嬖谙掠谌軇┲兴簿酆隙谩?/p>

共聚合反應(yīng)過程中，基于聚合用單體(a1-1)、(a1-2)及(a1-3)的合計使用量為100重量份，含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1)的使用量為0～40重量份，較佳為5～35重量份，更佳為10～30重量份；(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2)的使用量為5～50重量份，較佳為10～45重量份，更佳為15～40重量份；其他不飽和單體(a1-3)的使用量為10～95重量份，較佳為20～85重量份，更佳為30～75重量份。

本發(fā)明的主鏈共聚物在制造時所使用的聚合起始劑，其具體例為偶氮化合物或過氧化物。前述偶氮化合物的具體例如：2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)、4,4'-偶氮二(4-氰基戊酸)、2,2'-偶氮二(二甲基-2-甲基丙酸酯)。前述過氧化物的具體例如：過氧化二苯甲酰、過氧化二月桂酰(dilauroyl peroxide)、第三丁基過氧化新戊酸酯(tert-butyl peroxypivalate)、1,1-二(第三丁基過氧化)環(huán)己烷(1,1-di(tert-butylperoxy)cyclohexane)、過氧化氫。上述聚合起始劑可單獨或混合復(fù)數(shù)種使用。

本發(fā)明的主鏈共聚物在制造時所使用溶劑可包括但不限于醇、醚、二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸醋酸酯、二乙二醇、二丙二醇、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸醋酸酯、丙二醇烷基醚丙酸酯、芳香烴、酮、酯。

前述醇的具體例如：甲醇、乙醇、苯甲醇、2-苯乙醇、3-苯基-1-丙醇。前述醚的具體例如：四氫呋喃。前述二醇醚的具體例如：乙二醇單丙醚、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚。前述乙二醇烷基醚醋酸酯的具體例如：乙二醇丁醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、乙二醇甲醚醋酸酯。前述二乙二醇的具體例如：二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚。前述二丙二醇的具體例如：二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇甲乙醚。前述丙二醇單烷基醚的具體例如：丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、丙二醇單丁醚。前述丙二醇烷基醚醋酸酯的具體例如：丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、丙二醇丁醚醋酸酯。前述丙二醇烷基醚丙酸酯的具體例如：丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯。前述芳香烴的具體例如：甲苯、二甲苯。前述酮的具體例如：甲乙酮、環(huán)己酮、二丙酮醇。前述酯的具體例如：乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥乙酸甲酯、羥乙酸乙酯、羥乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯。

本發(fā)明的聚縮合反應(yīng)并無特別限制，以前述方法(1)為例，較佳地，將在硅烷單體(a2)、含有硅氧烷基團主鏈共聚物的混合物中添加溶劑、水，或選擇性地可進一步添加觸媒，接著于50℃至150℃下加熱攪拌0.5小時至120小時。攪拌時，進一步地可通過蒸餾除去副產(chǎn)物(醇類、水等)。

聚縮合反應(yīng)過程中，基于硅氧烷系單體(a2)的總使用量為100重量份，以通式(A-4)所示的單體(a2-1)為5～40重量份，較佳為7～35重量份，更佳為10～30重量份；以通式(A-8)所示的單體(a2-2)的使用量為60～95重量份，較佳為65～93重量份，更佳為70～90重量份。

上述溶劑并沒有特別限制，可與本發(fā)明感光性樹脂組成物中所包含的溶劑(C)為相同或不同。

上述觸媒?jīng)]有特別的限制，較佳地，該觸媒是選自于酸觸媒或堿觸媒。該酸觸媒包含但不限于鹽酸、硝酸、硫酸、氟酸、草酸、磷酸、醋酸、三氟醋酸、蟻酸、多元羧酸或其酐、離子交換樹脂等。該堿觸媒包含但不限于二乙胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、三己胺、三庚胺、三辛胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化鈉、氫氧化鉀、含有胺基的烷氧基硅烷、離子交換樹脂等。

基于安定性的觀點，經(jīng)縮合反應(yīng)后所制得的復(fù)合樹脂(A)以不含副產(chǎn)物(如醇類或水)、觸媒為佳，因此所制得的聚硅氧烷聚合物(A)可選擇性地進行純化。純化方法并無特別限制，較佳地，可使用疏水性溶劑稀釋該復(fù)合樹脂(A)，接著以蒸發(fā)器濃縮經(jīng)水洗滌數(shù)回的有機層，以除去醇類或水。另外，可使用離子交換樹脂除去觸媒。

復(fù)合樹脂(A)的重量平均分子量為3000～30000，更佳為4000～25000，最佳為5000～20000。

當感光性樹脂組成物中不包括具有特定結(jié)構(gòu)作為主鏈及側(cè)鏈的復(fù)合樹脂(A)時，存在透明性與耐化學(xué)性不佳的問題。

鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)

鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的種類沒有特別的限制，可使用一般所使用的鄰萘醌二疊氮磺酸酯。鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)可為完全酯化(completely esterify)或部分酯化(partially esterify)的酯類化合物(ester-based compound)。

鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)較佳為由鄰萘醌二疊氮磺酸(o-naphthoquinonediazidesulfonic acid)或其鹽類與羥基化合物反應(yīng)來制備。鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)更佳為由鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與多元羥基化合物(polyhydroxy compound)反應(yīng)來制備。

鄰萘醌二疊氮磺酸的具體例為鄰萘醌二疊氮-4-磺酸、鄰萘醌二疊氮-5-磺酸或鄰萘醌二疊氮-6-磺酸等。此外，鄰萘醌二疊氮磺酸的鹽類的具體例為鄰萘醌二疊氮磺?；u化物(diazonaphthoquinone sulfonyl halide)。

多元羥基化合物例如是羥基二苯甲酮類化合物(hydroxy benzophenone-based compound)、羥基芳基類化合物(hydroxy aryl-based compound)、(羥基苯基)烴類化合物((hydroxyphenyl)hydrocarbon compound)、或者其他芳香族羥基類化合物。

羥基二苯甲酮類化合物例如是2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,4,4'-三羥基二苯甲酮、2,4,6-三羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮、2,4,2',4'-四羥基二苯甲酮、2,4,6,3',4'-五羥基二苯甲酮、2,3,4,2',4'-五羥基二苯甲酮、2,3,4,2',5'-五羥基二苯甲酮、2,4,5,3',5'-五羥基二苯甲酮或2,3,4,3',4',5'-六羥基二苯甲酮等。

羥基芳基類化合物例如是通式(B-1)所示的羥基芳基類化合物：

在通式(B-1)中，R²¹及R²²各自獨立表示氫原子、鹵素原子或碳數(shù)1～6的烷基；R²³、R²⁴、R²⁷各自獨立表示氫原子或碳數(shù)1～6的烷基；R²⁵、R²⁶、R²⁸、R²⁹、R³⁰、R³¹各自獨立表示氫原子、鹵素原子、碳數(shù)1～6的烷基、碳數(shù)1～6的烷氧基、碳數(shù)1～6的烯基或環(huán)烷基(cycloalkyl)；d、e及f各自獨立表示1～3的整數(shù)；z代表0或1。

結(jié)構(gòu)式(B-1)所示的羥基芳基類化合物的具體例為三(4-羥基苯基)甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基苯基)-3-甲氧基-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基-4-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基-4-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環(huán)己基-6-羥基-4-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯或1-[1-(3-甲基-4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(3-甲基-4-羥基苯基)乙基]苯。

