技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種單掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備,屬于直寫曝光技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型的單掃描驅(qū)動軸固定多棱鏡光路直寫設(shè)備,主要對真空吸盤結(jié)構(gòu)進行了改進,有效解決了生產(chǎn)小板時由于漏氣而造成的吸力不足的問題。進一步地,吸盤上的氣孔分布為中間疏、四周密,有效杜絕了板子邊緣翹起的問題,節(jié)省了氣孔數(shù)量,減少了成本。
技術(shù)研發(fā)人員:沈小宏;趙華
受保護的技術(shù)使用者:無錫影速半導體科技有限公司
文檔號碼:201621246473
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.22
技術(shù)公布日:2017.07.28