1.一種適用于透射式太赫茲波系統(tǒng)的自動(dòng)對(duì)焦裝置,其特征在于,太赫茲系統(tǒng)包括:太赫茲波源、第一透鏡、第二透鏡、第一探測(cè)器,所述太赫茲波源發(fā)出的太赫茲波被所述第一透鏡和所述第二透鏡準(zhǔn)直、聚焦在樣品面上,所述自動(dòng)對(duì)焦裝置包括第一移動(dòng)裝置和控制器,所述第一探測(cè)器用于檢測(cè)所述樣品面附近第一預(yù)設(shè)三維區(qū)域內(nèi)的太赫茲波,所述控制器用于判別所述第一探測(cè)器探測(cè)到的太赫茲波的第一信號(hào)強(qiáng)度,并根據(jù)所述第一信號(hào)強(qiáng)度通過(guò)所述第一移動(dòng)裝置控制所述第一探測(cè)器進(jìn)行移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)對(duì)焦裝置,其特征在于,所述太赫茲系統(tǒng)還包括第三透鏡、第四透鏡,所述自動(dòng)對(duì)焦裝置還包括第二移動(dòng)裝置,經(jīng)過(guò)所述樣品面的所述太赫茲波被所述第三透鏡和所述第四透鏡準(zhǔn)直、聚焦在成像面上,所述太赫茲系統(tǒng)還包括用于將檢測(cè)到的所述成像面附近第二預(yù)設(shè)三維區(qū)域內(nèi)的太赫茲波發(fā)送給控制器的第二探測(cè)器,所述第二移動(dòng)裝置用于根據(jù)所述控制器判別所述第二探測(cè)器探測(cè)到的太赫茲波的第二信號(hào)強(qiáng)度來(lái)控制所述第二探測(cè)器進(jìn)行移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)對(duì)焦裝置,其特征在于,所述第一移動(dòng)裝置和所述第二移動(dòng)裝置均包括三維電機(jī)。
4.一種適用于透射式太赫茲波系統(tǒng)的自動(dòng)對(duì)焦方法,其特征在于,包括:
選取樣品面附近的第一預(yù)設(shè)區(qū)域作為太赫茲波的第一掃描區(qū)域;
通過(guò)第一移動(dòng)裝置控制第一探測(cè)器進(jìn)行移動(dòng),使所述第一探測(cè)器依次獲取透射在所述第一掃描區(qū)域內(nèi)各點(diǎn)的太赫茲波;
選取所述第一掃描區(qū)域內(nèi)的太赫茲波的第一信號(hào)強(qiáng)度最大的點(diǎn)作為所述第一探測(cè)器掃描樣品的焦點(diǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的自動(dòng)對(duì)焦方法,其特征在于,包括:
判斷所述第一信號(hào)強(qiáng)度最大的點(diǎn)是否處于所述第一掃面區(qū)域的邊界;
若否,則將所述第一信號(hào)強(qiáng)度最大的點(diǎn)作為所述第一探測(cè)器掃描樣品的焦點(diǎn);
若是,則擴(kuò)大所述第一掃描區(qū)域。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的自動(dòng)對(duì)焦方法,其特征在于,在確定所述第一探測(cè)器掃描樣品的掃描點(diǎn)之后,還包括:
選取成像面附近的第二預(yù)設(shè)區(qū)域作為太赫茲波的第二掃描區(qū)域;
通過(guò)第二移動(dòng)裝置控制第二探測(cè)器進(jìn)行移動(dòng),使所述第二探測(cè)器依次獲取透射在所述第二掃描區(qū)域內(nèi)各點(diǎn)的太赫茲波;
選取所述第二掃描區(qū)域內(nèi)的太赫茲波的第二信號(hào)強(qiáng)度最大的點(diǎn),作為所述第二探測(cè)器掃描成像的焦點(diǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動(dòng)對(duì)焦方法,其特征在于,在確定所述第二探測(cè)器掃描成像的焦點(diǎn)之后,還包括:
判斷所述第二信號(hào)強(qiáng)度最大的點(diǎn)是否處于所述第二掃面區(qū)域的邊界;
若否,則將所述第二信號(hào)強(qiáng)度最大的點(diǎn)作為所述第二探測(cè)器掃描成像的焦點(diǎn);
若是,則擴(kuò)大所述第二掃描區(qū)域。