本發(fā)明涉及一種光調(diào)制器及使用光調(diào)制器的光發(fā)送裝置，尤其涉及一種具有多個(gè)偏置電極的光調(diào)制器及使用這種光調(diào)制器的光發(fā)送裝置。

背景技術(shù)：

高速/大容量光纖通信系統(tǒng)中，大多使用組裝有波導(dǎo)型光調(diào)制器的光發(fā)送裝置。其中，與使用銦磷(inp)、硅(si)、或鎵砷(gaas)等半導(dǎo)體類材料的調(diào)制器相比，將具有電光效應(yīng)的linbo3(以下，也稱為ln)用于基板的光調(diào)制器由于光的損失較少且能夠?qū)崿F(xiàn)寬頻帶的光調(diào)制特性，因此廣泛用于高速/大容量光纖通信系統(tǒng)。

使用該ln的光調(diào)制器中形成有：馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)；rf電極部，用于向光波導(dǎo)施加作為調(diào)制信號(hào)的高頻信號(hào)；及偏置電極，用于為了將該光調(diào)制器中的調(diào)制特性保持為良好而進(jìn)行各種調(diào)整。作為這種偏置電極，例如有如下偏置電極：用于為了補(bǔ)償由環(huán)境的溫度變化等引起的偏置點(diǎn)的變動(dòng)(所謂的溫度漂移現(xiàn)象)而向光波導(dǎo)施加電場(chǎng)的偏置電極；及用于進(jìn)行光相位調(diào)整的偏置電極。

另一方面，光纖通信系統(tǒng)中的調(diào)制方式中，隨著近年來(lái)傳輸容量的增大化的潮流，qpsk(quadraturephaseshiftkeying)或dp-qpsk(dualpolarization-quadraturephaseshiftkeying)等多值調(diào)制、在多值調(diào)制中引進(jìn)偏振復(fù)用的傳輸格式成為主流。

進(jìn)行qpsk調(diào)制的光調(diào)制器(qpsk調(diào)制器)或進(jìn)行dp-qpsk調(diào)制的光調(diào)制器(dp-qpsk調(diào)制器)具備嵌套的多個(gè)馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)，且具備多個(gè)高頻信號(hào)電極及多個(gè)偏置電極(例如，參考專利文獻(xiàn)1)，因此具有器件尺寸增大化的傾向，尤其小型化的要求強(qiáng)烈。

以往，作為用于這種小型化的技術(shù)，提出有如下方法：通過(guò)提高各電極與光波導(dǎo)間的相互作用，即使在長(zhǎng)度較短的電極中也能夠降低驅(qū)動(dòng)電壓。例如，已知有如下結(jié)構(gòu)：對(duì)于各波導(dǎo)，將偏置電極設(shè)為由推用電極和挽用電極構(gòu)成的梳形電極(或叉指電極)的結(jié)構(gòu)來(lái)降低應(yīng)施加于偏置電極的電壓(偏置電壓)(例如，參考專利文獻(xiàn)2)。

圖21是表示現(xiàn)有的dp-qpsk調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的一例的圖。該dp-qpsk調(diào)制器2100例如由如下構(gòu)成：形成于z切割的ln基板2102上的嵌套型的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)(圖示粗線的虛線)；及電極(圖示陰影線部分)。該光調(diào)制器中，來(lái)自激光二極管等的光源(未圖示)的光從圖示右方向入射，經(jīng)調(diào)制的光從圖示左方向出射。所出射的光例如通過(guò)空間光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行合波并入射到與光傳輸通路連結(jié)的光纖中。

光波導(dǎo)由如下構(gòu)成：接收來(lái)自圖示右方向的入射光的入射波導(dǎo)2104；對(duì)在該入射波導(dǎo)中傳播的光進(jìn)行分路的光分支部2106；對(duì)在光分支部2106中分路的各光進(jìn)行調(diào)制的兩個(gè)馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2110a、2110b。

馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2110a具有：入射波導(dǎo)2112a；對(duì)在該入射波導(dǎo)中傳播的光進(jìn)行分路的光分支部2114a；傳播在光分支部2114a分路的各光的平行波導(dǎo)2116a、2118a；對(duì)在該平行波導(dǎo)2116a、2118a中傳播的光進(jìn)行合波的合波部2120a；及向外部出射由該合波部2120a合波的光的出射波導(dǎo)2122a。并且，馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2110a具有：分別形成于上述平行波導(dǎo)2116a及2118a的一部分的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2130a(圖示虛線所示的矩形內(nèi)的部分)、2132a(圖示雙點(diǎn)劃線所示的矩形內(nèi)的部分)。

在馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2130a的平行波導(dǎo)2134a、2136a的光出射側(cè)(圖示左方)和馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2132a的平行波導(dǎo)2138a、2140a的光出射側(cè)(圖示左方)分別形成有由電極2142a、2144a構(gòu)成的偏置電極2146a及由電極2148a、2150a構(gòu)成的偏置電極2152a。并且，在馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2110a的平行波導(dǎo)2116a、2118a的光出射側(cè)(圖示左方)形成有由電極2154a、2156a構(gòu)成的偏置電極2158a。

如圖所示，馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2110b的結(jié)構(gòu)與馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2110a的結(jié)構(gòu)相同。由此，光調(diào)制器2100具備由標(biāo)號(hào)2146a、2152a、2158a、2146b、2152b、2158b所表示的6個(gè)偏置電極。并且，光調(diào)制器2100中，在4個(gè)馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2130a、2132a、2130b、2132b的8根平行波導(dǎo)2134a、2136a、2138a、2140a、2134b、2136b、2138b、2140b上還形成有分別由電極2170、2172、2174、2176、2178、2180、2182、2184、2186構(gòu)成的rf電極。

在此，偏置電極2146a、2152a、2146b、2152b分別為用于調(diào)整由馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)2130a、2132a、2130b、2132b構(gòu)成的光調(diào)制器的偏置點(diǎn)的偏置電極，偏置電極2158a及2158b分別為用于調(diào)整從出射波導(dǎo)2122a及2122b出射的光的相位的偏置電極。

并且，光調(diào)制器2100中，為了降低為進(jìn)行偏置點(diǎn)調(diào)整或相位調(diào)整而應(yīng)施加于各偏置電極2146a、2152a、2158a、2146b、2152b、2158b的電壓，這些偏置電極如圖所示那樣設(shè)為梳形電極的結(jié)構(gòu)。

然而，當(dāng)將光調(diào)制器組裝于實(shí)用裝置進(jìn)行使用時(shí)，為了補(bǔ)償上述溫度漂移而將光傳輸特性維持為良好的狀態(tài)，需準(zhǔn)確地控制偏置電壓以免發(fā)生偏置點(diǎn)的變動(dòng)。因此，對(duì)用于補(bǔ)償溫度漂移的偏置電極施加用于檢測(cè)偏置點(diǎn)的變化的低頻信號(hào)(抖動(dòng)信號(hào))和用于補(bǔ)償該變化以使偏置點(diǎn)恢復(fù)成規(guī)定值的直流電壓(dc電壓)。

上述抖動(dòng)信號(hào)的頻率尤其選擇比施加于rf電極的高頻信號(hào)低的頻率，且不對(duì)該高頻信號(hào)產(chǎn)生影響的頻率。并且，當(dāng)使用多個(gè)偏置電極時(shí)，為了容易判別是施加于哪一個(gè)偏置電極的抖動(dòng)信號(hào)，按每個(gè)偏置電極使用不同頻率的抖動(dòng)信號(hào)。

在該情況下，施加于各器件電極的抖動(dòng)信號(hào)需考慮不對(duì)rf信號(hào)頻率(通常是數(shù)十ghz)帶來(lái)影響、彼此的頻率不相近、能夠進(jìn)行所需速度的反饋控制等，在數(shù)khz至數(shù)百mhz的范圍內(nèi)進(jìn)行選擇。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2010-237497號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2003-233042號(hào)公報(bào)

具有上述結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有的光調(diào)制器一般能夠良好地補(bǔ)償溫度漂移等來(lái)適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行動(dòng)作。然而，如上述那樣使用多個(gè)偏置電極的光調(diào)制器(例如dp-qpsk調(diào)制器)中，有可能發(fā)生在具備單一偏置電極的光調(diào)制器中未出現(xiàn)的關(guān)于偏置電壓控制的新問(wèn)題。該問(wèn)題是使用多個(gè)偏置電極的光調(diào)制器特有的，觀測(cè)到有如下現(xiàn)象。

·若對(duì)一個(gè)偏置電極施加抖動(dòng)信號(hào)，則有時(shí)一個(gè)或多個(gè)其他的偏置電極中的光特性控制(相位調(diào)整或溫度漂移補(bǔ)償)變得不穩(wěn)定。此時(shí)，不僅在其他的偏置電極，有時(shí)還在該一個(gè)偏置電極中也觀測(cè)到上述不穩(wěn)定現(xiàn)象。

·上述不穩(wěn)定現(xiàn)象不僅在相鄰的或靠近的偏置電極之間，有可能還在未相鄰的偏置電極之間或未靠近的偏置電極之間發(fā)生。

·上述不穩(wěn)定現(xiàn)象的發(fā)生與否，有時(shí)依賴于光調(diào)制器周圍的環(huán)境溫度。

·上述不穩(wěn)定現(xiàn)象有時(shí)在將抖動(dòng)信號(hào)的頻率變更為另一頻率時(shí)被消除。

·上述不穩(wěn)定現(xiàn)象在對(duì)各偏置電極僅施加dc電壓時(shí)不發(fā)生。

上述不穩(wěn)定現(xiàn)象是無(wú)法用“在靠近的電極之間發(fā)生的電干涉”說(shuō)明的現(xiàn)象，很長(zhǎng)時(shí)間未弄清其主要原因。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

根據(jù)上述背景，期待在具備多個(gè)偏置電極的光調(diào)制器中消除向偏置電極施加抖動(dòng)信號(hào)時(shí)所產(chǎn)生的如上所述的偏置控制動(dòng)作的不穩(wěn)定現(xiàn)象。

本發(fā)明的一方式為光調(diào)制器，其具備：基板，具有壓電效應(yīng)；光波導(dǎo)，形成于該基板上；及多個(gè)偏置電極，控制在該光波導(dǎo)中傳播的光波，其中，所述偏置電極構(gòu)成為和/或配置為抑制施加于某一個(gè)所述偏置電極的電信號(hào)經(jīng)由表面聲波被其他的所述偏置電極接收的情況。

根據(jù)本發(fā)明的另一方式，至少一個(gè)所述偏置電極構(gòu)成為抑制表示施加于該偏置電極的電信號(hào)轉(zhuǎn)換為表面聲波時(shí)的效率的電聲轉(zhuǎn)換效率，以抑制施加于該至少一個(gè)偏置電極的電信號(hào)經(jīng)由表面聲波被其他的所述偏置電極接收的情況。

根據(jù)本發(fā)明的另一方式，所述至少一個(gè)偏置電極構(gòu)成為電極間隔沿著構(gòu)成該偏置電極的電極的長(zhǎng)度方向階梯狀地變化，以具有多個(gè)所述電聲轉(zhuǎn)換效率為最大的特征頻率。

根據(jù)本發(fā)明的另一方式，所述至少一個(gè)偏置電極構(gòu)成為電極間隔沿著構(gòu)成該偏置電極的電極的長(zhǎng)度方向線性或非線性地變化，以使所述電聲轉(zhuǎn)換效率為最大的特征頻率分布在規(guī)定的頻率范圍。

