技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種激光顯示系統(tǒng)中抑制激光散斑的MEMS振鏡及其制作方法，該MEMS振鏡以SOI片(Silicon?On?Insulator)為加工對(duì)象，采用光刻、刻蝕和鍍膜等微加工工藝制作，主要包含反射鏡面、諧振懸梁、驅(qū)動(dòng)梳齒和檢測(cè)梳齒等結(jié)構(gòu)。反射鏡面表面設(shè)計(jì)有隨機(jī)分布且微小的波浪起伏特征，在實(shí)現(xiàn)激光反射的同時(shí)通過干擾激光相位實(shí)現(xiàn)散斑抑制功能。反射鏡面上設(shè)計(jì)有與之相匹配的驅(qū)動(dòng)梳齒、檢測(cè)梳齒和諧振梁結(jié)構(gòu)，通過梳齒靜電驅(qū)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)反射鏡的面內(nèi)振動(dòng)，利用人眼視覺暫留時(shí)間內(nèi)散斑圖像的疊加從而實(shí)現(xiàn)散斑對(duì)比度因時(shí)間平均而被降低，增強(qiáng)器件的散斑抑制效果。本發(fā)明所提供的MEMS振鏡形式的激光散斑抑制器件具有可靠性高、能耗低、散斑抑制效果明顯、加工簡(jiǎn)單，易于大批量生產(chǎn)等特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：游橋明;喬大勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西北工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611153922
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.14
技術(shù)公布日：2017.05.31