本實(shí)用新型涉及曝光機(jī)機(jī)械領(lǐng)域，具體而言涉及一種能夠?qū)CB板上下兩面分別與上菲林和下菲林對(duì)齊的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái)。

背景技術(shù)：

曝光機(jī)是指通過開啟紫外光裝置，將菲林（印有電路相關(guān)信息的底片）上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的電路板（PCB板）上的設(shè)備，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。將菲林信息轉(zhuǎn)移到PCB板上時(shí)需要將菲林與PCB板進(jìn)行對(duì)位，對(duì)準(zhǔn)后再進(jìn)行曝光?，F(xiàn)在有一塊菲林與PCB板一側(cè)面進(jìn)行對(duì)位的單面對(duì)位模式，還有上下兩塊菲林與中間PCB板分別對(duì)位的雙面對(duì)位模式。在雙面對(duì)位模式中，利用PCB板上的通孔和上下菲林的通孔作為對(duì)位靶標(biāo)進(jìn)行對(duì)位，然而，這種選取通孔作為靶標(biāo)的對(duì)位方法只適合PCB板上留有通孔的前期階段，對(duì)后期經(jīng)過防焊工藝后的PCB板，上面已經(jīng)沒有通孔，因而目前只能選取其上的圓片作為靶點(diǎn)進(jìn)行單面對(duì)位，然后經(jīng)過翻轉(zhuǎn)再進(jìn)行PCB板另一面的單面對(duì)位，這就造成操作環(huán)節(jié)多，工作效率低下。但是限于曝光機(jī)中給抬框留出的有限空間，且不論增加的成本，也很難采用在抬框的上下方設(shè)置兩套對(duì)位臺(tái)并分別對(duì)上菲林、下菲林和PCB板進(jìn)行單面對(duì)位的模式來實(shí)現(xiàn)整體上的雙面對(duì)位，因此，在不改變現(xiàn)有曝光機(jī)（針對(duì)防焊后PCB板曝光）的結(jié)構(gòu)框架和利用現(xiàn)有抬框技術(shù)的基礎(chǔ)上，研發(fā)新的對(duì)位臺(tái)，實(shí)現(xiàn)在不翻轉(zhuǎn)PCB板的情況下即能進(jìn)行雙面對(duì)位，是本領(lǐng)域極為期待解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái)，該對(duì)位臺(tái)能夠在不依賴通孔靶點(diǎn)、不翻轉(zhuǎn)PCB板的情況下將PCB板分別與上下菲林進(jìn)行對(duì)位，而且能夠使體積更加緊湊，針對(duì)現(xiàn)有曝光機(jī)的有限空間直接替換原有對(duì)位機(jī)構(gòu)，將原來需翻轉(zhuǎn)PCB板進(jìn)行的兩次單面對(duì)位變成不翻轉(zhuǎn)PCB板的雙面對(duì)位。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取以下技術(shù)方案：

一種雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái)，包括底座和第一臺(tái)板，第一臺(tái)板經(jīng)第一轉(zhuǎn)動(dòng)件安裝在第一滑動(dòng)件上，第一滑動(dòng)件安裝在底座上，第一滑動(dòng)件與第一驅(qū)動(dòng)裝置相連，第二臺(tái)板經(jīng)第二滑動(dòng)件安裝在第一臺(tái)板上，第二臺(tái)板經(jīng)傳動(dòng)連接件與第二驅(qū)動(dòng)裝置相連，第二驅(qū)動(dòng)裝置與第一臺(tái)板相固定，在第一臺(tái)板上安有PCB板支撐架吸附固定件，在第二臺(tái)板上安有下菲林框架吸附固定件。

優(yōu)選的，所述第二滑動(dòng)件包括上滾珠、下滾珠和連接梁，所述第二臺(tái)板向下經(jīng)上滾珠與第一臺(tái)板相連，所述連接梁一側(cè)與第二臺(tái)板相連，并且向下穿過第一臺(tái)板而使另一側(cè)向上經(jīng)下滾珠與第一臺(tái)板相連。

優(yōu)選的，所述連接梁為U形連接梁，并且在U形連接梁的底部向上連有連接柱，所述U形連接梁的兩上端穿過所述第一臺(tái)板與所述第二臺(tái)板相連，所述連接柱的上端經(jīng)所述下滾珠向上與第一臺(tái)板相連。

優(yōu)選的，所述傳動(dòng)連接件上端與所述第二臺(tái)板相固定，下端穿過所述第一臺(tái)板，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置由第二電機(jī)和第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)的偏心輪組成，所述偏心輪與所述傳動(dòng)連接件的下端相接觸，傳動(dòng)連接件下端經(jīng)彈簧與第二電機(jī)的固定座相連。