根據(jù)本發(fā)明的另一方式，至少兩個(gè)所述偏置電極構(gòu)成為具有彼此不同的特征頻率，以抑制施加于一個(gè)所述偏置電極的電信號(hào)經(jīng)由表面聲波被其他的所述偏置電極接收的情況。

根據(jù)本發(fā)明的另一方式，至少兩個(gè)所述偏置電極從相對(duì)置的位置沿著構(gòu)成這兩個(gè)偏置電極的電極的長(zhǎng)度方向偏離規(guī)定距離而配置，以抑制施加于一個(gè)所述偏置電極的電信號(hào)經(jīng)由表面聲波被其他的所述偏置電極接收的情況。

根據(jù)本發(fā)明的另一方式，至少兩個(gè)所述偏置電極以構(gòu)成一個(gè)所述偏置電極的電極的長(zhǎng)度方向與構(gòu)成另一個(gè)所述偏置電極的電極的長(zhǎng)度方向呈規(guī)定的角度的方式配置，以抑制施加于一個(gè)所述偏置電極的電信號(hào)經(jīng)由表面聲波被其他的所述偏置電極接收的情況。

根據(jù)本發(fā)明的另一方式，所述至少一個(gè)偏置電極以構(gòu)成該偏置電極的電極的電極間的間隙和/或電極寬度階梯狀地變化的方式構(gòu)成，以使所述電極間隔階梯狀地變化。

根據(jù)本發(fā)明的另一方式，所述至少一個(gè)偏置電極以構(gòu)成該偏置電極的電極的電極間的間隙和/或電極寬度線性或非線性地變化的方式構(gòu)成，以使所述電極間隔線性或非線性地變化。

根據(jù)本發(fā)明的另一方式，構(gòu)成所述偏置電極的電極構(gòu)成為沿著光波被該偏置電極控制的所述光波導(dǎo)呈直線或曲線。

根據(jù)本發(fā)明的另一方式，所述偏置電極為梳形電極。

本發(fā)明的另一方式為具備上述中任一個(gè)光調(diào)制器的光發(fā)送裝置。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極附近的局部詳細(xì)圖。

圖3是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第1變形例的圖。

圖4是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第2變形例的圖。

圖5是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第3變形例的圖。

圖6是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第4變形例的圖。

圖7是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第5變形例的圖。

圖8是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第6變形例的圖。

圖9是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第7變形例的圖。

圖10是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第8變形例的圖。

圖11是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第9變形例的圖。

圖12是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第10變形例的圖。

圖13是表示能夠用于圖1所示的光調(diào)制器的偏置電極的第11變形例的圖。

圖14是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的圖。

圖15是圖14所示的光調(diào)制器的偏置電極附近的局部詳細(xì)圖。

圖16是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的圖。

圖17是表示圖16所示的光調(diào)制器的偏置電極附近的局部詳細(xì)圖。

圖18是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的圖。

圖19是圖18所示的光調(diào)制器的偏置電極附近的局部詳細(xì)圖。

圖20是表示本發(fā)明的第5實(shí)施方式所涉及的光發(fā)送裝置的結(jié)構(gòu)的圖。

圖21是表示現(xiàn)有的光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的圖。

圖22是表示梳形電極的結(jié)構(gòu)的一例的圖。

具體實(shí)施方式

本申請(qǐng)發(fā)明的發(fā)明人對(duì)具備多個(gè)偏置電極的光調(diào)制器中的偏置控制動(dòng)作的上述不穩(wěn)定現(xiàn)象進(jìn)行了詳細(xì)研究，結(jié)果得到該不穩(wěn)定現(xiàn)象的原因在于通過(guò)向ln基板上的偏置電極施加抖動(dòng)信號(hào)而產(chǎn)生的表面聲波(surfaceacousticwave：saw)的見(jiàn)解。即，若向形成于ln基板上的一個(gè)偏置電極施加抖動(dòng)信號(hào)，則通過(guò)作為基板材料的ln所具有的壓電效應(yīng)而在基板表面上產(chǎn)生表面聲波(surfaceacousticwave：saw)，該表面聲波在基板表面上傳播并到達(dá)其他的偏置電極，由此該其他的偏置電極接收施加于上述一個(gè)偏置電極的抖動(dòng)信號(hào)，該接收的抖動(dòng)信號(hào)對(duì)該其他的偏置電極中的偏置控制動(dòng)作發(fā)生干涉而帶來(lái)不良影響。

該表面聲波即是在基板表面上傳播、反射、散射的聲波，還會(huì)作用于未靠近的分離的偏置電極，并且會(huì)因溫度變化所引起的基板物性變化(尤其是基板表面上的聲波的傳播速度、或基板的線膨脹)等，其強(qiáng)度或頻率發(fā)生變化。因此，未相鄰的或未接近的偏置電極之間也會(huì)發(fā)生上述不穩(wěn)定現(xiàn)象，并且上述不穩(wěn)定現(xiàn)象的發(fā)生與否依賴于環(huán)境溫度。

并且，由于使用梳形電極作為偏置電極，因此當(dāng)與表示施加于梳形電極的電信號(hào)轉(zhuǎn)換為表面聲波時(shí)的效率(例如，所產(chǎn)生的表面聲波的功率相對(duì)于所施加的電信號(hào)的功率之比)的電聲轉(zhuǎn)換效率為最大的特征頻率相等的頻率的抖動(dòng)信號(hào)施加于該偏置電極時(shí)，上述不穩(wěn)定現(xiàn)象變得明顯。并且，該特征頻率由作為偏置電極的梳形電極的電極間隔來(lái)確定。

圖22是表示能夠用于光調(diào)制器的偏置電極的梳形電極的結(jié)構(gòu)的一例的圖。圖示的梳形電極2200由兩個(gè)電極2202和2204構(gòu)成，電極2202、2204分別具有與圖示水平方向相互并行延伸的3根電極2210、2212、2214及2220、2222、2224(以下，將如電極2210、2212、2214及2220、2222、2224那樣的梳形電極所具有的相互平行的電極部分稱為“構(gòu)成梳形電極的電極”)。總計(jì)6根電極2220、2210、2222、2212、2224、2214具有相同的電極寬度h，并以間隙(電極間隙)a隔開(kāi)。因此，電極間隔(間距)p由下式(1)給出。

[數(shù)式1]

p＝a+h(1)

此時(shí)，梳形電極2200的特征頻率f0(即，電聲轉(zhuǎn)換效率為最大的頻率)由以下式(2)給出。

[數(shù)式2]

其中，v為基板表面上的表面聲波的傳播速度，λ為表面聲波的波長(zhǎng)。換言之，具有電極間隔p的梳形電極具有式(2)所示的特征頻率f0，若被施加具有與該特征頻率f0相等的頻率的電壓信號(hào)，則較強(qiáng)地激勵(lì)與該特征頻率f0相等的頻率的表面聲波。相反，若與該特征頻率f0相等的頻率的表面聲波入射到具有特征頻率f0的梳形電極，則具有與該特征頻率f0相等的頻率的電信號(hào)被較強(qiáng)地引導(dǎo)至該梳形電極。具有梳形電極結(jié)構(gòu)的偏置電極中，該被引導(dǎo)的電信號(hào)成為較強(qiáng)的噪聲信號(hào)而對(duì)偏置控制動(dòng)作帶來(lái)不良影響。

由式(2)明確可知，特征頻率f0能夠通過(guò)變更電極寬度h和/或電極間隙a以改變電極間隔p而發(fā)生變化。

表面聲波的傳播速度v依賴于用于基板的材料的種類、基板表面相對(duì)于該材料的分子排列(例如晶體取向)的方向及表面聲波的傳播方向等而具有不同的值。例如，當(dāng)使用y切割的ln基板作為基板時(shí)，在沿z方向傳播的表面聲波中成為3500m/s左右的傳播速度，當(dāng)使用128°y切割的ln基板作為基板時(shí)，在沿x方向傳播的表面聲波中成為4000m/s左右的傳播速度。

電極寬度h和電極間隙a是考慮在光波導(dǎo)中傳播的光波的橫向的場(chǎng)模式和場(chǎng)直徑(通常為約10μm左右)而確定的。

例如，當(dāng)電極間隔為15μm、電極寬度為20μm、表面聲波的速度為3500m/s時(shí)，特征頻率f0成為50mhz左右。此時(shí)，若向由圖示的梳形電極2200構(gòu)成的偏置電極施加具有接近50mhz的抖動(dòng)信號(hào)，則激勵(lì)出較強(qiáng)的表面聲波。該表面聲波朝向與構(gòu)成該梳形電極2200的電極(例如電極2220)的長(zhǎng)度方向正交的方向(圖示上下方向)在基板表面上傳播，并到達(dá)其他的偏置電極(梳形電極)。該其他的偏置電極中，該表面聲波通過(guò)壓電效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)而產(chǎn)生上述頻率的噪聲信號(hào)，從而偏置控制動(dòng)作受到影響。

當(dāng)其他的偏置電極配置于從與構(gòu)成該其他的偏置電極的電極的長(zhǎng)度方向正交的方向受到上述表面聲波的位置且具有與該表面聲波的頻率相同的特征頻率時(shí)，該其他的偏置電極所受的影響程度變得最強(qiáng)。并且，該影響的程度還依賴于該其他器件的該特征頻率下的電聲轉(zhuǎn)換效率的值，該效率越大，該影響的程度越大。

本發(fā)明是以上述那些見(jiàn)解為背景而完成的，當(dāng)具有控制在形成于ln等具有壓電效應(yīng)的基板上的至少一個(gè)光波導(dǎo)中傳播的光波的多個(gè)偏置電極時(shí)，上述偏置電極構(gòu)成為和/或配置成抑制施加于一個(gè)偏置電極的電信號(hào)經(jīng)由表面聲波被其他的偏置電極接收的情況。

即，通過(guò)以減小從偏置電極產(chǎn)生的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度和/或減小經(jīng)由表面聲波的偏置電極間的耦合(相互作用)的方式構(gòu)成和/或配置偏置電極，來(lái)抑制經(jīng)由該表面聲波的上述不穩(wěn)定現(xiàn)象(以下，也稱為“偏置電極間的干涉”)的發(fā)生。更具體而言，如下構(gòu)成和/或配置偏置電極。

a：擾亂構(gòu)成偏置電極(梳形電極)的電極的電極間隔的一致性和/或周期性，抑制作為該偏置電極整體的電聲轉(zhuǎn)換效率來(lái)降低表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度。更具體而言，

a-1：為了使至少一個(gè)偏置電極具有多個(gè)特征頻率，使多種電極間隔存在于該偏置電極內(nèi)，擾亂該偏置電極內(nèi)的電極配置的周期性，來(lái)降低每一特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度；和/或

a-2：為了使至少一個(gè)偏置電極具有多個(gè)特征頻率，將構(gòu)成該偏置電極的電極的電極間隔構(gòu)成為沿著該電極的長(zhǎng)度方向階梯狀地變化，擾亂該偏置電極內(nèi)的電極形狀的一致性，來(lái)降低每一特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度；和/或

a-3：為了使至少一個(gè)偏置電極具有分布在規(guī)定的頻率范圍的特征頻率，將構(gòu)成該偏置電極的電極的電極間隔構(gòu)成為沿著該電極的長(zhǎng)度方向線性或非線性地變化(例如，增加和/或減少)，擾亂該偏置電極內(nèi)的電極形狀的一致性，來(lái)降低每一特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度。

b：將至少兩個(gè)偏置電極構(gòu)成為彼此具有不同的特征頻率，來(lái)抑制在一個(gè)偏置電極中產(chǎn)生的表面聲波在另一個(gè)偏置電極中轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的情況。和/或

c：將至少兩個(gè)偏置電極配置為抑制施加于一個(gè)偏置電極的電信號(hào)經(jīng)由表面聲波被另一個(gè)偏置電極接收的情況。更具體而言，

c-1：對(duì)于至少兩個(gè)偏置電極，將這兩個(gè)偏置電極中的一個(gè)從這兩個(gè)偏置電極相對(duì)置的位置沿著構(gòu)成這兩個(gè)偏置電極的電極的長(zhǎng)度方向偏離規(guī)定距離而配置；和/或

c-2：將至少兩個(gè)偏置電極配置為構(gòu)成一個(gè)偏置電極的電極的長(zhǎng)度方向與構(gòu)成另一個(gè)偏置電極的電極的長(zhǎng)度方向呈規(guī)定的角度。