(羥基苯基)烴類化合物例如是通式(B-2)所示的(羥基苯基)烴類化合物：

在通式(B-2)中，R³²及R³³各自獨立表示氫原子或碳數(shù)1～6的烷基；g及h各自獨立表示1～3的整數(shù)。

通式(B-2)所示的(羥基苯基)烴類化合物的具體例為2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(2',3',4'-三羥基苯基)丙烷、2-(2,4-二羥基苯基)-2-(2',4'-二羥基苯基)丙烷、2-(4-羥基苯基)-2-(4'-羥基苯基)丙烷、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷或雙(2,4-二羥基苯基)甲烷等。

其他芳香族羥基類化合物的具體例為苯酚(phenol)、對-甲氧基苯酚、二甲基苯酚、對苯二酚、雙酚A、萘酚、鄰苯二酚、1,2,3-苯三酚甲醚、1,2,3-苯三酚-1,3-二甲基醚、3,4,5-三羥基苯甲酸、或者部分酯化或部分醚化(etherify)的3,4,5-三羥基苯甲酸等。

多元羥基化合物較佳為1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯、2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮或其組合。多元羥基化合物可單獨使用或組合多種來使用。

鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類與多元羥基化合物的反應(yīng)通常在二氧雜環(huán)己烷(dioxane)、氮-吡咯烷酮(N-pyrrolidone)或乙酰胺(acetamide)等有機溶劑中進行。此外，上述反應(yīng)較佳為在三乙醇胺、堿金屬碳酸鹽或堿金屬碳酸氫鹽等堿性縮合劑(condensing agent)進行。

鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的酯化度(degree of esterification)較佳為50％以上，也即以羥基化合物中的羥基總量為100mol％計，羥基化合物中有50mol％以上的羥基與鄰萘醌二疊氮磺酸或其鹽類進行酯化反應(yīng)。鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的酯化度更佳為60％以上。

基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的使用量為1～30重量份；較佳為3～25重量份；更佳為5～20重量份。

溶劑(C)

溶劑(C)的種類沒有特別的限制。溶劑(C)的具體例為含醇式羥基(alcoholic hydroxy)的化合物或含羰基(carbonyl group)的環(huán)狀化合物等。

含醇式羥基的化合物的具體例為丙酮醇(acetol)、3-羥基-3-甲基-2-丁酮(3-hydroxy-3-methyl-2-butanone)、4-羥基-3-甲基-2-丁酮(4-hydroxy-3-methyl-2-butanone)、5-羥基-2-戊酮(5-hydroxy-2-pentanone)、4-羥基-4-甲基-2-戊酮(4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone)(也稱為二丙酮醇(diacetone alcohol，簡稱DAA))、乳酸乙酯(ethyl lactate)、乳酸丁酯(butyl lactate)、丙二醇單甲醚propylene glycol monomethyl ether)、丙二醇單乙醚(propylene glycol monoethyl ether，簡稱PGEE)、丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol monomethyl ether acetate，簡稱PGMEA)、丙二醇單正丙醚(propylene glycol mono-n-propyl ether)、丙二醇單正丁醚(propylene glycol mono-n-butyl ether)、丙二醇單第三丁醚(propylene glycol mono-t-butyl ether)、3-甲氧基-1-丁醇(3-methoxy-1-butanol)、3-甲基-3-甲氧基-1-丁醇(3-methyl-3-methoxy-1-butanol)或其組合。值得注意的是，含醇式羥基的化合物較佳為二丙酮醇、乳酸乙酯、丙二醇單乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯或其組合。該含醇式羥基的化合物可單獨使用或組合多種來使用。

含羰基的環(huán)狀化合物的具體例為γ-丁內(nèi)酯(γ-butyro lactone)、γ-戊內(nèi)酯(γ-valerolactone)、δ-戊內(nèi)酯(δ-valerolactone)、碳酸丙烯酯(propylene carbonate)、氮-甲基吡咯烷酮(N-methyl pyrrolidone)、環(huán)己酮(cyclohexanone)或環(huán)庚酮(cycloheptanone)等。值得注意的是，含羰基的環(huán)狀化合物較佳為γ-丁內(nèi)酯、氮-甲基吡咯烷酮、環(huán)己酮或其組合。含羰基的環(huán)狀化合物可單獨使用或組合多種來使用。

含醇式羥基的化合物可與含羰基的環(huán)狀化合物組合使用，且其重量比率沒有特別限制。含醇式羥基的化合物與含羰基的環(huán)狀化合物的重量比值較佳為99/1至50/50；更佳為95/5至60/40。值得一提的是，當在溶劑(C)中，含醇式羥基的化合物與含羰基的環(huán)狀化合物的重量比值為99/1至50/50時，復(fù)合樹脂(A)中未反應(yīng)的硅烷醇(silanol，Si-OH)基不易產(chǎn)生縮合反應(yīng)而降低貯藏安定性(storage stability)。此外，由于含醇式羥基的化合物以及含羰基的環(huán)狀化合物與鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的相容性佳，因此于涂布成膜時不易有白化的現(xiàn)象，可維持薄膜的透明性。

在不損及本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，也可以含有其他溶劑。該其他溶劑的具體例為：(1)酯類：醋酸乙酯、醋酸正丙酯、醋酸異丙酯、醋酸正丁酯、醋酸異丁酯、丙二醇甲醚醋酸酯、3-甲氧基-1-醋酸丁酯或3-甲基-3-甲氧基-1-醋酸丁酯等；(2)酮類：甲基異丁酮、二異丙酮或二異丁酮等；或者(3)醚類：二乙醚、二異丙醚、二正丁醚或二苯醚等。

基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，溶劑(C)的使用量為100～1600重量份；較佳為150～1300重量份；更佳為200～1000重量份。

熱發(fā)生劑(D)

本發(fā)明的感光性樹脂組成物可進一步包含熱發(fā)生劑(D)。熱發(fā)生劑(D)例如是熱酸發(fā)生劑或熱堿發(fā)生劑，且熱酸產(chǎn)生劑或熱堿發(fā)生劑可單獨使用或混合多種而使用。

熱酸發(fā)生劑

熱酸發(fā)生劑包含離子性熱酸發(fā)生劑及非離子性熱酸發(fā)生劑。

離子性熱酸發(fā)生劑較佳是不含有重金屬或鹵素離子。

離子性熱酸發(fā)生劑的具體例為锍鹽：如三苯基锍、1-二甲硫基萘、1-二甲硫基-4-羥基萘、1-二甲硫基-4,7-二羥基萘、4-羥基苯基二甲基锍、芐基-4-羥基苯基甲基锍、2-甲基芐基-4-羥基苯基甲基锍、2-甲基芐基-4-乙?；交谆场?-甲基芐基-4-苯甲?；交谆车鹊募谆撬猁}、三氟甲磺酸、樟腦磺酸、對甲苯磺酸、六氟膦酸鹽、市售的芐基锍鹽如SI-60、SI-80、SI-100、SI-110、SI-145、SI-150、SI-80L、SI-100L、SI-110L、SI-145L、SI-150L、SI-160L、SI-180L(均為三新化學(xué)工業(yè)(股)制)。