優(yōu)選的，所述傳動(dòng)連接件下端留有軸孔，軸孔內(nèi)安有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的兩端分別經(jīng)所述彈簧與所述第二電機(jī)的固定座相連。

優(yōu)選的，所述第二滑動(dòng)件有四組，并分布于所述第二臺(tái)板相對(duì)的兩側(cè)，所述傳動(dòng)連接件和第二驅(qū)動(dòng)裝置有三組，其中兩組位于第二臺(tái)板的一側(cè)，并均驅(qū)動(dòng)第二臺(tái)板在水平橫向運(yùn)動(dòng)，另外一組位于第二臺(tái)板相對(duì)的另一側(cè)并驅(qū)動(dòng)第二臺(tái)板在水平縱向運(yùn)動(dòng)。

優(yōu)選的，所述第二臺(tái)板為“工”字框，并且所述第二滑動(dòng)件、傳動(dòng)連接件和第二驅(qū)動(dòng)裝置均位于“工”字框的兩側(cè)邊框下方，所述下菲林框架吸附固定件有兩組，并分別位于“工”字框的兩側(cè)邊框上方。

優(yōu)選的，所述第一臺(tái)板由中心臺(tái)板、連接板、擴(kuò)展邊框組成，兩條擴(kuò)展邊框分別經(jīng)連接板連接在中心臺(tái)板上并相互平行，所述中心臺(tái)板經(jīng)所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)件安裝在所述第一滑動(dòng)件上，所述第一滑動(dòng)件安裝在所述底座上，所述“工”字框的兩側(cè)邊框位于所述擴(kuò)展邊框的上方，所述PCB板支撐架吸附固定件安裝在所述中心臺(tái)板上。

優(yōu)選的，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)件為轉(zhuǎn)動(dòng)軸承，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為第一電機(jī)和絲杠，所述第一滑動(dòng)件由下滑軌、下滑塊、上滑軌和上滑塊組成，下滑軌固定在底座上，下滑塊位于下滑軌上，上滑軌固定在下滑塊上，上滑塊位于上滑軌上，上滑塊與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸承相連，所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)件和第一滑動(dòng)件共有四組，分別位于所述中心臺(tái)板的四側(cè)，有三側(cè)的第一滑動(dòng)件均分別與絲杠和第一電機(jī)相連，并且相互平行兩側(cè)的下滑塊與絲杠相連，另一側(cè)的上滑塊與絲杠相連。

優(yōu)選的，PCB板支撐架吸附固定件由吸附裝置和固定裝置組合而成，固定裝置在兩側(cè)留有銷軸孔。

本實(shí)用新型的有益效果是，利用下菲林框架吸附固定件將抬框內(nèi)的下菲林框架吸附固定后，可以利用第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)第二臺(tái)板帶動(dòng)下菲林框架相對(duì)于抬框內(nèi)的PCB板運(yùn)動(dòng)并與PCB板進(jìn)行對(duì)位；然后利用PCB板支撐架吸附固定件將抬框內(nèi)的PCB板支撐架吸附固定后，可以利用第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)第一臺(tái)板帶動(dòng)PCB板支撐架上的PCB板、第二臺(tái)板上的下菲林框架一起相對(duì)于上菲林框架運(yùn)動(dòng)并與上菲林進(jìn)行對(duì)位，由此實(shí)現(xiàn)不翻轉(zhuǎn)PCB板條件下的雙面對(duì)位。本實(shí)用新型中采用的第二電機(jī)、偏心輪、傳動(dòng)連接塊、彈簧等部件及使用方式，配合第二臺(tái)板的“工”字形機(jī)構(gòu)、第一臺(tái)板的中心臺(tái)板向外擴(kuò)展結(jié)構(gòu)，可以使第二臺(tái)板緊貼第一臺(tái)板，從而有效消除二者之間間隙，增強(qiáng)體積緊湊程度，并使得針對(duì)曝光機(jī)內(nèi)抬框操作的有限空間，可以直接替換原有對(duì)位機(jī)構(gòu)，進(jìn)而使得原來的單面曝光機(jī)變成雙面曝光機(jī)，極大提高工作效率和提升曝光機(jī)價(jià)值。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖（自上而下角度）；

圖2為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖（自下而上角度）；

圖3為底座和中心臺(tái)板部位結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為第二電機(jī)及相關(guān)部位結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為“工”字框一側(cè)邊框、其下第一臺(tái)板的擴(kuò)展邊框和第二電機(jī)組合結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為U形連接梁結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，通過優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明：

