本實(shí)用新型提供了一種三維調(diào)整機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

光纖作為一種精密的光學(xué)元器件，其主要作用是為整個(gè)系統(tǒng)傳輸光束，使光束傳輸?shù)叫枰奈恢蒙?。所以，光纖的安裝、固定與調(diào)整，起著十分重要的作用。

目前的精密儀器調(diào)整結(jié)構(gòu)中，多采用組合滑臺(tái)的形式實(shí)現(xiàn)二維及三維調(diào)節(jié)，滑臺(tái)成本較高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積較為龐大，占用空間較多，不滿足空間要求。而在光刻設(shè)備中，空間結(jié)構(gòu)要求都比較緊湊，因此對(duì)調(diào)整機(jī)構(gòu)的外形體積有所限制。且滑臺(tái)調(diào)整過程中不完全是平面接觸，易對(duì)傾斜造成影響，鎖緊過程易引入鎖緊誤差，不滿足穩(wěn)定性的要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是如何簡單、安全、穩(wěn)定地實(shí)現(xiàn)光纖的三維位置調(diào)整。

為了解決這一技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種三維調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括器件安裝座、平移支座、固定支座、Z向調(diào)節(jié)組件和XY向調(diào)節(jié)組件，待調(diào)整器件安裝于所述器件安裝座，所述器件安裝座安裝于所述平移支座內(nèi)，所述平移支座容置于所述固定支座內(nèi)，且通過所述XY向調(diào)節(jié)組件調(diào)節(jié)其相對(duì)于所述固定支座的沿X向和Y向的位置，所述固定支座固定在一固定平臺(tái)上，且通過設(shè)置在所述固定支座外側(cè)的Z向調(diào)節(jié)組件調(diào)節(jié)其相對(duì)于所述固定平臺(tái)的沿Z向的位置。

可選的，所述Z向調(diào)節(jié)組件包括Z向調(diào)節(jié)螺釘和Z向彈簧，所述Z向調(diào)節(jié)螺釘沿Z向穿過所述Z向彈簧后將所述固定支座固定在所述固定平臺(tái)上。

可選的，所述XY向調(diào)節(jié)組件包括X向調(diào)節(jié)螺釘、Y向調(diào)節(jié)螺釘、X向彈簧、Y向彈簧、X向?qū)蚵葆敿癥向?qū)蚵葆?，所述X向調(diào)節(jié)螺釘沿X負(fù)方向穿設(shè)于所述固定支座內(nèi)與所述平移支座接觸，所述X向彈簧沿X正方向穿設(shè)于所述固定支座內(nèi)與所述平移支座接觸，并通過所述X向?qū)蚵葆敼潭?；所述Y向調(diào)節(jié)螺釘沿Y負(fù)方向穿設(shè)于所述固定支座內(nèi)與所述平移支座接觸，所述Y向彈簧沿Y正方向穿設(shè)于所述固定支座內(nèi)與所述平移支座接觸，并通過所述Y向?qū)蚵葆敼潭ā?/p>

可選的，所述固定支座與所述固定平臺(tái)采用孔軸配合安裝。

可選的，所述三維調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括夾緊安裝座，所述夾緊安裝座在夾緊狀態(tài)下夾緊于所述固定支座的外側(cè)，且與所述固定平臺(tái)鎖緊連接。

可選的，所述夾緊安裝座包括第一座體和第二座體，沿Z向設(shè)置的第一鎖緊螺釘連接所述第一座體和第二座體后固定在所述固定平臺(tái)上，所述第一座體和第二座體之間通過沿垂直于Z向的方向設(shè)置的第二鎖緊螺釘實(shí)現(xiàn)夾緊。

可選的，所述平移支座端面設(shè)有環(huán)形槽，所述器件安裝座安裝于所述環(huán)形槽內(nèi)，并通過一壓圈壓緊固定。

可選的，所述平移支座通過沿Z向設(shè)置的第三鎖緊螺釘與所述固定支座連接。

可選的，所述第三鎖緊螺釘與平移支座之間還設(shè)有彈性墊片。

可選的，所述待調(diào)整器件為光纖。

可選的，所述光纖沿Z向穿設(shè)安裝于所述器件安裝座。

本實(shí)用新型提出了一種三維調(diào)整機(jī)構(gòu)，其占用空間小，結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)整完全解耦，能夠滿足空間及穩(wěn)定性要求。具體來說，具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、本實(shí)用新型的調(diào)整機(jī)構(gòu)可以做到X、Y、Z向調(diào)整完全解耦，不會(huì)相互影響；