非離子型熱酸產(chǎn)生劑例如是含鹵素化合物、重氮甲烷化合物、砜化合物、磺酸酯化合物、羧酸酯化合物、磷酸酯化合物、磺酰亞胺化合物、或磺化苯并三唑類化合物等。

含鹵素化合物例如是鹵代基團的烴化合物、鹵代基的雜環(huán)化合物及其類似物，較佳為1,1-雙(4-氯苯基)-2,2,2-三氯乙烷、2-苯基-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-萘基-4,6-雙(三氯甲基)-s-三嗪。

重氮甲烷化合物例如是雙(三氟甲基磺?；?重氮甲烷、雙(環(huán)己基磺?；?重氮甲烷、雙(苯基磺?；?重氮甲烷、雙(對甲苯基)重氮甲烷、雙(2,4–二甲苯磺?；?重氮甲烷、雙(對氯苯基)重氮甲烷、甲基磺?；?對甲苯磺?；氐淄?、環(huán)己基磺?；?1,1-二甲基乙基磺酰)重氮甲烷、雙(1,1-二甲基乙基磺酰)重氮甲烷、苯基磺酰基(苯甲?；?重氮甲烷。

砜化合物例如是β-酮砜化合物、β-磺酰基化合物、二芳基砜化合物等；較佳為4-三苯甲酰甲基砜、三甲苯基苯甲酰甲基砜、雙(苯基磺?；?甲烷、4-氯苯基-4-甲基苯基砜。

磺酸酯化合物例如是烷基磺酸酯、鹵代烷基磺酸酯、芳基磺酸酯、亞胺基磺酸酯；較佳為苯偶姻甲苯磺酸酯(benzoin tosylate)、焦棓酚甲磺酸酯、硝基芐基-9,10-二乙氧基蒽-2-磺酸酯、2,6-二硝基苯磺酸鈉及市售亞胺基磺酸酯，例如PAI-101、PAI-106(綠化學(xué)株式會社制造)、CGI-1311(Ciba Specialty Chemicals公司制造)。

羧酸酯化合物例如是羧酸鄰硝基芐基酯及其類似物。

磺酰亞胺化合物例如是N-(三氟甲基磺酰氧基)琥珀酰亞胺(商品名SI-105，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(樟腦磺酰氧基)琥珀酰亞胺(商品名SI-106，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(4-甲基苯磺酰氧基)琥珀酰亞胺(商品名SI-101，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)琥珀酰亞胺、N-(4-氟苯基磺酰氧基)琥珀酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、N-(樟腦磺?；?鄰苯二甲酰亞胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、N-(2-氟苯基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺(商品名PI-105，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(樟腦磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、4-(甲基苯磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、N-(4-氟苯基磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、N-(4-氟苯基磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、N-(苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺(商品名NDI-100，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(4-甲基苯磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺(商品名NDI-101，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(三氟甲磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺(商品名NDI-105，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(九氟丁磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-二酰亞胺(商品名NDI-109，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(樟腦磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-二酰亞胺(商品名NDI-106，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(樟腦磺?；?-7-氧雜二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰氧基)-7-氧雜二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺、N-(4-甲基苯磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺、N-(4-甲基苯磺酰氧基)-7-氧雜二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)[2.2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺、N-(4-氟苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺、N-(4-氟苯基磺?；?-7-氧雜二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧酰亞胺、N-(樟腦磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧酰亞胺N-(4-甲基苯磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧酰亞胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)二環(huán)[2.2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧酰亞胺、N-(4-氟苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧酸酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺(商品名NAI-105，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(樟腦磺酰氧基)萘二酰亞胺(商品名NAI-106，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(4-甲基苯磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺(商品名NAI-101，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(苯基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺(商品名NAI-100，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺、N-(4-氟苯基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺、N-(五氟乙基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺、N-(七氟丙基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺、N-(九氟丁基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺(商品名NAI-109，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(乙基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺、N-(丙基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺、N-(丁基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺(商品名NAI-1004，綠化學(xué)株式會社制造)、N-(戊基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺、N-(己基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺、N-(庚基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺、N-(辛基磺酰氧基)萘基二羧酰亞胺、N-(壬基磺酰氧基)萘二酰亞胺。

其他熱酸發(fā)生劑如1-(4-正丁氧基-1-萘基)四氫噻吩鎓三氟甲烷磺酸酯(1-(4-n-butoxy-1-naphthalenyl)tetrahydro thiophenium trifluoromethanesulfonate)、1-(4,7-二正丁氧基-1-萘基)四氫噻吩鎓三氟甲烷磺酸酯(1-(4,7-dibutoxy-1-naphthalenyl)tetrahydrothiophenium trifluoromethanesulfonate)的四氫噻吩鹽。

熱堿發(fā)生劑

熱堿發(fā)生劑包含過渡金屬錯合物類、?；款悺?/p>

過渡金屬錯合物類例如是溴基十五烷銨高氯酸鈷、溴基十五烷甲胺高氯酸鈷、溴基十五烷丙胺高氯酸鈷、六銨高氯酸鈷、六甲胺高氯酸鈷、六溴丙胺高氯酸鈷及其類似物。

酰基肟類例如是丙酰乙酰氧丁基肟、丙酰二苯甲酮肟、丙酰丙酮肟、丁酰苯乙酮肟、丁酰二苯甲酮肟、丁酰丙酮肟、己二酰苯乙酮肟、己二酰二苯甲酮肟、己二酰丙酮肟、丙烯酰苯乙酮肟、丙烯酰基二苯甲酮肟、丙烯酰基丙酮肟等。

另一方面，熱堿產(chǎn)生劑較佳包含下列通式(D-1)所示的化合物或其鹽類衍生物和/或下列通式(D-2)所示的化合物和/或下列通式(D-3)所示的化合物。

通式(D-1)如下所示：

通式(D-1)中，k表示2～6的整數(shù)。R⁴¹、R⁴²各自獨立表示氫原子、碳數(shù)1～8的烷基、碳數(shù)1～6的可具有取代基的羥烷基、或碳數(shù)2～12的二烷基胺基。

較佳地，k表示3至5的整數(shù)。

于本發(fā)明的具體例中，R⁴¹、R⁴²為各自獨立表示的氫原子；碳數(shù)1～8的烷基，可例如但不限于：甲基、乙基、異丙基、正丁基、第三丁基或正己基等；碳數(shù)1至6的可具有取代基的羥烷基，可例如但不限于：烴甲基、2-羥乙基、2-羥丙基、2-羥基異丙基、3-羥基-第三丁基或6-羥基己基等；或碳數(shù)2～12的二烷基胺基，可例如但不限于：二甲基胺基、甲基乙基胺基、二乙基胺基、二異丙基胺基、第三丁基甲基胺基或二正己基胺基等。

通式(D-1)所示的化合物或其鹽類衍生物的較佳具體例為1,5-二氮雜雙環(huán)[4.3.0]壬-5-烯(DBN)、1,5-二氮雜雙環(huán)[4.4.0]癸-5-烯、1,8-二氮雜雙環(huán)[5.4.0]十一碳-7-烯(DBU)、5-羥基丙基-1,8-二氮雜雙環(huán)[5.4.0]十一碳-7-烯或5-二丁基胺基-1,8-二氮雜雙環(huán)[5.4.0]十一碳-7-烯、或Aporo公司的制品：SA810、SA831、SA841、SA851、5002；更佳為DBN、SA851或5002。