如圖1至圖6所示，本雙面對(duì)位的曝光機(jī)對(duì)位臺(tái)，具有底座1和第一臺(tái)板2，第一臺(tái)板2可以由中心臺(tái)板3、連接板4和兩側(cè)擴(kuò)展邊框5組成。第一臺(tái)板2的中心臺(tái)板3上以轉(zhuǎn)動(dòng)軸承31作為第一轉(zhuǎn)動(dòng)件安裝在上滑塊上，上滑塊安裝在上滑軌上，能夠進(jìn)行滑動(dòng)，上滑軌固定在下滑塊上，下滑塊安裝在下滑軌上，下滑軌安裝固定在底座1上，上滑塊或者下滑塊通過絲扣與絲杠6相連，再利用第一電機(jī)7驅(qū)動(dòng)絲杠6，即可實(shí)現(xiàn)上滑塊或下滑塊在相應(yīng)軌道上的滑動(dòng)，并進(jìn)而帶動(dòng)第一臺(tái)板2進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。上滑塊、上滑軌、下滑塊、下滑軌組成了第一滑動(dòng)件，絲杠6和第一電機(jī)7組成為第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。第一轉(zhuǎn)動(dòng)件和第一滑動(dòng)件可以設(shè)置四組，分別位于第一臺(tái)板2的中心臺(tái)板3的四側(cè)，其中有三組連有絲杠和第一電機(jī)，并且相對(duì)的兩側(cè)中，都是下滑塊經(jīng)絲扣與絲杠相連，可以分別驅(qū)動(dòng)下滑塊在水平縱向運(yùn)動(dòng)，另一側(cè)是上滑塊經(jīng)絲扣與絲杠相連，可以驅(qū)動(dòng)上滑塊在水平橫向運(yùn)動(dòng)，由此三個(gè)第一電機(jī)進(jìn)行組合，通過第一滑動(dòng)件和第一轉(zhuǎn)動(dòng)件，最終可以驅(qū)動(dòng)第一臺(tái)板在橫向、縱向運(yùn)動(dòng)或進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。上述底座、第一臺(tái)板之間的驅(qū)動(dòng)模式還可以參考諸多現(xiàn)有通用的對(duì)位臺(tái)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)。

在第一臺(tái)板2上還安有PCB板支撐架吸附固定件8，PCB板支撐架吸附固定件8由吸附裝置9和固定裝置10組合而成，固定裝置10在兩側(cè)留有銷軸孔11。使用中，吸附裝置9可以將抬框內(nèi)的PCB板支撐架吸下并插入銷軸孔11內(nèi)，使PCB板支撐架與第一臺(tái)板2相固定，并帶動(dòng)PCB板支撐架一起運(yùn)動(dòng)。PCB板支撐架吸附固定件8還可以是其他常用結(jié)構(gòu)。

第二臺(tái)板12建構(gòu)在第一臺(tái)板2上，可以設(shè)計(jì)為“工”字形的框架， “工”字框的兩側(cè)邊框14位于第一臺(tái)板2的擴(kuò)展邊框5的上方，并經(jīng)第二滑動(dòng)件相連。為了減少間隙，并同時(shí)兼顧滑動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)性能，第二滑動(dòng)件優(yōu)先選用滾珠加U形連接梁13的組合，即第二臺(tái)板12兩側(cè)的邊框14表面經(jīng)上滾珠與擴(kuò)展邊框5的上表面相連，同時(shí)使U形連接梁13兩上端向上穿過擴(kuò)展邊框5與邊框14相固定，U形連接梁13下方底部安有連接柱15，連接柱15向上經(jīng)下滾珠與擴(kuò)展邊框5的下表面相連。U形連接梁13穿過擴(kuò)展邊框時(shí)，周圍留有足夠的活動(dòng)間隙。這樣就可以使第二臺(tái)板能夠自由相對(duì)于第一臺(tái)板運(yùn)動(dòng)，并且還和第一臺(tái)板緊密相貼，不會(huì)分離。在保證上述第一臺(tái)板和第二臺(tái)板減小間隙的前提下，為了給第二臺(tái)板12傳送驅(qū)動(dòng)力，使用傳動(dòng)連接件16穿過第一臺(tái)板2與第二臺(tái)板12相固定，傳動(dòng)連接件16穿過第一臺(tái)板時(shí)，周圍留有足夠的活動(dòng)間隙。傳動(dòng)連接件16下方與偏心輪17相接觸，偏心輪17安裝在第二電機(jī)18上，偏心輪17和第二電機(jī)18組成第二驅(qū)動(dòng)裝置。偏心輪17轉(zhuǎn)動(dòng)擠壓傳動(dòng)連接件16，就可以使傳動(dòng)連接件16帶動(dòng)“工”字框產(chǎn)生滿足對(duì)位尺度所需的位移。并且偏心輪17與傳動(dòng)連接件16的相對(duì)位置不同，就可以使偏心輪向不同方向擠壓傳動(dòng)連接塊，也就可以帶動(dòng)“工”字框產(chǎn)生水平橫向位移或水平縱向位移。為了增強(qiáng)傳動(dòng)連接件16與偏心輪17的緊密接觸以增強(qiáng)傳動(dòng)效果，傳動(dòng)連接件16下端留有軸孔28，里面穿有轉(zhuǎn)軸29，轉(zhuǎn)軸29兩端分別經(jīng)彈簧10固定在第二電機(jī)的固定座21上。除了增強(qiáng)偏心輪17與傳動(dòng)連接件16的有效傳動(dòng)外，當(dāng)偏心輪不旋轉(zhuǎn)時(shí)，彈簧的拉伸還可以促使第二電機(jī)18及第二電機(jī)的固定座21與傳動(dòng)連接件16保持相對(duì)靜止，從而為第一臺(tái)板與第二臺(tái)板相對(duì)靜止并對(duì)外做同步運(yùn)動(dòng)創(chuàng)造條件。固定座21還將第二電機(jī)固定在擴(kuò)展邊框5的下方，這樣布置第二電機(jī)，既保證上述環(huán)境下的有效傳動(dòng)，還合理占用了閑置空間，有效控制了整體機(jī)械的總體積。