通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，即使在向多個(gè)偏置電極分別施加不同頻率的抖動(dòng)信號(hào)的情況下，也能夠?qū)崿F(xiàn)不依賴于抖動(dòng)信號(hào)的頻率選擇或環(huán)境溫度的穩(wěn)定的偏置控制動(dòng)作。并且，通過(guò)使用具備具有該結(jié)構(gòu)的偏置電極的光調(diào)制器，能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)行不依賴于抖動(dòng)信號(hào)的頻率選擇或環(huán)境溫度的穩(wěn)定的光調(diào)制動(dòng)作而能進(jìn)行健壯的高速大容量光通信的光發(fā)送裝置。

以下，參考附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。另外，本實(shí)施方式所示的光調(diào)制器例如為dp-qpsk調(diào)制器，但本發(fā)明并不限于此，能夠作為具備多個(gè)偏置電極的各種類型的光調(diào)制器來(lái)實(shí)施。

＜第1實(shí)施方式＞

首先，對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的圖。如上所述，本實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器100例如為dp-qpsk調(diào)制器，其基本結(jié)構(gòu)與圖21所示的現(xiàn)有的dp-qpsk調(diào)制器相同。即，本光調(diào)制器100例如由形成于z切割的ln基板102上的嵌套型的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)(圖示粗線的虛線)和電極(圖示陰影線部分)構(gòu)成。該光調(diào)制器中，來(lái)自激光二極管等光源(未圖示)的光從圖示右方向入射，經(jīng)調(diào)制的光從圖示左方向出射。出射的光例如通過(guò)空間光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行合波，并入射到與光傳輸通路連結(jié)的光纖中。

光波導(dǎo)由如下部件構(gòu)成：接收來(lái)自圖示右方向的入射光的入射波導(dǎo)104；對(duì)在該入射波導(dǎo)中傳播的光進(jìn)行分路的光分支部106；及對(duì)由光分支部106分路的各光進(jìn)行調(diào)制的兩個(gè)馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a、110b。

馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a具有：入射波導(dǎo)112a；對(duì)在該入射波導(dǎo)中傳播的光進(jìn)行分路的光分支部114a；使由光分支部114a分路的各光傳播的平行波導(dǎo)116a、118a；對(duì)在該平行波導(dǎo)116a、118a中傳播的光進(jìn)行合波的合波部120a；及向外部出射由該合波部120a合波的光的出射波導(dǎo)122a。并且，馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a具有分別形成于上述平行波導(dǎo)116a及118a的一部分的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)130a(圖示虛線所示的矩形內(nèi)的部分)、132a(圖示雙點(diǎn)劃線所示的矩形內(nèi)的部分)。

在馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)130a的平行波導(dǎo)134a、136a的光出射側(cè)(圖示左方)和馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)132a的平行波導(dǎo)138a、140a的光出射側(cè)(圖示左方)分別形成有由電極142a、144a構(gòu)成的偏置電極146a和由電極148a、150a構(gòu)成的偏置電極152a。并且，在馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a的平行波導(dǎo)116a、118a的光出射側(cè)(圖示左方)形成有由電極154a、156a構(gòu)成的偏置電極158a。

如圖所示，馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110b的結(jié)構(gòu)與馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a的結(jié)構(gòu)相同。并且，光調(diào)制器100中，在4個(gè)馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)130a、132a、130b、132b的8條平行波導(dǎo)134a、136a、138a、140a、134b、136b、138b、140b上還分別形成有由電極170、172、174、176、178、180、182、184、186構(gòu)成的rf電極。

在此，偏置電極146a、152a、146b、152b分別為用于調(diào)整由馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)130a、132a、130b、132b構(gòu)成的光調(diào)制器的偏置點(diǎn)的偏置電極，偏置電極158a及158b分別為用于調(diào)整從出射波導(dǎo)122a及122b出射的光的相位的偏置電極。

圖2是圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a及152b以及其周邊的局部詳細(xì)圖。

偏置電極152a為推挽結(jié)構(gòu)的偏置電極，具有從電極150a延伸并形成于光波導(dǎo)138a上的中心電極150a-c及從電極148a延伸并形成于光波導(dǎo)140a上的中心電極148a-c。并且，偏置電極152a具有：以從圖示上下夾住中心電極150a-c的方式并行且從電極148a延伸而形成的相鄰電極148a-a1及148a-a2；以及以從圖示上下夾住中心電極148a-c的方式并行且從電極150a延伸而形成的相鄰電極150a-a1及150a-a2(即，中心電極150a-c、148a-c、相鄰電極148a-a1、148a-a2、150a-a1、150a-a2為構(gòu)成作為偏置電極152a的梳形電極的電極)。

由此，若對(duì)電極148a與150a之間施加電壓，則沿與圖2的紙面垂直的方向，彼此相反方向的電場(chǎng)會(huì)施加于光波導(dǎo)138a及140a(所謂的推挽動(dòng)作)，光波導(dǎo)138a及140a的折射率沿彼此相反方向發(fā)生變化(即，一個(gè)增加時(shí)，另一個(gè)減少)。

在此，電極148a-c、148a-a1、148a-a2、150a-c、150a-a1、150a-a2的電極寬度(與各自的長(zhǎng)度方向正交的方向的距離)全部都是相同的寬度t10，中心電極150a-c與相鄰電極148a-a1、148a-a2之間的電極間隙、及中心電極148a-c與相鄰電極150a-a1、150a-a2之間的電極間隙均為d10。因此，偏置電極152a的電極間隔p10為

p10＝t10+d10(3)，

偏置電極152a具有由電極間隔p10所確定的特征頻率f0-10。

偏置電極152b的結(jié)構(gòu)與偏置電極152a同樣為推挽結(jié)構(gòu)，具有：從電極150b延伸并形成于光波導(dǎo)138b上的中心電極150b-c；及從電極148b延伸并形成于光波導(dǎo)140b上的中心電極148b-c。并且，偏置電極152b具有：以從圖示上下夾住中心電極150b-c的方式并行且從電極148b延伸而形成的相鄰電極148b-a1及148b-a2；以及以從圖示上下夾住中心電極148b-c的方式并行且從電極150b延伸而形成的相鄰電極150b-a1及150b-a2(即，中心電極150b-c、148b-c、相鄰電極148b-a1、148b-a2、150b-a1、150b-a2為構(gòu)成作為偏置電極152b的梳形電極的電極)。

在此，電極148b-c、148b-a1、148b-a2、150b-c、150b-a1、150b-a2的電極寬度(與各自的長(zhǎng)度方向正交的方向的距離)全部都是與偏置電極152a的中心電極150a-c等相同的寬度t10，中心電極150b-c與相鄰電極148b-a1、148b-a2之間的電極間隙、及中心電極148b-c與相鄰電極150b-a1、150b-a2之間的電極間隙均為具有與偏置電極152a中的電極間隙d10不同的大小(距離)的d12。因此，偏置電極152b的電極間隔p12為

p12＝t10+d12(4)，

偏置電極152b具有由電極間隔p12所確定的特征頻率f0-12。

如上所述，由于偏置電極152a的電極間隙d10與偏置電極152b的電極間隙d12不同，因此電極間隔p10與電極間隔p12不同。因此，偏置電極152a的特征頻率f0-10與偏置電極152b的特征頻率f0-12成為不同的值。

其結(jié)果是，在一個(gè)偏置電極152a(或152b)中較強(qiáng)地產(chǎn)生的具有與特征頻率f0-10(或f0-12)相同的頻率的表面聲波即使到達(dá)具有與其不同的特征頻率f0-12(或f0-10)的另一個(gè)偏置電極152b(或152a)，也不會(huì)在該偏置電極152b(或152a)中生成較大的電信號(hào)(因此不生成較大的電噪聲)。即，本實(shí)施方式中，為了抑制施加于一個(gè)偏置電極152a(或152b)的電信號(hào)經(jīng)由表面聲波被另一個(gè)偏置電極152b(或152a)接收的情況，將兩個(gè)偏置電極152a、152b構(gòu)成為具有彼此不同的特征頻率f0-10、f0-12，由此抑制偏置電極152a-152b之間的經(jīng)由表面聲波的干涉。

在此，間隙d10及d12的值對(duì)應(yīng)施加于偏置電極152a及152b的偏置電壓的大小帶來(lái)影響。即，間隙d10及d20的值越大，通過(guò)各個(gè)偏置電極152a及152b能夠在光波導(dǎo)138a和140a、及光波導(dǎo)138b和140b中產(chǎn)生的電場(chǎng)越小，因此應(yīng)施加于偏置電極152a及152b的偏置電壓越大。因此，需要在容許的偏置電壓的范圍內(nèi)設(shè)定間隙d10及d12的值。

例如，若將間隙d10及d12設(shè)為15μm及16μm(約7％左右的差異)，則在偏置電極152a及152b中所需的偏置電壓之差成為1％左右，幾乎可以忽視。

本實(shí)施方式中，設(shè)為偏置電極152a及152b具有不同的特征頻率，但并不限于此，例如即使將光調(diào)制器100所具備的多個(gè)偏置電極146a、152a、158a、146b、152b、158b中的任意至少兩個(gè)偏置電極(例如，最靠近的兩個(gè)偏置電極、或被施加最大的偏置電壓的兩個(gè)偏置電極等)如上述偏置電極152a及152b那樣構(gòu)成為具有彼此不同的特征頻率，也能夠得到同樣的效果。

并且，除了如本實(shí)施方式那樣使兩個(gè)偏置電極的特征頻率不同以外，還能夠使用各種結(jié)構(gòu)來(lái)抑制偏置電極間的干涉。

以下，使用圖3～圖13對(duì)本實(shí)施方式的變形例進(jìn)行說(shuō)明。圖3～圖13分別所示的兩個(gè)偏置電極示出可以代替偏置電極152a、152b(或光調(diào)制器100所具備的6個(gè)偏置電極中的任意至少兩個(gè)偏置電極)而使用的偏置電極的結(jié)構(gòu)。

〔第1變形例〕

首先，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第1變形例進(jìn)行說(shuō)明。

圖2所示的偏置電極152a、152b如下構(gòu)成：通過(guò)將分別構(gòu)成相對(duì)置的兩個(gè)梳形電極即偏置電極152a、152b的電極的電極寬度設(shè)為相同且將電極間隙設(shè)為彼此不同的大小，而使電極間隔彼此不同，從而使偏置電極152a及152b具有彼此不同的特征頻率。