通式(D-2)如下所示：

通式(D-2)中，R⁴³、R⁴⁴、R⁴⁵及R⁴⁶各自獨立表示氫原子、碳數(shù)1～8的可具有取代基的烷基、碳數(shù)3～8的可具有取代基的環(huán)烷基、碳數(shù)1～8的可具有取代基的烷氧基、碳數(shù)2～8的可具有取代基的烯基、碳數(shù)2～8的可具有取代基的炔基、可具有取代基的芳基或可具有取代基的雜環(huán)基；R⁴⁷及R⁴⁸各自獨立表示氫原子、碳數(shù)1～8的可具有取代基的烷基、碳數(shù)3～8的可具有取代基的環(huán)烷基、碳數(shù)1～8的可具有取代基的烷氧基、碳數(shù)2～8的可具有取代基的烯基、碳數(shù)2～8的可具有取代基的炔基、可具有取代基的芳基或可具有取代基的雜環(huán)基、或彼此結(jié)合形成可具有取代基的單環(huán)、或彼此結(jié)合形成可具有取代基的多環(huán)；R⁴⁹表示碳數(shù)1～12的可具有取代基的烷基、碳數(shù)3～12的可具有取代基的環(huán)烷基、碳數(shù)2～12的可具有取代基的烯基、碳數(shù)2～12的可具有取代基的炔基、可具有碳數(shù)1～3的烷基取代基的芳基、可具有碳數(shù)1～3的烷基取代基的芳烷基或可具有取代基的雜環(huán)基，但R⁴⁹的碳原子總數(shù)為12以下。

通式(D-3)如下所示：

通式(D-3)中，R⁴³～R⁴⁸的定義如通式(D-2)所示；R⁵⁰表示碳數(shù)1～12的可具有取代基的伸烷基、碳數(shù)3～12的可具有取代基的伸環(huán)烷基、碳數(shù)2～12的可具有取代基的伸烯基、碳數(shù)2～12的可具有取代基的伸炔基、可具有碳數(shù)1～3的烷基取代基的亞芳基、可具有碳數(shù)1～3的烷基取代基的亞芳烷基或可具有取代基的雜環(huán)基，但R⁵⁰的碳原子總數(shù)為12以下。

通式(D-2)及通式(D-3)所示的化合物的較佳具體例例如是{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}甲基胺、{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}丙基胺、{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}己基胺、{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}環(huán)己胺、{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}苯胺、{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}哌啶、雙{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}己二胺、雙{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}苯二胺、雙{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}甲苯二胺、雙{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}-二胺基二苯基甲烷、雙{[(2-硝基芐基)氧基]羰基}哌嗪、{[(2,6-二硝基芐基)氧基]羰基}-甲胺、{[(2、6-二硝基芐基)氧基]羰基}丙基胺、{[(2,6-二硝基芐基)氧基]羰基}己基胺、{[(2,6-二硝基芐基)氧基]羰基}環(huán)己胺、{[(2、6-二硝基芐基)氧基]羰基}苯胺、{[(2,6-二硝基芐基)氧基]羰基}哌啶、雙{[(2,6-二硝基芐基)氧基]羰基}己二胺、雙{[(2,6-二硝基芐基)氧基]羰基}苯二胺、雙{[(2,6-二硝基芐基)氧基]羰基}甲苯二胺、雙{[(2,6-二硝基芐基)氧基]羰基}二胺基二苯基甲烷、雙-{[(2,6-二硝基芐基)氧基]羰基}哌嗪等的鄰硝基芐基胺基甲酸酯類；如{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}甲基胺、{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}丙基胺、{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}己基胺、{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}環(huán)己基胺、{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}苯胺、{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}哌啶、雙{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}己二胺、雙{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}苯二胺、雙{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}甲苯二胺、雙{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}二胺基二苯基甲烷、雙{[(α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基)氧基]羰基}哌嗪等的α,α-二甲基-3,5-二甲氧基芐基胺基甲酸酯類；及如N-(異丙氧基羰基)-2,6-二甲基哌啶、N-(異丙氧基羰基)-2,2,6,6-四甲基哌啶、N-(異丙氧基羰基)二異丙基胺、N-(異丙氧基羰基)吡咯烷、N-(異丙氧基羰基)-2,5-二甲基吡咯烷、N-(異丙氧基羰基)氮雜環(huán)丁烷、N-(1-乙基丙氧基羰基)-2,6-二甲基哌啶、N-(1-乙基丙氧基羰基)-2,2,6,6-四甲基哌啶、N-(1-乙基丙氧基羰基)二異丙胺、N-(1-乙基丙氧基羰基)吡咯烷、N-(1-乙基丙氧基羰基)-2,5-二甲基吡咯烷、N-(1-乙基丙氧基羰基)-氮雜環(huán)丁烷、N-(1-丙基丁氧基羰基)-2,6-二甲基哌啶、N-(1-丙基丁氧基羰基)-2,2,6,6-四甲基哌啶、N-(1-丙基丁氧基羰基)二異丙基胺、N-(1-丙基丁氧基羰基)吡咯烷、N-(1-丙基丁氧基羰基)-2,5-二甲基吡咯烷、N-(1-丙基丁氧基羰基)-氮雜環(huán)丁烷、N-(環(huán)戊氧基羰基)-2,6-二甲基哌啶、N-(環(huán)戊氧基羰基)-2,2,6,6-四甲基哌啶、N-(環(huán)戊氧基羰基)二異丙胺、N-(環(huán)戊氧基羰基)吡咯烷、N-(環(huán)戊氧基羰基)-2,5-二甲基吡咯烷、N-(環(huán)戊氧基羰基)-氮雜環(huán)丁烷、N-(環(huán)己基羰基)-2,6-二甲基哌啶、N-(環(huán)己基羰基)-2,2,6,6-四甲基哌啶、N-(環(huán)己基羰基)二異丙胺、N-(環(huán)己基羰基)吡咯烷、N-(環(huán)己基羰基)-2,5-二甲基吡咯烷、N-(環(huán)己基羰基)-氮雜環(huán)丁烷、N-(叔丁氧基羰基)-2,6-二甲基哌啶、N-(叔丁氧基羰基)-2,2,6,6-四甲基哌啶、N-(叔丁氧基羰基)二異丙胺、N-(叔丁氧基羰基)吡咯烷、N-(叔丁氧基羰基)-2,5-二甲基吡咯烷、N-(叔丁氧基羰基)-氮雜環(huán)丁烷、N-(芐氧基羰基)-2,6-二甲基哌啶、N-(芐氧基羰基)-2,2,6,6-四甲基哌啶、N-(芐氧基羰基)二異丙胺、N-(芐氧基羰基)吡咯烷、N-(芐氧基羰基)-2,5-二甲基吡咯烷、N-(芐氧基羰基)-氮雜環(huán)丁烷或1,4-雙(N,N'-二異丙基胺基羰基氧基)環(huán)己烷；更佳為N-(異丙氧基羰基)-2,6-二甲基哌啶、N-(1-乙基丙氧基羰基)二異丙胺、N-(環(huán)戊氧基羰基)-2,6-二甲基哌啶、N-(芐氧基羰基)吡咯烷或1,4-雙(N,N'-二異丙基胺基羰基氧基)環(huán)己烷等的其他化合物。

其他熱堿發(fā)生劑如2-硝基芐基環(huán)己基胺基甲酸酯(2-nitrobenzyl cyclohexylcarbamate)或O-胺基甲?；u胺酰胺(O-carbamoylhydroxyamines amide)。