2、本實(shí)用新型的調(diào)整機(jī)構(gòu)在調(diào)整過程中不會(huì)引入鎖緊誤差；

3、本實(shí)用新型的調(diào)整機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，占用空間小，可以實(shí)現(xiàn)較小空間內(nèi)器件的三維調(diào)整。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一可選實(shí)施例中三維調(diào)整機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型一可選實(shí)施例中三維調(diào)整機(jī)構(gòu)的豎剖面示意圖；

圖3是本實(shí)用新型一可選實(shí)施例中三維調(diào)整機(jī)構(gòu)的橫剖面示意圖；

圖中，1-夾緊安裝座；2-平移支座；3-第三鎖緊螺釘；4-彈性墊片；5-固定支座；6-第一鎖緊螺釘；7-第二鎖緊螺釘；8-光纖；9-器件安裝座；10-壓圈； 11-Z向調(diào)節(jié)螺釘；12-Z向彈簧；13a-X向?qū)蚵葆敚?4a-X向彈簧；15a-X向調(diào)節(jié)螺釘；13b-Y向?qū)蚵葆敚?4b-Y向彈簧；15b-Y向調(diào)節(jié)螺釘；16-環(huán)形槽。

具體實(shí)施方式

以下將結(jié)合圖1至圖3對(duì)本實(shí)用新型提供的三維調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的描述，其為本實(shí)用新型可選的實(shí)施例，可以認(rèn)為，本領(lǐng)域技術(shù)人員在不改變本實(shí)用新型精神和內(nèi)容的范圍內(nèi)，對(duì)其進(jìn)行修改和潤色。

請(qǐng)參考圖1至圖3，本實(shí)用新型提供了一種三維調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括器件安裝座9、平移支座2、固定支座5、Z向調(diào)節(jié)組件和XY向調(diào)節(jié)組件，待調(diào)整器件安裝于所述器件安裝座9，所述器件安裝座9安裝于所述平移支座2內(nèi)，所述平移支座2容置于所述固定支座5，且通過所述XY向調(diào)節(jié)組件調(diào)節(jié)其相對(duì)于所述固定支座5的沿X向和Y向的位置，所述固定支座5固定在一個(gè)固定平臺(tái)上，且通過在所述固定支座外側(cè)的Z向調(diào)節(jié)組件調(diào)節(jié)其相對(duì)于外平臺(tái)的沿Z向的位置，所述固定支座5與固定平臺(tái)還采用孔軸配合安裝，其中，所述待調(diào)整器件為光纖8。所述光纖8沿Z向穿設(shè)安裝于所述器件安裝座9。

其中，所述固定支座5與外平臺(tái)采用孔軸配合安裝，固定支座5的下端圓柱面和其他平臺(tái)采用孔軸配合的安裝形式，達(dá)到X、Y向粗定位及Z向調(diào)整導(dǎo)向的目的。固定支座5的下端圓柱面可以伸入到其他平臺(tái)內(nèi)部，裸露在外的外形結(jié)構(gòu)更少，可以極大減小占用空間，在緊湊空間的光刻設(shè)備里，能夠發(fā)揮所用。

本實(shí)用新型優(yōu)選的實(shí)施例中，所述三維調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括夾緊安裝座1，所述夾緊安裝座1在夾緊狀態(tài)下夾緊于所述固定支座5的外側(cè)，且與所述固定平臺(tái)鎖緊連接。

進(jìn)一步可選的實(shí)施例中，所述夾緊安裝座1包括第一座體和第二座體，沿 Z向設(shè)置的第一鎖緊螺釘6連接所述第一座體和第二座體后固定在所述固定平臺(tái)上，所述第一座體和第二座體之間通過沿垂直于Z向的方向設(shè)置的第二鎖緊螺釘7實(shí)現(xiàn)夾緊。

可見，夾緊安裝座1通過第二鎖緊螺釘7來Z向夾緊固定支座5，并通過第一鎖緊螺釘6將整個(gè)調(diào)整結(jié)構(gòu)固定到其他平臺(tái)上。

有關(guān)所述Z向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)：

所述Z向調(diào)節(jié)組件包括Z向調(diào)節(jié)螺釘11和Z向彈簧12，所述Z向調(diào)節(jié)螺釘11沿Z向穿過所述Z向彈簧后將所述固定支座5固定在所述固定平臺(tái)上。具體來說，可以通過調(diào)節(jié)螺釘11調(diào)整Z向，通過彈簧12提供Z向反向回復(fù)力；