相對(duì)于此，本變形例中，對(duì)于相對(duì)置的兩個(gè)梳形電極即偏置電極，通過(guò)將分別構(gòu)成該兩個(gè)偏置電極的電極的電極間隙設(shè)為相同且將電極寬度設(shè)為彼此不同的大小，而使電極間隔彼此不同。由此，使該兩個(gè)偏置電極的特征頻率彼此不同，從而抑制該兩個(gè)偏置電極間的干涉。

圖3是表示本變形例所涉及的可以代替偏置電極152a、152b而使用的偏置電極352a、352b的結(jié)構(gòu)的圖。

偏置電極352a為推挽結(jié)構(gòu)的偏置電極，具有：從電極350a延伸并形成于光波導(dǎo)138a上的中心電極350a-c；及從電極348a延伸并形成于光波導(dǎo)140a上的中心電極348a-c。并且，偏置電極352a具有：以從圖示上下夾住中心電極350a-c的方式并行且從電極348a延伸而形成的相鄰電極348a-a1及348a-a2；以及以從圖示上下夾住中心電極348a-c的方式并行且從電極350a延伸而形成的相鄰電極350a-a1及350a-a2(即，中心電極350a-c、348a-c、相鄰電極348a-a1、348a-a2、350a-a1、350a-a2為構(gòu)成作為偏置電極352a的梳形電極的電極)。

在此，設(shè)為中心電極348a-c、350a-c具有電極寬度t30，相鄰電極348a-a1、348a-a2、350a-a1、350a-a2具有電極寬度t32。并且，設(shè)為中心電極350a-c與相鄰電極348a-a1、348a-a2之間的電極間隙、及中心電極348a-c與相鄰電極350a-a1、350a-a2之間的電極間隙均為d30。因此，偏置電極352a的電極間隔p30為

p30＝d30+(t30+t32)/2(5)，

偏置電極352a具有由電極間隔p30所確定的特征頻率f0-30。

偏置電極352b的結(jié)構(gòu)與偏置電極352a同樣為推挽結(jié)構(gòu)，具有：從電極350b延伸并形成于光波導(dǎo)138b上的中心電極350b-c；及從電極348b延伸并形成于光波導(dǎo)140b上的中心電極348b-c。并且，偏置電極352b具有：以從圖示上下夾住中心電極350b-c的方式并行且從電極348b延伸而形成的相鄰電極348b-a1及348b-a2；以及以從圖示上下夾住中心電極348b-c的方式并行且從電極350b延伸而形成的相鄰電極350b-a1及350b-a2(即，中心電極350b-c、348b-c、相鄰電極348b-a1、348b-a2、350b-a1、350b-a2為構(gòu)成作為偏置電極352b的梳形電極的電極)。

在此，電極348b-c、350b-c具有與偏置電極352a的中心電極348a-c、350a-c相同的電極寬度t30，相鄰電極348b-a1、348b-a2、350b-a1、350b-a2具有與偏置電極352a的相鄰電極348b-a1等的電極寬度t32不同大小的電極寬度t34。并且，中心電極350b-c與相鄰電極348b-a1、348b-a2之間的電極間隙、及中心電極348b-c與相鄰電極350b-a1、350b-a2之間的電極間隙均與偏置電極352a中的電極間隙d30相同。因此，偏置電極352b的電極間隔p32為

p32＝d30+(t30+t34)/2(6)，

偏置電極352b具有由電極間隔p32所確定的特征頻率f0-32。

如上所述，由于偏置電極352a的相鄰電極348a-a1、348a-a2、350a-a1、350a-a2的電極寬度t32與偏置電極152b的相鄰電極348b-a1、348b-a2、350b-a1、350b-a2的電極寬度t34的大小不同，因此電極間隔p30與電極間隔p32成為不同的值。因此，偏置電極352a的特征頻率f0-30與偏置電極352b的特征頻率f0-32成為彼此不同的值。

其結(jié)果是，在一個(gè)偏置電極352a(或352b)中較強(qiáng)地產(chǎn)生的具有與特征頻率f0-30(或f0-32)相同的頻率的表面聲波即使到達(dá)具有與其不同的特征頻率f0-32(或f0-30)的另一個(gè)偏置電極352b(或352a)，也不會(huì)在該偏置電極352b(或352a)中生成較大的電信號(hào)(因此不生成較大的電噪聲)。即，本實(shí)施方式中，為了抑制施加于一個(gè)偏置電極352a(或352b)的電信號(hào)經(jīng)由表面聲波被另一個(gè)偏置電極352b(或352a)接收的情況，將兩個(gè)偏置電極352a、352b構(gòu)成為具有彼此不同的特征頻率f0-30、f0-32，由此抑制偏置電極352a-352b間的經(jīng)由表面聲波的干涉。

〔第2變形例〕

接著，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第2變形例進(jìn)行說(shuō)明。本變形例中，為了使一個(gè)偏置電極具有多個(gè)特征頻率，使多種電極間隔存在于該偏置電極內(nèi)，擾亂該偏置電極內(nèi)的電極配置的周期性，來(lái)降低每一特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度。

例如圖2所示的偏置電極152a(或152b)中，由中心電極150a-c和相鄰電極148a-a1、a2構(gòu)成的梳形電極所具有的特征頻率和由中心電極148a-c和相鄰電極150a-a1、a2構(gòu)成的梳形電極所具有的特征頻率均為f0-10，因此從上述兩個(gè)梳形電極產(chǎn)生的頻率f0-10的表面聲波可以相互增強(qiáng)而在基板102上傳播。

相對(duì)于此，本變形例中，設(shè)為使構(gòu)成一個(gè)偏置電極的兩個(gè)梳形電極部分的電極間隔不同而使各個(gè)梳形電極部分具有不同的特征頻率。由此，當(dāng)與任一特征頻率相同頻率的電信號(hào)施加于該偏置電極時(shí)，僅從任一個(gè)梳形電極部分產(chǎn)生表面聲波。因此，從兩個(gè)梳形電極部分產(chǎn)生的相同頻率的表面聲波不會(huì)相互增強(qiáng)而傳播，能夠降低從該偏置電極產(chǎn)生的表面聲波的強(qiáng)度來(lái)抑制從該偏置電極對(duì)其他的偏置電極的經(jīng)由表面聲波的干涉。

圖4是表示本變形例所涉及的可以代替偏置電極152a、152b使用的偏置電極452a、452b的結(jié)構(gòu)的圖。

偏置電極452a為推挽結(jié)構(gòu)的偏置電極，具有：從電極450a延伸并形成于光波導(dǎo)138a上的中心電極450a-c；及從電極448a延伸并形成于光波導(dǎo)140a上的中心電極448a-c。并且，偏置電極452a具有：以從圖示上下夾住中心電極450a-c的方式并行且從電極448a延伸而形成的相鄰電極448a-a1及448a-a2；以及以從圖示上下夾住中心電極448a-c的方式并行且從電極450a延伸而形成的相鄰電極450a-a1及450a-a2。

在此，中心電極448a-c、450a-c及相鄰電極448a-a1、448a-a2、450a-a1、450a-a2全部都具有相同的電極寬度t40。另一方面，中心電極450a-c與相鄰電極448a-a1、a2之間的電極間隙為d40，中心電極448a-c與相鄰電極450a-a1、a2之間的電極間隙為與d40不同大小的d42。即，通過(guò)使d40及d42這2種電極間隙存在于偏置電極452a內(nèi)來(lái)擾亂構(gòu)成該偏置電極452a的電極的周期性。

由此，偏置電極452a由如下部件構(gòu)成：由中心電極450a-c及相鄰電極448a-a1、a2構(gòu)成的梳形電極部分490a-1；以及由中心電極448a-c及相鄰電極450a-a1、a2構(gòu)成的梳形電極部分490a-2。并且，梳形電極部分490a-1中的電極間隔p40成為

p40＝t40+d40(7)，

梳形電極部分490a-2中的電極間隔p42成為

p42＝t40+d42(8)，

梳形電極部分490a-1及490a-2分別具有不同的特征頻率f0-40及f0-42。梳形電極部分490a-1及490a-2包含于偏置電極452a，因此偏置電極452a具有兩個(gè)特征頻率f0-40及f0-42。

并且，偏置電極452a具備具有互不相同的特征頻率f0-40、f0-42的兩個(gè)梳形電極部分490a-1、490a-2，因此當(dāng)與特征頻率f0-40、f0-42中的任一個(gè)相同頻率的電信號(hào)施加于該偏置電極452a時(shí)，僅從梳形電極部分490a-1、490a-2中的任一個(gè)產(chǎn)生表面聲波。因此，從兩個(gè)梳形電極部分490a-1、490a-2產(chǎn)生的相同頻率的表面聲波不會(huì)相互增強(qiáng)而傳播，能夠降低從該偏置電極452a產(chǎn)生的表面聲波的強(qiáng)度來(lái)抑制從該偏置電極452a對(duì)其他的偏置電極(例如，偏置電極452b)的經(jīng)由表面聲波的干涉。

偏置電極452b的結(jié)構(gòu)與偏置電極452a的結(jié)構(gòu)相同，由梳形電極部分490b-1和490b-2構(gòu)成。梳形電極部分490b-1具有與梳形電極部分490a-1相同的結(jié)構(gòu)，且具有特征頻率f0-40。并且，梳形電極部分490b-2具有與梳形電極部分490a-2相同的結(jié)構(gòu)，且具有特征頻率f0-42。由此，與偏置電極452a同樣地，在偏置電極452b中也能夠降低從該偏置電極452b產(chǎn)生的表面聲波的強(qiáng)度來(lái)抑制從該偏置電極452b對(duì)其他的偏置電極(例如，偏置電極452a)的經(jīng)由表面聲波的干涉。

尤其，圖4所示的結(jié)構(gòu)中，具有相同的特征頻率的兩個(gè)梳形電極部分(例如，具有特征頻率f0-40的梳形電極部分490a-1和490b-1)以不相鄰的方式配置，從減輕該具有相同的特征頻率的兩個(gè)梳形電極部分之間的干涉的觀點(diǎn)來(lái)看優(yōu)選。

另外，本變形例所示的偏置電極452a(或452b)的結(jié)構(gòu)為降低從一個(gè)偏置電極產(chǎn)生的每個(gè)特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度的結(jié)構(gòu)，只要光調(diào)制器100所具備的多個(gè)偏置電極中的至少一個(gè)偏置電極具有上述結(jié)構(gòu)，則能夠期待從該偏置電極對(duì)其他的偏置電極的經(jīng)由表面聲波的干涉的抑制效果。

〔第3變形例〕

接著，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第3變形例進(jìn)行說(shuō)明。

圖4所示的第2變形例中，以相對(duì)置的方式配置的兩個(gè)偏置電極452a及452b構(gòu)成為分別具有相同的兩個(gè)不同的特征頻率f0-40、f0-42(即，偏置電極452a、偏置電極452b均具有特征頻率f0-40、f0-42)。

相對(duì)于此，本變形例中，以相對(duì)置的方式配置的兩個(gè)偏置電極分別具有兩個(gè)特征頻率，且一個(gè)偏置電極所具有的兩個(gè)特征頻率與另一個(gè)偏置電極所具有的兩個(gè)特征頻率的任一個(gè)都不同。

由此，本變形例中，與第2變形例同樣地，降低每個(gè)特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度，并且降低對(duì)于從一個(gè)偏置電極產(chǎn)生的表面聲波的在另一個(gè)偏置電極中的接收靈敏度。即，使從一個(gè)偏置電極產(chǎn)生的表面聲波的頻率與另一個(gè)偏置電極中的任一個(gè)特征頻率都不一致來(lái)降低通過(guò)該表面聲波在其他的偏置電極中引起的噪聲信號(hào)的功率，從而進(jìn)一步抑制偏置電極間的干涉。