基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，熱發(fā)生劑(D)的使用量為0.5～6重量份；較佳為0.7～4.5重量份；更佳為1～3重量份。

當感光性樹脂組成物中包括熱發(fā)生劑(D)時，可進一步改善耐化學(xué)性。

添加劑(E)

本發(fā)明的感光性樹脂組成物可進一步包含添加劑(E)。添加劑(E)例如是增感劑(sensitizer)、密著助劑(adhesion auxiliary agent)、表面活性劑(surfactant)、溶解促進劑(solubility promoter)、消泡劑(defoamer)或其組合。

增感劑的種類并無特別的限制。增感劑較佳為使用含有酚式羥基(phenolic hydroxy)的化合物，包括：三苯酚型化合物(trisphenol type compound)、雙苯酚型化合物(bisphenol type compound)、多核分枝型化合物(polynuclear branched compound)、縮合型苯酚化合物(condensation type phenol compound)、多羥基二苯甲酮類(polyhydroxy benzophenone)或上述化合物的組合。

三苯酚型化合物例如是三(4-羥基苯基)甲烷、雙(4-羥基-3-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,3,5-三甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基苯基)-3-甲氧基-4-羥基苯基甲烷、雙(5-環(huán)己基-4-羥基-2-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(5-環(huán)己基-4-羥基-2-甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(5-環(huán)己基-4-羥基-2-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷或雙(5-環(huán)己基-4-羥基-2-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷等。

雙苯酚型化合物例如是雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷、雙(2,4-二羥基苯基)甲烷、2,3,4-三羥基苯基-4'-羥基苯基甲烷、2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(2',3',4'-三羥基苯基)丙烷、2-(2,4-二羥基苯基)-2-(2',4'-二羥基苯基)丙烷、2-(4-羥基苯基)-2-(4'-羥基苯基)丙烷、2-(3-氟基-4-羥基苯基)-2-(3'-氟基-4'-羥基苯基)丙烷、2-(2,4-二羥基苯基)-2-(4'-羥基苯基)丙烷、2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(4'-羥基苯基)丙烷或2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(4'-羥基-3',5'-二甲基苯基)丙烷等。

多核分枝型化合物例如是1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯或1-[1-(3-甲基-4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(3-甲基-4-羥基苯基)乙基]苯等。

縮合型苯酚化合物例如是1,1-雙(4-羥基苯基)環(huán)己烷等。

多羥基二苯甲酮類例如是2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,4,4'-三羥基二苯甲酮、2,4,6-三羥基二苯甲酮、2,3,4-三羥基-2'-甲基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮、2,4,2',4'-四羥基二苯甲酮、2,4,6,3',4'-五羥基二苯甲酮、2,3,4,2',4'-五羥基二苯甲酮、2,3,4,2',5'-五羥基二苯甲酮、2,4,6,3',4',5'-六羥基二苯甲酮或2,3,4,3',4',5'-六羥基二苯甲酮等。

基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，增感劑的使用量為5～50重量份；較佳為8～40重量份；更佳為10～35重量份。

密著助劑的具體例為三聚氰胺(melamine)化合物及硅烷系化合物等。密著助劑的作用在于增加由感光性樹脂組成物所形成的薄膜與元件或基板之間的密著性。

三聚氰胺的市售品的具體例為由三井化學(xué)制造的商品名為Cymel-300或Cymel-303等；或者由三和化學(xué)制造的商品名為MW-30MH、MW-30、MS-11、MS-001、MX-750或MX-706等。

當使用三聚氰胺化合物做為密著助劑時，基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，三聚氰胺化合物的使用量為0～20重量份；較佳為0.5～18重量份；更佳為1～15重量份。

硅烷系化合物的具體例為乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、氮-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基硅烷、氮-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基硅烷、3-胺丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基二甲基甲氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巰丙基三甲氧基硅烷或由信越化學(xué)公司制造的市售品(商品名如KBM403)等。

當使用硅烷系化合物作為密著助劑時，基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，硅烷系化合物的使用量為0～2重量份；較佳為0.05～1重量份；更佳為0.1～0.8重量份。

表面活性劑的具體例為陰離子系表面活性劑、陽離子系表面活性劑、非離子系表面活性劑、兩性表面活性劑、聚硅氧烷系表面活性劑、氟系表面活性劑或其組合。

表面活性劑的實例包括(1)聚環(huán)氧乙烷烷基醚類(polyoxyethylene alkyl ethers)：聚環(huán)氧乙烷十二烷基醚等；(2)聚環(huán)氧乙烷烷基苯基醚類(polyoxyethylene phenyl ethers)：聚環(huán)氧乙烷辛基苯基醚、聚環(huán)氧乙烷壬基苯基醚等；(3)聚乙二醇二酯類(polyethylene glycol diesters)：聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬酸酯等；(4)山梨糖醇酐脂肪酸酯類(sorbitan fatty acid esters)；以及(5)經(jīng)脂肪酸改質(zhì)的聚酯類(fatty acid modified poly esters)；及(6)經(jīng)三級胺改質(zhì)的聚胺基甲酸酯類(tertiary amine modified polyurethanes)等。表面活性劑的市售商品的具體例為KP(由信越化學(xué)工業(yè)制造)、SF-8427(由道康寧東麗聚硅氧股份有限公司(Dow Corning Toray Silicone Co.,Ltd.)制造)、Polyflow(由共榮社油脂化學(xué)工業(yè)制造)、F-Top(由得克姆股份有限公司制造(Tochem Products Co.,Ltd.)制造)、Megaface(由大日本印墨化學(xué)工業(yè)(DIC)制造)、Fluorade(由住友3M股份有限公司(Sumitomo 3M Ltd.)制造)、Surflon(由旭硝子制造)、SINOPOL E8008(由中日合成化學(xué)制造)、F-475(由大日本印墨化學(xué)工業(yè)制造)或其組合。

基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，表面活性劑的使用量為0.5～50重量份；較佳為1～40重量份；且更佳為3～30重量份。

消泡劑的實例包括Surfynol MD-20、Surfynol MD-30、EnviroGem AD01、EnviroGem AE01、EnviroGem AE02、Surfynol DF110D、Surfynol 104E、Surfynol 420、Surfynol DF37、Surfynol DF58、Surfynol DF66、Surfynol DF70以及Surfynol DF210(由氣體產(chǎn)品(Air products)制造)等。

基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，消泡劑的使用量為1～10重量份；較佳為2～9重量份；且更佳為3～8重量份。

溶解促進劑的實例包括氮-羥基二羧基酰亞胺化合物(N-hydroxydicarboxylic imide)以及含酚式羥基的化合物。溶解促進劑的具體例為鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)中所使用的含酚式羥基的化合物。

基于復(fù)合樹脂(A)的使用量為100重量份，溶解促進劑的使用量為1～20重量份；較佳為2～15重量份；且更佳為3～10重量份。

本發(fā)明的感光性樹脂組成物以下列方式來制備：將復(fù)合樹脂(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)以及溶劑(C)放置于攪拌器中攪拌，使其均勻混合成溶液狀態(tài)，必要時，可添加熱發(fā)生劑(D)以及添加劑(E)。

<保護膜的制造方法>

本發(fā)明提供一種保護膜，由上述的感光性樹脂組成物制成。以下詳細說明其制造方法。

保護膜的制造方法，其依序包括：使用感光性樹脂組成物來形成預(yù)烤涂膜、對預(yù)烤涂膜進行圖案化曝光、通過堿顯影移除未曝光區(qū)域以形成圖案；以及進行后烤處理以形成保護膜。

