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      單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動的變形鏡的制作方法

      文檔序號:11074602閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      一種單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動的變形鏡,包括單壓電片執(zhí)行器陣列、設(shè)置在單壓電片執(zhí)行器陣列上方的鏡面,單壓電片執(zhí)行器陣列包括多個固定于帶通孔的基座上的單壓電片執(zhí)行器,每個單壓電片執(zhí)行器上均連接有支撐鏡面用的連接柱,每個單壓電片執(zhí)行器包括彈性層和壓電層,壓電層的兩面均覆蓋有尺寸略小于壓電層尺寸的電極層。本實用新型的單壓電片執(zhí)行器具有行程大、成本低的優(yōu)點,產(chǎn)生的位移通過連接柱傳遞給鏡面,使整個變形鏡具有行程大、低成本的優(yōu)點。

      技術(shù)研發(fā)人員:馬劍強;章家連;朱正雄;田雷;喻奇志;李艷
      受保護的技術(shù)使用者:寧波大學(xué)
      文檔號碼:201621111207
      技術(shù)研發(fā)日:2016.10.11
      技術(shù)公布日:2017.05.10

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