圖5是表示本變形例所涉及的偏置電極的結(jié)構(gòu)的圖。另外，圖5中，對(duì)于與第2變形例所涉及的圖4所示的偏置電極相同的構(gòu)成要件，使用與圖4中的標(biāo)號(hào)相同的標(biāo)號(hào)，并援用對(duì)上述第2變形例的說(shuō)明。

圖5所示的偏置電極具有與圖4所示的偏置電極相同的結(jié)構(gòu)，但代替偏置電極452b而具備偏置電極552b。偏置電極552b為推挽結(jié)構(gòu)的偏置電極，具有：從電極550b延伸并形成于光波導(dǎo)138b上的中心電極550b-c；及從電極548b延伸并形成于光波導(dǎo)140b上的中心電極548b-c。并且，偏置電極552b具有：以從圖示上下夾住中心電極550b-c的方式并行且從電極548b延伸而形成的相鄰電極548b-a1及548b-a2；以及以從圖示上下夾住中心電極548b-c的方式并行且從電極550b延伸而形成的相鄰電極550b-a1及550b-a2。

在此，中心電極548b-c、550b-c及相鄰電極548b-a1、548b-a2、550b-a1、550b-a2全部都具有相同的電極寬度t40，另一方面，中心電極550b-c與相鄰電極548b-a1、a2之間的電極間隙為d50，中心電極548b-c與相鄰電極550b-a1、a2之間的電極間隙為與d50不同大小的d52。即，通過(guò)使d50及d52這2種電極間隙存在于偏置電極552b內(nèi)來(lái)擾亂構(gòu)成該偏置電極552b的電極的周期性。

由此，偏置電極552b由如下部件構(gòu)成：由中心電極548b-c及相鄰電極550b-a1、a2構(gòu)成的梳形電極部分590b-1；及由中心電極550b-c及相鄰電極548b-a1、a2構(gòu)成的梳形電極部分590b-2。并且，梳形電極部分590b-1中的電極間隔p50成為

p50＝t40+d50(9)，

梳形電極部分590a-2中的電極間隔p52成為，

p52＝t40+d52(10)，

梳形電極部分590b-1及590b-2分別具有不同的特征頻率f0-50及f0-52。梳形電極部分590b-1及590b-2包含于偏置電極552b，因此偏置電極552b通過(guò)如上述那樣構(gòu)成該偏置電極552b的電極的周期性被擾亂而具有兩個(gè)特征頻率f0-50及f0-52。

并且，本變形例中，尤其設(shè)為偏置電極552b中的電極間隙d50及d52與偏置電極452a中的電極間隙d40及d42中的任何一個(gè)都不一致。其結(jié)果是，偏置電極552b中的電極間隔p50及p52與偏置電極452a中的電極間隔p40及p42中的任何一個(gè)都不一致，偏置電極552b具有與偏置電極452a的特征頻率f0-40及f0-42中的任何一個(gè)都不一致的特征頻率f0-50及f0-52。

〔第4變形例〕

接著，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第4變形例進(jìn)行說(shuō)明。

圖5所示的第3變形例所涉及的偏置電極中，將構(gòu)成兩個(gè)偏置電極所包含的4個(gè)梳形電極部分的電極的電極寬度全部設(shè)為相同，并且使電極間隙按每個(gè)梳形電極部分而不同，由此使電極間隔不同而使特征頻率不同。

相對(duì)于此，本變形例中，將兩個(gè)偏置電極所包含的4個(gè)梳形電極部分的電極間隙全部設(shè)為相同，并且使電極寬度按每個(gè)梳形電極部分而不同，由此使每個(gè)梳形電極部分的電極間隔不同而使特征頻率不同。

由此，本變形例中，與第3變形例同樣地，降低每個(gè)特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度，并且降低對(duì)于從一個(gè)偏置電極產(chǎn)生的表面聲波的在另一個(gè)偏置電極中的接收靈敏度來(lái)抑制偏置電極間的干涉。

圖6是表示本變形例所涉及的可以代替偏置電極152a、152b使用的偏置電極652a、652b的結(jié)構(gòu)的圖。

偏置電極652a由兩個(gè)梳形電極部分690a-1及690a-2構(gòu)成。梳形電極部分690a-1具備：從電極650a延伸并形成于光波導(dǎo)138a上的中心電極650a-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極650a-c的方式并行且從電極648a延伸而形成的相鄰電極648a-a1、a2。

梳形電極部分690a-2具備：從電極648a延伸并形成于光波導(dǎo)140a上的中心電極648a-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極648a-c的方式并行且從電極650a延伸而形成的相鄰電極650a-a1、a2。

并且，偏置電極652b由兩個(gè)梳形電極部分690b-1及690b-2構(gòu)成。梳形電極部分690b-1具備：從電極650b延伸并形成于光波導(dǎo)138b上的中心電極650b-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極650b-c的方式并行且從電極648b延伸而形成的相鄰電極648b-a1、a2。

梳形電極部分690b-2具備：從電極648b延伸并形成于光波導(dǎo)140b上的中心電極648b-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極648b-c的方式并行且從電極650b延伸而形成的相鄰電極650b-a1、a2。

上述結(jié)構(gòu)中，梳形電極部分690a-1、690a-2、690b-1、690b-2全部都具有相同的電極間隙d60，且對(duì)于中心電極650a-c、648a-c、650b-c、648b-c，都具有相同的電極寬度t60。其另一方面，梳形電極部分690a-1、690a-2、690b-1、690b-2對(duì)于相鄰電極648a-a1及a2、650a-a1及a2、648b-a1及a2、650b-a1及a2分別具有不同的電極寬度t62、t64、t66、t68。

由此，梳形電極部分690a-1、690a-2、690b-1、690b-2分別具有不同的電極間隔p60、p62、p64、p66，而分別具有不同的特征頻率f0-60、f0-62、f0-64、f0-66。其結(jié)果是，偏置電極652a、652b分別具有彼此不同的兩個(gè)特征頻率f0-60及f0-62、和f0-64及f0-66，因此在各偏置電極中每個(gè)特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度降低。并且，同時(shí)能夠降低對(duì)于從一個(gè)偏置電極652a(或652b)產(chǎn)生的表面聲波的在另一個(gè)偏置電極652b(或652a)中的接收靈敏度來(lái)抑制偏置電極652a-652b間的干涉。

〔第5變形例〕

接著，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第5變形例進(jìn)行說(shuō)明。本變形例中，為了使一個(gè)偏置電極具有多個(gè)特征頻率，將構(gòu)成該偏置電極的電極的電極間隔構(gòu)成為沿著該電極的長(zhǎng)度方向階梯狀地變化，而擾亂該偏置電極內(nèi)的電極形狀的一致性，來(lái)降低每一特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度。

圖7是表示本變形例所涉及的可以代替偏置電極152a、152b使用的偏置電極752a、752b的結(jié)構(gòu)的圖。

偏置電極752a由兩個(gè)梳形電極部分790a-1及790a-2構(gòu)成。梳形電極部分790a-1具備：從電極750a延伸并形成于光波導(dǎo)138a上的中心電極750a-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極750a-c的方式并行且從電極748a延伸而形成的相鄰電極748a-a1、a2。在此，設(shè)為中心電極750a-c和相鄰電極748a-a1、a2全部都具有相同的電極寬度t700。

尤其，梳形電極部分790a-1中，相鄰電極748a-a1、a2在該電極的長(zhǎng)度方向的大致中央部分別彎曲，中心電極750a-c與相鄰電極748a-a1、a2之間的電極間隙在該彎曲部分從圖示左向右由d700階梯狀增加至d702。由此，梳形電極部分790a-1在圖示左側(cè)的電極間隙為d700的部分和圖示右側(cè)的電極間隙為d702的部分具有不同的電極間隔p700(＝t700+d700)及p702(t700+d702)，各部分具有互不相同的特征頻率f0-70及f0-72。

梳形電極部分790a-2的結(jié)構(gòu)與梳形電極部分790a-1的結(jié)構(gòu)相同。由此，梳形電極部分790a-2的結(jié)構(gòu)也具有互不相同的特征頻率f0-70及f0-72。由此，偏置電極752a具有兩個(gè)特征頻率f0-72及f0-70，構(gòu)成偏置電極752a的電極中具有各自的特征頻率的電極部分的長(zhǎng)度(沿圖示左右方向的長(zhǎng)度)成為電極整體長(zhǎng)度的一半，因此各特征頻率下的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度降低。

偏置電極752b的結(jié)構(gòu)與偏置電極752a的結(jié)構(gòu)稍微不同。上述偏置電極752a中，梳形電極部分790a-1及790a-2均在圖示左方具有電極間隙d700的部分，在圖示右方具有電極間隙d702的部分。相對(duì)于此，偏置電極752b中，構(gòu)成該偏置電極752的梳形電極部分790b-1在圖示左方具有電極間隙d700的部分(具有特征頻率f0-70的部分)，在圖示右方具有電極間隙d702的部分(具有特征頻率f0-72的部分)，相對(duì)于此，梳形電極部分790b-2在圖示左方具有電極間隙d702的部分(具有特征頻率f0-72的部分)，在圖示右方具有電極間隙d700的部分(具有特征頻率f0-70的部分)。

由此，與偏置電極752a同樣地，偏置電極752b具有兩個(gè)特征頻率f0-72及f0-70而降低各特征頻率下的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度，并且與梳形電極部分790b-1的具有特征頻率f0-70的部分(或具有特征頻率f0-72的部分)相鄰的梳形電極部分790b-2的部分成為具有特征頻率f0-72的部分(或具有特征頻率f0-70的部分)，因此不會(huì)從各部分同時(shí)產(chǎn)生相同頻率的表面聲波而彼此相互增強(qiáng)，能夠進(jìn)一步降低表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度。

另外，本變形例所示的偏置電極752a(或752b)的結(jié)構(gòu)為降低從一個(gè)偏置電極產(chǎn)生的每個(gè)特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度的結(jié)構(gòu)，只要光調(diào)制器100所具備的多個(gè)偏置電極中的至少一個(gè)偏置電極具有上述結(jié)構(gòu)，則能夠期待從該偏置電極對(duì)其他的偏置電極的經(jīng)由表面聲波的干涉的抑制效果。

〔第6變形例〕

接著，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第6變形例進(jìn)行說(shuō)明。本變形例中，為了使一個(gè)偏置電極具有分布在規(guī)定的頻率范圍的特征頻率，使構(gòu)成該偏置電極的電極的電極間隔沿著該電極的長(zhǎng)度方向線性且連續(xù)地變化(例如，增加和/或減少)，并擾亂該偏置電極內(nèi)的電極間隔的一致性，來(lái)降低每一特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度。

即，本變形例中，由于電極間隔沿著構(gòu)成偏置電極的電極的長(zhǎng)度方向而變化，因此該偏置電極能夠作為電極間隔不同的(因此，具有不同的特征頻率的)微小長(zhǎng)度的微小梳形電極的集合而起作用。其結(jié)果是，每個(gè)特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度(即，分別從微小梳形電極產(chǎn)生的表面聲波的強(qiáng)度)變得極小，可以抑制經(jīng)由這些表面聲波的偏置電極間的干涉。

圖8是表示本變形例所涉及的可以代替偏置電極152a、152b使用的偏置電極852a、852b的結(jié)構(gòu)的圖。另外，偏置電極852b具有與偏置電極852a相同的結(jié)構(gòu)，因此以下僅對(duì)偏置電極852a的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。