-形成預(yù)烤涂膜-

通過回轉(zhuǎn)涂布、流延涂布或輥式涂布等涂布方式，在被保護的元件(以下稱為基材)上涂布上述溶液狀態(tài)的感光性樹脂組成物，以形成涂膜。

上述基材可以是用于液晶顯示裝置的無堿玻璃、鈉鈣玻璃、硬質(zhì)玻璃(派勒斯玻璃)、石英玻璃，以及附著有透明導(dǎo)電膜的此等玻璃者，或是用于光電變換裝置(如固體攝影裝置)的基材(如：硅基材)。

形成涂膜之后，以減壓干燥方式去除感光性樹脂組成物的大部分有機溶劑，然后以預(yù)烤(pre-bake)方式將殘余的有機溶劑完全去除，使其形成預(yù)烤涂膜。

上述減壓干燥及預(yù)烤的操作條件可依各成份的種類、配合比率而異。一般而言，減壓干燥乃在0托至200托的壓力下進行1秒鐘至60秒鐘，并且預(yù)烤乃在70℃至110℃溫度下進行1分鐘至15分鐘。

-圖案化曝光-

以具有特定圖案的光罩對上述預(yù)烤涂膜進行曝光。在曝光過程中所使用的光線，以g線、h線、i線等紫外線為佳，并且用來提供紫外線的設(shè)備可為(超)高壓水銀燈及金屬鹵素?zé)簟?/p>

-顯影-

將上述經(jīng)曝光的預(yù)烤涂膜浸漬于溫度介于23±2℃的顯影液中，進行約15秒至5分鐘的顯影，以去除上述經(jīng)曝光的預(yù)烤涂膜的不需要的部分，藉此可在基材上形成具有預(yù)定圖案的薄膜的半成品。上述顯影液的具體例為氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、碳酸氫鉀、硅酸鈉、甲基硅酸鈉(sodium methylsilicate)、氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氫氧化四甲銨(THAM)、氫氧化四乙銨、膽堿、吡咯、呱啶，或1,8-二氮雜二環(huán)-(5,4,0)-7-十一烯等堿性化合物。

值得一提的是，顯影液的濃度太高會使得特定圖案損毀或造成特定圖案的解析度變差；濃度太低會造成顯影不良，導(dǎo)致特定圖案無法成型或者曝光部分的組成物殘留。因此，濃度的多寡會影響后續(xù)感光性樹脂組成物經(jīng)曝光后的特定圖案的形成。顯影液的濃度范圍較佳為0.001wt％至10wt％；更佳為0.005wt％至5wt％；再更佳為0.01wt％至1wt％。本發(fā)明的實施例是使用2.38wt％的氫氧化四甲銨的顯影液。值得一提的是，即使使用濃度更低的顯影液，本發(fā)明的感光性樹脂組成物也能形成良好的微細化圖案。

-后烤處理-

用水清洗基材(其中基材上有預(yù)定圖案的薄膜的半成品)，以清除上述經(jīng)曝光的預(yù)烤涂膜的不需要的部分。然后，用壓縮空氣或壓縮氮氣干燥上述具有預(yù)定圖案的保護膜的半成品。最后以加熱板或烘箱等加熱裝置對上述具有預(yù)定圖案的保護膜的半成品進行后烤(post-bake)處理。加熱溫度設(shè)定在100℃至250℃之間，使用加熱板時的加熱時間為1分鐘至60分鐘，使用烘箱時的加熱時間則為5分鐘至90分鐘。藉此，可使上述具有預(yù)定圖案的保護膜的半成品的圖案固定，以形成保護膜。

<液晶顯示元件的制造方法>

本發(fā)明提供一種液晶顯示元件，包括上述的保護膜。以下詳細說明其制造方法。

首先，將包括通過上述保護膜的制造方法所形成的保護膜的元件(如彩色濾光片)以及設(shè)置有薄膜晶體管(thin film transistor；TFT)的基板作對向配置，并且在上述兩者之間設(shè)置間隙(晶胞間隔，cell gap)。接著，以粘著劑貼合元件與上述基板的周圍部分并且留下注入孔。然后，在基板表面以及粘著劑所分隔出的間隙內(nèi)由注入孔注入液晶，最后封住注入孔來形成液晶層。隨后，通過在元件中接觸液晶層的另一側(cè)與基板中接觸液晶層的另一側(cè)提供偏光板來制作液晶顯示元件。上述所使用的液晶，也即液晶化合物或液晶組成物，此處并未特別限定。惟，可使用任何一種液晶化合物及液晶組成物。

此外，于制作彩色濾光片中所使用的液晶配向膜是用來限制液晶分子的配向，并且沒有特別的限制，舉凡無機物或有機物任一個均可，并且本發(fā)明并不限于此。

以下將列舉實施例詳細說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不局限于這些實施例所公開的內(nèi)容。

<實施例>

復(fù)合樹脂(A)的合成例

以下說明復(fù)合樹脂(A)的合成例A1～A13以及比較合成例A'1～A'3：

另外，以下合成例中的簡稱所對應(yīng)的化合物如下所示。

合成例A1

步驟1：如表1的合成例A-1-1所示，在一容積1000毫升的四頸錐瓶上設(shè)置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計。導(dǎo)入氮氣后，添加10重量份的MPTMS(相當于(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2))、90重量份的MMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、2.4重量份的ADVN及290重量份的PGMEA至反應(yīng)瓶中。接著，緩慢攪拌上述成份，并將溶液加熱至80℃，進行聚合反應(yīng)3小時后，將溶劑脫揮，即可得到主鏈共聚物(A-1-1)。

步驟2：如表2的合成例A-2-1所示，在一容積500毫升的三頸燒瓶中，加入10重量份的GF-20(相當于單體(a2-1))、50重量份的MTMS(相當于單體(a2-2))、40重量份的PTMS(相當于單體(a2-2))以及80重量份的DAA，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.1重量份磷酸/30重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于60分鐘內(nèi)升溫至40℃，并于40℃下攪拌30分鐘。然后，再于90分鐘內(nèi)升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合80分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得側(cè)鏈聚縮合物(A-2-1)。

步驟3：如表3的合成例A1所示，在一容積1000毫升的三頸燒瓶中，將上述合成所得的固形份20重量份的主鏈共聚物(A-1-1)及固形份80重量份的側(cè)鏈聚縮合物(A-2-1)在60重量份的PGMEA以及65重量份的DAA的混合溶劑中進行混合，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.05重量份磷酸/4重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于80℃下攪拌120分鐘。然后，升溫至105℃，持續(xù)攪拌進行聚合120分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得復(fù)合樹脂(A1)。

合成例A2～A7

如表1～表3所示，合成例A2～A7的復(fù)合樹脂是以與合成例A1相同的步驟來制備，并且其不同處在于：改變復(fù)合樹脂的成分種類及其使用量。

合成例A8

步驟1：在一容積1000毫升的四頸錐瓶上設(shè)置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計。導(dǎo)入氮氣后，添加95重量份的MMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、5重量份的MPTMS(相當于(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2))、15重量份的MTMS(相當于單體(a2-2))、11重量份的ADVN及120重量份的PGMEA至反應(yīng)瓶中。接著，緩慢攪拌上述成份，并將溶液加熱至80℃，進行聚合反應(yīng)3小時。接著，添加磷酸水溶液(0.2重量份磷酸/4.2重量份去離子水)并攪拌1小時后，升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合60分鐘。最后，將溶劑脫揮，即可得到生成具有部分聚硅氧烷側(cè)鏈的主鏈共聚物(A-1-8)。