由上、下滾珠、U形連接梁組成的第二滑動(dòng)件可以設(shè)置四組，每兩組針對(duì)一條“工”字框的邊框14和第一臺(tái)板的擴(kuò)展邊框5。但是傳動(dòng)連接件16和偏心輪17、第二電機(jī)18可以布置三組，兩組位于一條邊框14和擴(kuò)展邊框5上，并驅(qū)動(dòng)邊框14水平橫向運(yùn)動(dòng)，另一組位于另外一條邊框14和擴(kuò)展邊框5上，并驅(qū)動(dòng)邊框14水平縱向運(yùn)動(dòng)，三個(gè)第二電機(jī)相配合，還可以使“工”字框發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。

在“工”字框的兩側(cè)邊框14上安有下菲林框架吸附固定件19，用于吸附下菲林框架。

使用本對(duì)位臺(tái)時(shí)，抬框拉出，對(duì)位臺(tái)可以在升降臺(tái)的作用下升起并位于抬框下方，首先通過下菲林框架吸附固定件19吸附住抬框的下菲林框架，然后第二電機(jī)啟動(dòng)，帶動(dòng)第二臺(tái)板和下菲林框架運(yùn)動(dòng)，下菲林框架上的下菲林也一起運(yùn)動(dòng)，此時(shí)抬框內(nèi)的PCB支撐架和其上的PCB板不動(dòng)，然后根據(jù)PCB板上的圓片靶標(biāo)，將下菲林與PCB板進(jìn)行對(duì)位，對(duì)位的準(zhǔn)確度可以根據(jù)視覺映像原理由相機(jī)和控制系統(tǒng)控制，其為單獨(dú)技術(shù)，本對(duì)位臺(tái)不涉及。對(duì)準(zhǔn)后，PCB板支撐架吸附固定件8動(dòng)作，使PCB支撐架在抬框內(nèi)向下運(yùn)動(dòng)并插入PCB支撐架吸附固定件的固定裝置的銷軸孔11，從而鎖住PCB支撐架。然后第一電機(jī)啟動(dòng)，第二電機(jī)此時(shí)不動(dòng)，第一電機(jī)帶動(dòng)第一臺(tái)板、第二臺(tái)板及其上的下菲林框架和下菲林、PCB支撐架及其上的PCB板一起相對(duì)于抬框內(nèi)的上菲林框架運(yùn)動(dòng)并與上菲林進(jìn)行對(duì)位，直至對(duì)準(zhǔn)。這樣就在不翻轉(zhuǎn)PCB板的情況下，也是在沒有通孔對(duì)位靶標(biāo)的情況下，實(shí)現(xiàn)了雙面對(duì)位。本對(duì)位臺(tái)的體積優(yōu)勢使得現(xiàn)有曝光機(jī)可以用本對(duì)位臺(tái)直接替換原有對(duì)位機(jī)構(gòu)，大大提升曝光機(jī)的價(jià)值和工作效能，而無需為了實(shí)現(xiàn)相同的對(duì)位效果進(jìn)行曝光機(jī)結(jié)構(gòu)的整體改動(dòng)，在提升效率的同時(shí)有效節(jié)約了成本。

本實(shí)施例只是對(duì)本實(shí)用新型構(gòu)思和實(shí)現(xiàn)的一個(gè)說明，并非對(duì)其進(jìn)行限制，在本實(shí)用新型構(gòu)思下，未經(jīng)實(shí)質(zhì)變換的技術(shù)方案仍然在保護(hù)范圍內(nèi)。