偏置電極852a由兩個(gè)梳形電極部分890a-1及890a-2構(gòu)成。梳形電極部分890a-1具備：從電極850a延伸并形成于光波導(dǎo)138a上的中心電極850a-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極850a-c的方式并行且從電極848a延伸而形成的相鄰電極848a-a1、a2。在此，中心電極850a-c與相鄰電極848a-a1、a2全部都具有相同的電極寬度t800。

尤其，梳形電極部分890a-1中，中心電極850a-c與相鄰電極848a-a1之間的電極間隙同樣為d800，而中心電極850a-c與相鄰電極848a-a2之間的電極間隙從圖示左向右由d800線性且連續(xù)地增加至d802。由此，梳形電極部分890a-1具有從p800(＝t800+d800)至p802(＝t800+d802)為止線性增加的電極間隔，而具有分布在規(guī)定的頻率范圍f0-80～f0-82的特征頻率，所述規(guī)定的頻率范圍f0-80～f0-82根據(jù)該電極間隔p802及p800來(lái)確定其下限頻率f0-80及上限頻率f0-82。

其結(jié)果是，例如沿著中心電極850a-c的長(zhǎng)度方向具有一個(gè)特征頻率的電極的范圍變得極其微小，具備與一個(gè)特征頻率相同的頻率而產(chǎn)生的表面聲波的強(qiáng)度(即，表面聲波的功率譜密度)變得極小，因此可以抑制經(jīng)由這些表面聲波的偏置電極間的干涉。

同樣地，梳形電極部分890a-2具備：從電極848a延伸并形成于光波導(dǎo)140a上的中心電極848a-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極848a-c的方式并行且從電極850a延伸而形成的相鄰電極850a-a1、a2。在此，中心電極848a-c與相鄰電極850a-a1、a2全部都具有相同的電極寬度t800。

尤其，梳形電極部分890a-2中，中心電極848a-c與相鄰電極850a-a1之間的電極間隙從圖示左向右由d802線性且連續(xù)地減少至d800。由此，梳形電極部分890a-2具有從p802(＝t800+d802)至p800(＝t800+d800)為止線性地減少的電極間隔，而具有分布在規(guī)定的頻率范圍f0-80～f0-82的特征頻率，所述規(guī)定的頻率范圍f0-80～f0-82根據(jù)該電極間隔p802及p800來(lái)確定其下限頻率f0-80及上限頻率f0-82。

因此，在梳形電極部分890a-2中，上述規(guī)定的頻率范圍中的表面聲波的功率譜密度也極小，因此可以抑制經(jīng)由這些表面聲波的偏置電極間的干涉。

其結(jié)果是，作為偏置電極852a整體而具有分布在規(guī)定的頻率范圍f0-80～f0-82的特征頻率，該規(guī)定的頻率范圍中的表面聲波的功率譜密度極小，因此可以抑制從偏置電極852a對(duì)其他的偏置電極(例如，偏置電極852b)的干涉。

另外，圖8所示的結(jié)構(gòu)中，尤其從圖示左向右，梳形電極部分890a-1的電極間隔增加，梳形電極部分890a-2的電極間隔減少。因此，施加于偏置電極852a的電信號(hào)越接近上述規(guī)定的頻率范圍的下限頻率f0-80或上限頻率f0-82，在梳形電極部分890a-1和梳形電極部分890a-2產(chǎn)生的具有相同頻率的表面聲波的產(chǎn)生源越相互遠(yuǎn)離。其結(jié)果是，圖8所示的結(jié)構(gòu)中，不易發(fā)生在梳形電極部分890a-1和梳形電極部分890a-2中同時(shí)產(chǎn)生的具有相同頻率的兩個(gè)表面聲波的重疊。即，圖8的結(jié)構(gòu)除了具有降低表面聲波的功率譜密度的效果以外，還具有避免表面聲波的強(qiáng)度相加的效果，從降低表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度的觀點(diǎn)來(lái)看優(yōu)選。

另外，本變形例所示的偏置電極852a(或852b)的結(jié)構(gòu)為降低從一個(gè)偏置電極產(chǎn)生的每個(gè)特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度的結(jié)構(gòu)，只要光調(diào)制器100所具備的多個(gè)偏置電極中的至少一個(gè)偏置電極具有上述結(jié)構(gòu)，則能夠期待從該偏置電極對(duì)其他的偏置電極的經(jīng)由表面聲波的干涉的抑制效果。

〔第7變形例〕

接著，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第7變形例進(jìn)行說(shuō)明。

本變形例中，與第6變形例同樣地，一個(gè)偏置電極為了具有分布在規(guī)定的頻率范圍的特征頻率，而構(gòu)成該偏置電極的電極的電極間隔構(gòu)成為沿著該電極的長(zhǎng)度方向線性且連續(xù)地變化(例如，增加和/或減少)。由此，擾亂該偏置電極內(nèi)的電極間隔的一致性來(lái)降低每一特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度。但是，第6變形例中，使偏置電極的電極寬度恒定而使電極間隙線性且連續(xù)地變化來(lái)使電極間隔發(fā)生變化，相對(duì)于此，本變形例中，使電極間隙恒定而使電極寬度線性且連續(xù)地變化來(lái)使電極間隔發(fā)生變化。

圖9是表示本變形例所涉及的可以代替偏置電極152a、152b使用的偏置電極952a、952b的結(jié)構(gòu)的圖。

偏置電極952a由兩個(gè)梳形電極部分990a-1及990a-2構(gòu)成。梳形電極部分990a-1具備：從電極950a延伸并形成于光波導(dǎo)138a上的中心電極950a-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極950a-c的方式并行且從電極948a延伸而形成的相鄰電極948a-a1、a2。在此，中心電極950a-c與相鄰電極948a-a1、a2之間為相同的電極間隙d900。

尤其，梳形電極部分990a-1中，中心電極950a-c與相鄰電極948a-a1的電極寬度同樣為t900，而相鄰電極948a-a2的電極寬度從圖示左向右由t902線性且連續(xù)地增加至t904。由此，梳形電極部分990a-1具有從p900(＝d900+(t900+t902)/2)至p902(＝d900+(t900+t904)/2)為止線性增加的電極間隔，而具有分布在規(guī)定的頻率范圍f0-90～f0-92的特征頻率，所述規(guī)定的頻率范圍f0-90～f0-92根據(jù)該電極間隔p902及p900來(lái)確定其下限頻率f0-90及上限頻率f0-92。

同樣地，梳形電極部分990a-2具備：從電極948a延伸并形成于光波導(dǎo)140a上的中心電極948a-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極948a-c的方式并行且從電極950a延伸而形成的相鄰電極950a-a1、a2。在此，中心電極948a-c與相鄰電極950a-a1、a2之間具有相同的電極間隙d900。

尤其，梳形電極部分990a-2中，中心電極948a-c與相鄰電極950a-a2的電極寬度同樣為t900，而相鄰電極950a-a1的電極寬度從圖示左向右由t904線性且連續(xù)地減少至t902。由此，梳形電極部分990a-2具有從p902(＝d900+(t900+t904)/2)至p900(＝d900+(t900+t902)/2)為止線性地減少的電極間隔，而具有分布在規(guī)定的頻率范圍f0-90～f0-92的特征頻率，所述規(guī)定的頻率范圍f0-90～f0-92根據(jù)該電極間隔p902及p900來(lái)確定其下限頻率f0-90及上限頻率f0-92。

因此，偏置電極952a具有分布在規(guī)定的頻率范圍f0-90～f0-92的特征頻率，在該規(guī)定的頻率范圍內(nèi)產(chǎn)生的表面聲波的功率譜密度極小，因此可以抑制從偏置電極952a對(duì)其他的偏置電極(例如，偏置電極952b)的干涉。

另外，偏置電極952b的結(jié)構(gòu)與上述偏置電極952a的結(jié)構(gòu)相同，因此省略說(shuō)明。

另外，本變形例所示的偏置電極952a(或952b)的結(jié)構(gòu)為降低從一個(gè)偏置電極產(chǎn)生的每個(gè)特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度的結(jié)構(gòu)，只要光調(diào)制器100所具備的多個(gè)偏置電極的中的至少一個(gè)偏置電極具有上述結(jié)構(gòu)，則能夠期待從該偏置電極對(duì)其他的偏置電極的經(jīng)由表面聲波的干涉的抑制效果。

〔第8變形例〕

接著，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第8變形例進(jìn)行說(shuō)明。

本變形例中，與第6變形例同樣地，一個(gè)偏置電極為了具有分布在規(guī)定的頻率范圍的特征頻率，將構(gòu)成該偏置電極的電極的電極間隔構(gòu)成為沿著該電極的長(zhǎng)度方向連續(xù)地變化。由此，擾亂該偏置電極內(nèi)的電極間隔的一致性來(lái)降低每一特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度。但是，第6變形例中，使偏置電極的電極間隔線性地變化，相對(duì)于此，本變形例中，使偏置電極的電極間隔非線性地(例如，曲線性地)變化。

圖10是表示本變形例所涉及的偏置電極的結(jié)構(gòu)的圖。另外，圖10中，對(duì)于與圖2所示的第1實(shí)施方式所涉及的偏置電極相同的構(gòu)成要件使用與圖2相同的標(biāo)號(hào)，并援用對(duì)上述第1實(shí)施方式所涉及的偏置電極的說(shuō)明。

本變形例中，具備圖2所示的偏置電極152a，并且代替圖2所示的偏置電極152b而具有偏置電極1052b。

偏置電極1052b由兩個(gè)梳形電極部分1090b-1及1090b-2構(gòu)成。梳形電極部分1090b-1具備：從電極1050b延伸并形成于光波導(dǎo)138b上的中心電極1050b-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極1050b-c的方式并行且從電極1048b延伸而形成的相鄰電極1048b-a1、a2。在此，中心電極1050b-c與相鄰電極1048b-a1、a2具有相同的電極寬度t1000。

尤其，相鄰電極1048b-a1呈向圖示下方向凸起的曲線形狀，相鄰電極1048b-a2呈向圖示上方向凸起的曲線形狀。由此，電極1050b-c與相鄰電極1048b-a1、a2之間的電極間隙在從d1000至d1002為止的范圍內(nèi)曲線性地變化。其結(jié)果是，梳形電極部分1090b-1具有在從p1000(＝t1000+d1000)至p1002(＝t1000+d1002)為止的范圍內(nèi)曲線性地變化的電極間隔，而具有分布在規(guī)定的頻率范圍f0-100～f0-102的特征頻率，所述規(guī)定的頻率范圍f0-100～f0-102根據(jù)該電極間隔p1002及p1000來(lái)確定其下限頻率f0-100及上限頻率f0-102。

同樣地，梳形電極部分1090b-2具備：從電極1048b延伸并形成于光波導(dǎo)140b上的中心電極1048b-c；及以從圖示上下方向夾住該中心電極1048b-c的方式并行且從電極1050b延伸而形成的相鄰電極1050b-a1、a2。在此，中心電極1048b-c與相鄰電極1050b-a1、a2具有相同的電極寬度t1000。