具體操作時(shí)：

先將夾緊安裝座1上的第二鎖緊螺釘7松開，以便固定支座5能在Z向移動(dòng)；然后，通過旋入Z向調(diào)節(jié)螺釘11進(jìn)行Z向負(fù)向調(diào)整；通過旋出Z向調(diào)節(jié)螺釘11，由Z向彈簧12提供回復(fù)力進(jìn)行節(jié)Z向負(fù)向調(diào)整；最后，調(diào)整完畢后將夾緊安裝座1上的第二鎖緊螺釘7擰緊，達(dá)到Z向機(jī)械鎖死的目的。由于鎖緊力的方向與Z向垂直，故鎖死過程不會(huì)引入鎖緊誤差。

有關(guān)所述XY向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)：

所述XY向調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括X向調(diào)節(jié)螺釘15a、Y向調(diào)節(jié)螺釘15b、X向彈簧14a、Y向彈簧14b、X向?qū)蚵葆?3a和Y向?qū)蚵葆?3b，所述X向調(diào)節(jié)螺釘15a沿X負(fù)方向穿設(shè)于所述固定支座5內(nèi)與所述平移支座2接觸，所述X向彈簧14a沿X正方向穿設(shè)于所述固定支座5內(nèi)與所述平移支座2接觸，并通過所述X向?qū)蚵葆?3a固定；所述Y向調(diào)節(jié)螺釘15b沿Y方向穿設(shè)于所述固定支座5內(nèi)與所述平移支座2接觸，所述Y向彈簧14b沿Y正方向穿設(shè)于所述固定支座5內(nèi)與所述平移支座2接觸，并通過所述Y向?qū)蚵葆?3b 固定。

簡而言之，兩個(gè)調(diào)節(jié)螺釘安裝在固定支座5上，分別用于調(diào)節(jié)X向及Y 向；兩個(gè)彈簧安裝在固定支座5上，分別用于提供X向及Y向反向回復(fù)力，兩個(gè)彈簧的導(dǎo)向螺釘安裝在固定支座5上，用于固定彈簧。

具體操作時(shí)，通過旋入調(diào)節(jié)螺釘15進(jìn)行X、Y向正向調(diào)整，通過旋出調(diào)節(jié)螺釘15，由彈簧14提供回復(fù)力進(jìn)行X、Y向負(fù)向調(diào)整；

調(diào)整完畢后將平移支座2和固定支座5之間的第三鎖緊螺釘3擰緊，達(dá)到 X、Y向機(jī)械鎖死的目的。由于鎖緊力的方向與X、Y向垂直，故鎖死過程不會(huì)引入鎖緊誤差。

為了安裝器件安裝座9，所述平移支座2端面設(shè)有環(huán)形槽16，所述器件安裝座9安裝于所述環(huán)形槽16內(nèi)，并通過一壓圈10壓緊固定。進(jìn)一步具體來說，光纖安裝座9與光纖8通過螺紋連接，然后通過壓圈10將光纖8壓緊在平移支座2上。

為了鎖緊后實(shí)現(xiàn)平移支座2與固定支座5的位置固定，所述平移支座2 通過沿Z向設(shè)置的第三鎖緊螺釘3與所述固定支座5連接。所述第三鎖緊螺釘3與平移支座2還設(shè)有彈性墊片4。可見，固定支座5用來固定平移支座2，平移支座2和固定支座5通過第三鎖緊螺釘3和彈性墊片4連接。

在使用時(shí)，將固定支座5與平移支座2之間的第三鎖緊螺釘3旋出一部分，但鎖緊螺釘3與平移支座2之間的彈性墊片4仍處于受力狀態(tài)，可以保證在調(diào)節(jié)X、Y向時(shí)不影響到Rx、Ry的偏轉(zhuǎn)；

綜上所述，本實(shí)用新型提出了一種三維調(diào)整機(jī)構(gòu)，其占用空間小，結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)整完全解耦，能夠滿足空間及穩(wěn)定性要求。具體來說，具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、本實(shí)用新型的調(diào)整機(jī)構(gòu)可以做到X、Y、Z向調(diào)整完全解耦，不會(huì)相互影響；

2、本實(shí)用新型的調(diào)整機(jī)構(gòu)在調(diào)整過程中不會(huì)引入鎖緊誤差；

3、本實(shí)用新型的調(diào)整機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，占用空間小，可以實(shí)現(xiàn)較小空間內(nèi)器件的三維調(diào)整。