技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種光刻裝置以及物品制造方法。所述光刻裝置將原版的圖案轉(zhuǎn)印到基板。所述光刻裝置包括被布置為圍繞所述基板和所述原版中的一者的側(cè)面的電極結(jié)構(gòu)、以及被構(gòu)造為向所述電極結(jié)構(gòu)供給交流電壓的電源。所述電極結(jié)構(gòu)包括彼此電絕緣的多個電極組，各個電極組包括彼此電連接的多個電極，并且所述電源向所述多個電極組供給具有不同相位的交流電壓。

技術(shù)研發(fā)人員：米川雅見
受保護(hù)的技術(shù)使用者：佳能株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.14
技術(shù)公布日：2017.08.25