尤其，相鄰電極1050b-a1呈向圖示上方向凸起的曲線形狀，相鄰電極1050b-a2呈向圖示下方向凸起的曲線形狀。由此，電極1048b-c與相鄰電極1050b-a1、a2之間的電極間隙在從d1000至d1002為止的范圍內(nèi)曲線性地變化。其結(jié)果是，梳形電極部分1090b-2具有在從p1000(＝t1000+d1000)至p1002(＝t1000+d1002)為止的范圍內(nèi)曲線性地變化的電極間隔，而具有分布在規(guī)定的頻率范圍f0-100～f0-102的特征頻率，所述規(guī)定的頻率范圍f0-100～f0-102根據(jù)該電極間隔p1002及p1000確定其下限頻率f0-100及上限頻率f0-102。

因此，偏置電極1052b具有分布在規(guī)定的頻率范圍f0-100～f0-102的特征頻率，在該規(guī)定的頻率范圍內(nèi)產(chǎn)生的表面聲波的功率譜密度極小，因此可以抑制從偏置電極1052b對(duì)其他的偏置電極(例如，偏置電極152a)的干涉。

另外，本變形例所示的偏置電極1052b的結(jié)構(gòu)為降低從一個(gè)偏置電極產(chǎn)生的每個(gè)特征頻率的表面聲波的產(chǎn)生強(qiáng)度的結(jié)構(gòu)，只要光調(diào)制器100所具備的多個(gè)偏置電極的中的至少一個(gè)偏置電極具有上述結(jié)構(gòu)，則能夠期待從該偏置電極對(duì)其他的偏置電極的經(jīng)由表面聲波的干涉的抑制效果。

〔第9變形例〕

接著，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第9變形例進(jìn)行說(shuō)明。

本變形例中，為了對(duì)該非直線性(例如曲線性)地形成的光波導(dǎo)施加電場(chǎng)，而沿著光波導(dǎo)的非直線性形狀形成構(gòu)成一個(gè)偏置電極的電極。由此，以非直線性形狀形成的構(gòu)成器件電極的各電極的、從沿該電極的長(zhǎng)度方向的各位置產(chǎn)生的表面聲波的傳播方向彼此不同，因此從該偏置電極產(chǎn)生的表面聲波不會(huì)集中在一個(gè)方向上傳播而會(huì)發(fā)散，因此能夠降低到達(dá)其他的偏置電極的該表面聲波的強(qiáng)度。其結(jié)果是，可以抑制從上述一個(gè)電極對(duì)其他的電極的經(jīng)由表面聲波的干涉。

圖11是表示本變形例所涉及的可以代替偏置電極152a、152b使用的偏置電極1152a、1152b的結(jié)構(gòu)的圖。

偏置電極1152a具有：從電極1150a延伸并形成于光波導(dǎo)138a上的中心電極1150a-c；及從電極1148a延伸并形成于光波導(dǎo)140a上的中心電極1148a-c。并且，偏置電極1152a具有：以從圖示上下夾住中心電極1150a-c的方式并行且從電極1148a延伸而形成的相鄰電極1148a-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1148a-c的方式并行且從電極1150a延伸而形成的相鄰電極1150a-a1、a2(即，中心電極1150a-c、1148a-c、相鄰電極1148a-a1、1148a-a2、1150a-a1、1150a-a2為構(gòu)成作為偏置電極1152a的梳形電極的電極)。

同樣地，偏置電極1152b具有：從電極1150b延伸并形成于光波導(dǎo)138b上的中心電極1150b-c；及從電極1148b延伸并形成于光波導(dǎo)140b上的中心電極1148b-c。并且，偏置電極1152b具有：以從圖示上下夾住中心電極1150b-c的方式并行且從電極1148b延伸而形成的相鄰電極1148b-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1148b-c的方式并行且從電極1150b延伸而形成的相鄰電極1150b-a1、a2(即，中心電極1150b-c、1148b-c、相鄰電極1148b-a1、1148b-a2、1150b-a1、1150b-a2為構(gòu)成作為偏置電極1152a的梳形電極的電極)。

并且，偏置電極1152a中，中心電極1150a-c及1148a-c分別形成為沿著朝向光合流部1190a曲線性地形成的并行波導(dǎo)138a、140a的部分呈曲線，相鄰電極1148a-a1、a2及1150a-a1、a2分別與中心電極1150a-c及1148a-c并行且曲線性地形成。同樣地，偏置電極1152b中，中心電極1150b-c及1148b-c分別形成為沿著朝向光合流部1190b曲線性地形成的并行波導(dǎo)138b、140b的部分呈曲線，相鄰電極1148b-a1、a2及1150b-a1、a2分別與中心電極1150b-c及1148b-c并行且曲線性地形成。

由此，在偏置電極1152a(或1152b)中產(chǎn)生的表面聲波不會(huì)集中在一個(gè)方向上傳播而會(huì)發(fā)散，因此到達(dá)其他的偏置電極(例如，偏置電極1152b(或1152a))的該表面聲波的強(qiáng)度下降。其結(jié)果是，可以抑制從偏置電極1152a(或1152b)對(duì)其他的偏置電極(例如，偏置電極1152b(或1152a))的干涉。

另外，本變形例中，設(shè)為偏置電極1152a及1152b分別沿著光波導(dǎo)的非直線性形狀形成，但并不限于此，對(duì)于至少一個(gè)偏置電極，只要如偏置電極1152a或1152b那樣電極沿著非直線性的光波導(dǎo)的形狀構(gòu)成(例如，即使其他的偏置電極沿著直線性的光波導(dǎo)的形狀直線性地形成)，則能夠抑制從該一個(gè)偏置電極對(duì)其他的偏置電極的經(jīng)由表面聲波的干涉。并且，只要構(gòu)成一個(gè)偏置電極的電極的沿其長(zhǎng)度方向的至少一部分非直線性地構(gòu)成，則在該一部分產(chǎn)生表面聲波的發(fā)散效果，因此能夠得到與上述相同的效果。

〔第10變形例〕

接著，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第10變形例進(jìn)行說(shuō)明。

本變形例中，對(duì)于兩個(gè)偏置電極，將一個(gè)偏置電極沿著構(gòu)成這兩個(gè)偏置電極中的任一個(gè)的電極的長(zhǎng)度方向從與另一個(gè)偏置電極相對(duì)置的位置錯(cuò)開(kāi)而配置，由此減少在一個(gè)偏置電極中產(chǎn)生的表面聲波中到達(dá)其他的偏置電極的表面聲波的比例來(lái)抑制從該一個(gè)偏置電極對(duì)該其他的偏置電極的干涉。

圖12是表示本變形例所涉及的可以代替偏置電極152a、152b使用的偏置電極1252a、1252b的結(jié)構(gòu)的圖。

偏置電極1252a具有：從電極1250a延伸并形成于光波導(dǎo)138a上的中心電極1250a-c；及從電極1248a延伸并形成于光波導(dǎo)140a上的中心電極1248a-c。并且，偏置電極1252a具有：以從圖示上下夾住中心電極1250a-c的方式并行且從電極1248a延伸而形成的相鄰電極1248a-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1248a-c的方式并行且從電極1250a延伸而形成的相鄰電極1250a-a1、a2。

同樣地，偏置電極1252b具有：從電極1250b延伸并形成于光波導(dǎo)138b上的中心電極1250b-c；及從電極1248b延伸并形成于光波導(dǎo)140b上的中心電極1248b-c。并且，偏置電極1252b具有：以從圖示上下夾住中心電極1250b-c的方式并行且從電極1248b延伸而形成的相鄰電極1248b-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1248b-c的方式并行且從電極1250b延伸而形成的相鄰電極1250b-a1、a2。

尤其，本變形例中，一個(gè)偏置電極1252b從與偏置電極1252a相對(duì)置的位置沿著構(gòu)成偏置電極1252b的電極(例如，中心電極1248b-c)的長(zhǎng)度方向錯(cuò)開(kāi)規(guī)定距離d1200而配置。

由此，在偏置電極1252a(或1252b)中產(chǎn)生的表面聲波中到達(dá)其他的偏置電極1252b(或1252a)的表面聲波的比例減少，可以抑制從偏置電極1252a(或1252b)對(duì)其他的偏置電極1252b(或1252a)的干涉。

另外，本變形例中，關(guān)于偏置電極1252a及1252b，將彼此的位置從相對(duì)置的位置錯(cuò)開(kāi)規(guī)定距離而配置，但并不限于偏置電極1252a及1252b，也可以對(duì)于光調(diào)制器100所具備的多個(gè)偏置電極中的任意的至少兩個(gè)偏置電極(例如，一個(gè)偏置電極和相對(duì)于該一個(gè)偏置電極處于規(guī)定的距離范圍內(nèi)的其他的偏置電極中的一個(gè))，將彼此的位置從相對(duì)置的位置錯(cuò)開(kāi)規(guī)定距離而配置。

〔第11變形例〕

接著，對(duì)用于圖1所示的光調(diào)制器100的偏置電極152a、152b的第11變形例進(jìn)行說(shuō)明。

本變形例中，與第10變形例同樣地，對(duì)于兩個(gè)偏置電極，將一個(gè)偏置電極沿著構(gòu)成這兩個(gè)偏置電極中的任一個(gè)的電極的長(zhǎng)度方向從與另一個(gè)偏置電極相對(duì)置的位置錯(cuò)開(kāi)而配置，由此減少在一個(gè)偏置電極中產(chǎn)生的表面聲波中到達(dá)其他的偏置電極的表面聲波的比例來(lái)抑制從該一個(gè)偏置電極對(duì)該其他的偏置電極的干涉。

但是，相對(duì)于第10變形例中兩個(gè)偏置電極1252a及1252b以留有彼此對(duì)置的部分的方式配置的情況，本變形例中，以完全不具備兩個(gè)偏置電極相對(duì)置的部分的方式，將這兩個(gè)偏置電極中的一個(gè)沿著構(gòu)成這兩個(gè)偏置電極中的任一個(gè)的電極的長(zhǎng)度方向錯(cuò)開(kāi)規(guī)定距離而配置。由此，與第10變形例相比，本變形例中能夠進(jìn)一步抑制這兩個(gè)偏置電極間的干涉。

圖13是表示本變形例所涉及的可以代替偏置電極152a、152b使用的偏置電極1352a、1352b的結(jié)構(gòu)的圖。

偏置電極1352a具有：從電極1350a延伸并形成于光波導(dǎo)138a上的中心電極1350a-c；及從電極1348a延伸并形成于光波導(dǎo)140a上的中心電極1348a-c。并且，偏置電極1352a具有：以從圖示上下夾住中心電極1350a-c的方式并行且從電極1348a延伸而形成的相鄰電極1348a-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1348a-c的方式并行且從電極1350a延伸而形成的相鄰電極1350a-a1、a2。

與偏置電極1352a同樣地，偏置電極1352b的結(jié)構(gòu)具有：從電極1350b延伸并形成于光波導(dǎo)138b上的中心電極1350b-c；及從電極1348b延伸并形成于光波導(dǎo)140b上的中心電極1348b-c。并且，偏置電極1352b具有：以從圖示上下夾住中心電極1350b-c的方式并行且從電極1348b延伸而形成的相鄰電極1348b-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1348b-c的方式并行且從電極1350b延伸而形成的相鄰電極1350b-a1、a2。

尤其，本變形例中，一個(gè)偏置電極1352b從與偏置電極1352a相對(duì)置的位置沿著構(gòu)成偏置電極1352b的電極(例如，中心電極1348b-c)的長(zhǎng)度方向錯(cuò)開(kāi)配置至完全不具有與偏置電極1352a相對(duì)置的部分的位置為止。