步驟2：在一容積500毫升的三頸燒瓶中，加入10重量份的GF-20(相當于單體(a2-1))、40重量份的PTMS(相當于單體(a2-2))、35重量份的MTMS(相當于單體(a2-2))以及80重量份的DAA，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.1重量份磷酸/32.6重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于60分鐘內(nèi)升溫至40℃，并于40℃下攪拌30分鐘。然后，再于90分鐘內(nèi)升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合80分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得側(cè)鏈聚縮合物(A-2-8)。

步驟3：在一容積1000毫升的三頸燒瓶中，將上述合成所得的固形份20重量份的具有部分聚硅氧烷側(cè)鏈的主鏈共聚物(A-1-8)及固形份80重量份的側(cè)鏈聚縮合物(A-2-8)在60重量份的PGMEA以及65重量份的DAA的混合溶劑中進行混合，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.05重量份磷酸/4重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于80℃下攪拌120分鐘。然后，升溫至105℃，持續(xù)攪拌進行聚合120分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得復(fù)合樹脂(A8)。

合成例A9

步驟1：在一容積1000毫升的四頸錐瓶上設(shè)置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計。導(dǎo)入氮氣后，添加10重量份的MAA(相當于含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1))、10重量份的MPTMS(相當于(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2))、50重量份的MMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、30重量份的BzMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、12重量份的DMDMS(相當于單體(a2-2))、11重量份的ADVN及120重量份的PGMEA至反應(yīng)瓶中。接著，緩慢攪拌上述成份，并將溶液加熱至80℃，進行聚合反應(yīng)3小時。接著，添加磷酸水溶液(0.2重量份磷酸/4.0重量份去離子水)并攪拌1小時后，升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合60分鐘。最后，將溶劑脫揮，即可得到生成具有部分聚硅氧烷側(cè)鏈的主鏈共聚物(A-1-9)。

步驟2：在一容積500毫升的三頸燒瓶中，加入40重量份的PTMS(相當于單體(a2-2))、38重量份的MTMS(相當于單體(a2-2))、10重量份的PTES(相當于單體(a2-2))以及80重量份的DAA，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.1重量份磷酸/32.6重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于60分鐘內(nèi)升溫至40℃，并于40℃下攪拌30分鐘。然后，再于90分鐘內(nèi)升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合80分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得側(cè)鏈聚縮合物(A-2-9)。

步驟3：在一容積1000毫升的三頸燒瓶中，將上述合成所得的固形份25重量份的具有部分聚硅氧烷側(cè)鏈的主鏈共聚物(A-1-9)及固形份75重量份的側(cè)鏈聚縮合物(A-2-9)在60重量份的PGMEA以及65重量份的DAA的混合溶劑中進行混合，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.05重量份磷酸/4重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于80℃下攪拌120分鐘。然后，升溫至105℃，持續(xù)攪拌進行聚合120分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得復(fù)合樹脂(A9)。

合成例A10

步驟1：在一容積1000毫升的四頸錐瓶上設(shè)置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計。導(dǎo)入氮氣后，添加10重量份的MAA(相當于含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1))、15重量份的MPTMS(相當于(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2))、45重量份的MMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、20重量份的BzMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、10重量份的SM(相當于其他不飽和單體(a1-3))、15重量份的DMDMS(相當于單體(a2-2))、12重量份的ADVN及130重量份的PGMEA至反應(yīng)瓶中。接著，緩慢攪拌上述成份，并將溶液加熱至80℃，進行聚合反應(yīng)3小時后，接著，添加磷酸水溶液(0.2重量份磷酸/4.5重量份去離子水)并攪拌1小時后，升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合60分鐘。最后，將溶劑脫揮，即可得到生成具有部分聚硅氧烷側(cè)鏈的主鏈共聚物(A-1-10)。

步驟2：在一容積500毫升的三頸燒瓶中，加入10重量份的TMSG(相當于單體(a2-1))、30重量份的PTMS(相當于單體(a2-2))、35重量份的MTMS(相當于單體(a2-2))、10重量份的PTES(相當于單體(a2-2))以及85重量份的DAA，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.1重量份磷酸/32.6重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于60分鐘內(nèi)升溫至40℃，并于40℃下攪拌30分鐘。然后，再于90分鐘內(nèi)升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合80分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得側(cè)鏈聚縮合物(A-2-10)。

步驟3：在一容積1000毫升的三頸燒瓶中，將上述合成所得的固形份15重量份的具有部分聚硅氧烷側(cè)鏈的主鏈共聚物(A-1-10)及固形份85重量份的側(cè)鏈聚縮合物(A-2-10)在60重量份的PGMEA以及65重量份的DAA的混合溶劑進行混合，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.05重量份磷酸/4重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于80℃下攪拌120分鐘。然后，升溫至105℃，持續(xù)攪拌進行聚合120分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得復(fù)合樹脂(A10)。

合成例A11

在一容積1000毫升的四頸錐瓶上設(shè)置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計。導(dǎo)入氮氣后，添加12重量份的MPTMS(相當于(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2))、88重量份的MMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、2.4重量份的ADVN及290重量份的PGMEA至反應(yīng)瓶中。接著，緩慢攪拌上述成份，并將溶液加熱至80℃后，進行聚合反應(yīng)3小時，然后，加入10重量份的GF-20(相當于單體(a2-1))、40重量份的PTMS(相當于單體(a2-2))、50重量份的MTMS(相當于單體(a2-2))以及80重量份的DAA，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.1重量份磷酸/32.6重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于60分鐘內(nèi)升溫至40℃，并于40℃下攪拌30分鐘。然后，再于90分鐘內(nèi)升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合80分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得復(fù)合樹脂(A11)。

合成例A12

在一容積1000毫升的四頸錐瓶上設(shè)置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計。導(dǎo)入氮氣后，添加20重量份的MAA(相當于含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1))、15重量份的MPTES(相當于(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2))、40重量份的MMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、25重量份的FA513M(相當于其他不飽和單體(a1-3))、2.5重量份的ADVN及300重量份的PGMEA至反應(yīng)瓶中。接著，緩慢攪拌上述成份，并將溶液加熱至80℃，進行聚合反應(yīng)3小時，然后，加入40重量份的PTMS(相當于單體(a2-2))、50重量份的MTMS(相當于單體(a2-2))、10重量份的DMDMS(相當于單體(a2-2))以及80重量份的DAA，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.1重量份磷酸/32.6重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于60分鐘內(nèi)升溫至40℃，并于40℃時攪拌30分鐘。然后，再于90分鐘內(nèi)升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合80分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得復(fù)合樹脂(A12)。

合成例A13

在一容積1000毫升的四頸錐瓶上設(shè)置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計。導(dǎo)入氮氣后，添加10重量份的MAA(相當于含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1))、15重量份的MPTES(相當于(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2))、40重量份的MMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、25重量份的FA513M(相當于其他不飽和單體(a1-3))、10重量份的SM、2.5重量份的ADVN及300重量份的PGMEA至反應(yīng)瓶中。接著，緩慢攪拌上述成份，并將溶液加熱至80℃，進行聚合反應(yīng)3小時，然后，加入10重量份的TMSG(相當于單體(a2-1))、50重量份的PTMS(相當于單體(a2-2))、40重量份的MTMS(相當于單體(a2-2))以及80重量份的DAA，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.1重量份磷酸/32.6重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于60分鐘內(nèi)升溫至40℃，并于40℃時攪拌30分鐘。然后，再于90分鐘內(nèi)升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合80分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得復(fù)合樹脂(A13)。

比較合成例A'1

在一容積1000毫升的四頸錐瓶上設(shè)置氮氣入口、攪拌器、加熱器、冷凝管及溫度計。導(dǎo)入氮氣后，添加10重量份的MAA(相當于含羧酸或羧酸酐的不飽和單體(a1-1))、10重量份的MPTMS(相當于(甲基)丙烯酸硅氧烷酯系單體(a1-2))、30重量份的甲基丙烯酸甲酯MMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、50重量份的BzMA(相當于其他不飽和單體(a1-3))、2.4重量份的ADVN及290重量份的PGMEA至反應(yīng)瓶中。接著，緩慢攪拌上述成份，并將溶液加熱至80℃，進行聚合反應(yīng)3小時后，然后，將溶劑脫揮后，即可得到(甲基)丙烯酸系聚合物(A’1)。

比較合成例A'2

在一容積500毫升的三頸燒瓶中，加入10重量份的GF-20(相當于單體(a2-1))、40重量份的PTMS(相當于單體(a2-2))、50重量份的MTMS(相當于單體(a2-2))以及80重量份的DAA，并于室溫下一邊攪拌一邊于30分鐘內(nèi)添加磷酸水溶液(0.1重量份磷酸/32.6重量份去離子水)。接著，將燒瓶浸漬于油浴中，于60分鐘內(nèi)升溫至40℃，并于40℃下攪拌30分鐘。然后，再于90分鐘內(nèi)升溫至105℃，持續(xù)加熱攪拌進行聚縮合80分鐘后，利用蒸餾方式將溶劑移除，即可獲得聚硅氧烷(A’2)。

感光性樹脂組成物的實施例

以下說明感光性樹脂組成物的實施例1至實施例14及比較例1至比較例5：

實施例1

將100重量份的復(fù)合樹脂(A1)(以下簡稱為A1)、4重量份的1-[1-(4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯與鄰萘醌二疊氮-5-磺酸所形成的鄰萘醌二疊氮磺酸酯(以下簡稱為B-1)、0.5重量份的N-(三氟甲磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亞胺(以下簡稱為D-1)加入200重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(以下簡稱為C-1)中，并且以搖動式攪拌器(shaking type stirrer)攪拌均勻后，即可制造得實施例1的感光性樹脂組成物。將所制得的感光性樹脂組成物以后述各評價方式進行評價，其結(jié)果如表4所示。

實施例2至實施例14

實施例2至實施例14的感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來制備，并且其不同處在于：改變感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表4所示)。將所制得的感光性樹脂組成物以后述各評價方式進行評價，其結(jié)果如表4所示。

比較例1至比較例5

比較例1至比較例5的感光性樹脂組成物是以與實施例1相同的步驟來制備，并且其不同處在于：改變感光性樹脂組成物的成分種類及其使用量(如表4所示)。將所制得的感光性樹脂組成物以后述各評價方式進行評價，其結(jié)果如表4所示。

表4中的簡稱所對應(yīng)的化合物如下所示。

評價方式

(a)透光率

將感光性樹脂組成物以旋轉(zhuǎn)涂布的方式，涂布在100*100*0.7mm大小的素玻璃基板上，得到厚度約3μm的預(yù)涂膜，接續(xù)以90℃預(yù)烤2分鐘后，浸漬于2.38wt％的氫氧化四甲銨的顯影液中60秒。以清水清洗后，再以曝光機直接照射顯影后的涂膜，其能量為200mJ/cm²。接著進行后烤，后烤溫度為230℃/1hr，將后烤完的薄膜以穿透吸收光譜分析儀(MCPD-Series，大?？萍?測量400nm至800nm波長通過烘烤后保護膜的透光率，量測點為至少五點，將測得的數(shù)據(jù)平均后取400nm波長對應(yīng)的透光率數(shù)值，此即為透光率的數(shù)據(jù)，并根據(jù)以下標準評價：

◎：95％≤透光率

○：90％≤透光率＜95％

△：85％≤透光率＜90％

╳：透光率＜85％

(b)耐化學(xué)性

將感光性樹脂組成物以旋轉(zhuǎn)涂布的方式，涂布在100*100*0.7mm大小的素玻璃基板上，得到厚度約3μm的預(yù)涂膜，接續(xù)以90℃預(yù)烤2分鐘后，浸漬于2.38wt％的氫氧化四甲銨的顯影液中60秒。以清水清洗后，再以曝光機直接照射顯影后的涂膜，其能量為200mJ/cm²。接著進行后烤，后烤溫度為230℃/1hr，將后烤完的薄膜浸泡于80℃的N-甲基吡咯烷酮(N-Methyl-2-pyrrolidone，NMP)溶劑中10分鐘，依如下公式計算膜厚變化率：

膜厚變化率＝〔(浸泡前膜厚-浸泡后膜厚)/浸泡前膜厚〕×100％

得到的膜厚變化率數(shù)值即為耐化學(xué)性的數(shù)據(jù)，并根據(jù)以下標準評價：

◎：膜厚變化率≤3％

○：3％＜膜厚變化率≤5％

△：5％＜膜厚變化率≤6％

╳：6％＜膜厚變化率

評價結(jié)果

由表4得知，與含有復(fù)合樹脂(A)的感光性樹脂組成物(實施例1至實施例14)相比，僅含有(甲基)丙烯酸系聚合物(A’1)的感光性樹脂組成物(比較例1)的透明性較差；僅含有聚硅氧烷(A’2)的感光性樹脂組成物(比較例2)的耐化學(xué)性較差；同時含有含有(甲基)丙烯酸系聚合物(A’1)以及聚硅氧烷(A’2)的感光性樹脂組成物(比較例3～5)的透明性表現(xiàn)隨(甲基)丙烯酸系聚合物(A’1)的含量增加而逐漸變差，而耐化學(xué)性表現(xiàn)則隨聚硅氧烷(A’2)的含量增加而逐漸變差。由此可知，當感光性樹脂組成物中，未包括復(fù)合樹脂(A)時，感光性樹脂組成物的透明性及耐化學(xué)性較差。本發(fā)明的感光性樹脂組成物因含有復(fù)合樹脂(A)，故兼具高透明性及耐化學(xué)性優(yōu)異的特性。

另外，當感光性樹脂組成物中包括熱發(fā)生劑(D)時(實施例1、3、4、6、12、13)，感光性樹脂組成物的耐化學(xué)性表現(xiàn)更佳。由此可知，當感光性樹脂組成物中包括熱發(fā)生劑(D)時，可進一步改善其耐化學(xué)性。

綜上所述，本發(fā)明的感光性樹脂組成物由于含有具有聚(甲基)丙烯酸結(jié)構(gòu)的主鏈及聚硅氧烷結(jié)構(gòu)的側(cè)鏈的復(fù)合樹脂(A)，而可以改善保護膜的透明性與耐化學(xué)性不佳的問題，進而適用于液晶顯示元件。

最后應(yīng)說明的是：以上各實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述各實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當理解：其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實施例技術(shù)方案的范圍。