完全不具有與偏置電極1352a相對(duì)置的部分的偏置電極1352b的位置例如如圖13所示，可以設(shè)為偏置電極1352a的邊緣中靠近偏置電極1352b側(cè)的邊緣與偏置電極1352b的邊緣中靠近偏置電極1352a側(cè)的邊緣的距離成為規(guī)定的距離d1300或該規(guī)定的距離d1300以上的位置。

由此，在一個(gè)偏置電極(1352a或1352b)中產(chǎn)生的表面聲波中，只有向圖示左右方向發(fā)散而傳播的一小部分到達(dá)其他的偏置電極(1352b或1352a)，因此能夠抑制從該一個(gè)偏置電極(1352a或1352b)對(duì)該其他的偏置電極(1352b或1352a)的干涉。

另外，本變形例中，關(guān)于偏置電極1352a及1352b，將彼此位置從相對(duì)置的位置錯(cuò)開(kāi)而配置，但并不限于偏置電極1352a及1352b，也可以對(duì)于光調(diào)制器100所具備的多個(gè)偏置電極中的任意的至少兩個(gè)偏置電極(例如，一個(gè)偏置電極和相對(duì)于該一個(gè)偏置電極位于規(guī)定的距離范圍內(nèi)的其他的偏置電極的一個(gè))，將彼此的位置從相對(duì)置的位置錯(cuò)開(kāi)而配置。

＜第2實(shí)施方式＞

接著，對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖14是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的圖。圖14中，對(duì)于與圖1所示的第1實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器100相同的構(gòu)成要件使用與圖1中的標(biāo)號(hào)相同的標(biāo)號(hào)，并援用對(duì)上述第1實(shí)施方式的說(shuō)明。

圖14所示的本實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器1400中，代替圖1所示的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a、110b而具有馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)1410a、1410b。

馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)1410a具有與圖1所示的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)在于代替平行波導(dǎo)134a～140a而具有將從圖示右向左傳播的光的方向在圖示左部分引向圖示下方向的平行波導(dǎo)(或并行波導(dǎo))1434a、1436a、1438a、1440a。

并且，馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)1410b具有與圖1所示的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110b相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)在于代替平行波導(dǎo)134b～140b而具有將從圖示右向左傳播的光的方向在圖示左部分引向圖示上方向的平行波導(dǎo)(或并行波導(dǎo))1434b、1436b、1438b、1440b。

并且，光調(diào)制器1400中代替圖1所示的偏置電極146a、152a、146b、152b而具有偏置電極1446a、1452a、1446b、1452b。偏置電極1446a由電極1442a及1444a構(gòu)成，偏置電極1446b由電極1442b及1444b構(gòu)成。并且，偏置電極1452a由電極1448a及1450a構(gòu)成，偏置電極1452b由電極1448b及1450b構(gòu)成。

圖15是圖14所示的光調(diào)制器1400的偏置電極1452a及1452b以及其周邊的局部詳細(xì)圖。

偏置電極1452a具有：從電極1450a延伸并形成于光波導(dǎo)1438a上的中心電極1450a-c；及從電極1448a延伸并形成于光波導(dǎo)1440a上的中心電極1448a-c。并且，偏置電極1452a具有：以從圖示上下夾住中心電極1450a-c的方式并行且從電極1448a延伸而形成的相鄰電極1448a-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1448a-c的方式并行且從電極1450a延伸而形成的相鄰電極1450a-a1、a2(即，中心電極1450a-c、1448a-c、相鄰電極1448a-a1、1448a-a2、1450a-a1、1450a-a2為構(gòu)成作為偏置電極1452a的梳形電極的電極)。

同樣地，偏置電極1452b具有：從電極1450b延伸并形成于光波導(dǎo)1438b上的中心電極1450b-c；及從電極1448b延伸并形成于光波導(dǎo)1440b上的中心電極1448b-c。并且，偏置電極1452b具有：以從圖示上下夾住中心電極1450b-c的方式并行且從電極1448b延伸而形成的相鄰電極1448b-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1448b-c的方式并行且從電極1450b延伸而形成的相鄰電極1450b-a1、a2(即，中心電極1450b-c、1448b-c、相鄰電極1448b-a1、1448b-a2、1450b-a1、1450b-a2為構(gòu)成作為偏置電極1452b的梳形電極的電極)。

并且，偏置電極1452a與1452b配置為構(gòu)成偏置電極1452a的電極(例如，相鄰電極1450a-a2)的長(zhǎng)度方向與構(gòu)成偏置電極1452b的電極(例如，相鄰電極1450b-a2)的長(zhǎng)度方向成規(guī)定的角度θ。

從偏置電極1452a產(chǎn)生的表面聲波主要向與構(gòu)成偏置電極1452b的電極的長(zhǎng)度方向正交的方向傳播，因此從相對(duì)于偏置電極1452a傾斜角度θ的偏置電極1452b觀察的該表面聲波的波長(zhǎng)λ′看作相對(duì)于實(shí)際波長(zhǎng)λ較長(zhǎng)(更具體而言，成為λ′＝λ/sinθ)。因此，例如即使偏置電極1452a及1452b的特征頻率均為f0-13，針對(duì)偏置電極1452b，從偏置電極1452a以頻率f0-13激勵(lì)的表面聲波也會(huì)作為與特征頻率f0-13不同的更低頻率(更具體而言，f0-13×sinθ)的表面聲波起作用，因此可以抑制該表面聲波對(duì)偏置電極1452b帶來(lái)的干涉。

該現(xiàn)象也適用于從偏置電極1452b產(chǎn)生的表面聲波對(duì)偏置電極1452a帶來(lái)的干涉。因此，即使偏置電極1452a及1452b具有相同的特征頻率，也可以通過(guò)上述結(jié)構(gòu)來(lái)抑制偏置電極1452a-1452b間的干涉。

另外，本實(shí)施方式中，將偏置電極1452a及1452b配置為彼此成角度θ，但并不限于偏置電極1452a及1452b，也可以將光調(diào)制器1400所具備的多個(gè)偏置電極中的任意的至少兩個(gè)偏置電極(例如，一個(gè)偏置電極和相對(duì)于該一個(gè)偏置電極位于規(guī)定的距離范圍內(nèi)的其他的偏置電極中的一個(gè))配置為彼此成角度θ。

＜第3實(shí)施方式＞

接著，對(duì)本發(fā)明的第3實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖16是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的圖。圖16中，對(duì)于與圖1所示的第1實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器100相同的構(gòu)成要件使用與圖1中的標(biāo)號(hào)相同的標(biāo)號(hào)，并援用對(duì)上述第1實(shí)施方式的說(shuō)明。

圖16所示的本實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器1600代替圖1所示的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a、110b而具有馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)1610a、1610b。

馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)1610a具有與圖1所示的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)在于代替平行波導(dǎo)134a～140a而具有從圖示右向左傳播的光的方向在圖示左部分向圖示下方向沿著曲線彎曲的平行波導(dǎo)(或并行波導(dǎo))1634a、1636a、1638a、1640a。

并且，馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)1610b具有與圖1所示的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110b相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)在于代替平行波導(dǎo)134b～140b而具有從圖示右向左傳播的光的方向在圖示左部分向圖示上方向沿著曲線彎曲的平行波導(dǎo)1634b、1636b、1638b、1640b。

并且，光調(diào)制器1600代替圖1所示的偏置電極146a、152a、146b、152b而具有偏置電極1646a、1652a、1646b、1652b。偏置電極1646a由電極1642a及1644a構(gòu)成，偏置電極1646b由電極1642b及1644b構(gòu)成。并且，偏置電極1652a由電極1648a及1650a構(gòu)成，偏置電極1652b由電極1648b及1650b構(gòu)成。

圖17是圖16所示的光調(diào)制器1600的偏置電極1652a及1652b以及其周邊的局部詳細(xì)圖。

偏置電極1652a具有：從電極1650a延伸并形成于光波導(dǎo)1638a上的中心電極1650a-c；及從電極1648a延伸并形成于光波導(dǎo)1640a上的中心電極1648a-c。并且，偏置電極1652a具有：以從圖示上下夾住中心電極1650a-c的方式并行且從電極1648a延伸而形成的相鄰電極1648a-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1648a-c的方式并行且從電極1650a延伸而形成的相鄰電極1650a-a1、a2(即，中心電極1650a-c、1648a-c、相鄰電極1648a-a1、1648a-a2、1650a-a1、1650a-a2為構(gòu)成作為偏置電極1652a的梳形電極的電極)。

同樣地，偏置電極1652b具有：從電極1650b延伸并形成于光波導(dǎo)1638b上的中心電極1650b-c；及從電極1648b延伸并形成于光波導(dǎo)1640b上的中心電極1648b-c。并且，偏置電極1652b具有：以從圖示上下夾住中心電極1650b-c的方式并行且從電極1648b延伸而形成的相鄰電極1648b-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1648b-c的方式并行且從電極1650b延伸而形成的相鄰電極1650b-a1、a2(即，中心電極1650b-c、1648b-c、相鄰電極1648b-a1、1648b-a2、1650b-a1、1650b-a2為構(gòu)成作為偏置電極1652b的梳形電極的電極)。

并且，偏置電極1652a中，中心電極1650a-c及1648a-c分別形成為沿著向圖示下方彎曲的光波導(dǎo)1638a及1640a上呈曲線，相鄰電極1648a-a1、a2及1650a-a1、a2分別沿著中心電極1650a-c及1648a-c的曲線而形成。同樣地，偏置電極1652b中，中心電極1650b-c及1648b-c分別形成為沿著向圖示下方彎曲的光波導(dǎo)1638b及1640b上呈曲線，相鄰電極1648b-a1、a2及1650b-a1、a2分別沿著中心電極1650b-c及1648b-c的曲線而形成。

并且，偏置電極1652a及1652b配置為構(gòu)成偏置電極1652a的電極的長(zhǎng)度方向與構(gòu)成偏置電極1652b的電極的長(zhǎng)度方向成規(guī)定的角度ψ。在此，如偏置電極1652a及1652b那樣，構(gòu)成這些偏置電極的電極呈曲線時(shí)的“電極的長(zhǎng)度方向”可以設(shè)為例如將構(gòu)成這些偏置電極的電極的切線方向進(jìn)行平均而得到的方向、或這些電極的長(zhǎng)度方向的中點(diǎn)處的切線方向(或?qū)⑺鼈兊那芯€方向進(jìn)行平均而得到的方向)等。

由此，與第2實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器1400同樣地，即使例如偏置電極1652a及1652b的特征頻率均為f0-15，針對(duì)偏置電極1652b(或1652a)，從偏置電極1652a(或1652b)以頻率f0-15激勵(lì)的表面聲波也會(huì)作為與特征頻率f0-15不同的更低頻率的表面聲波起作用，因此可以抑制該表面聲波對(duì)偏置電極1652b(或1652a)帶來(lái)的干涉。其結(jié)果是，可以抑制偏置電極1652a-1652b間的干涉。

另外，本實(shí)施方式中，將偏置電極1652a及1652b配置為彼此成角度ψ，且沿著對(duì)應(yīng)的光波導(dǎo)形成為曲線形狀，但并不限于偏置電極1652a及1652b，也可以將光調(diào)制器1600所具備的多個(gè)偏置電極中的任意的至少兩個(gè)偏置電極(例如，一個(gè)偏置電極和相對(duì)于該一個(gè)偏置電極位于規(guī)定的距離范圍內(nèi)的其他的偏置電極中的一個(gè))配置為彼此成角度ψ，且沿著對(duì)應(yīng)的光波導(dǎo)形成為曲線形狀。

〔第4實(shí)施方式〕

接著，對(duì)本發(fā)明的第4實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖18是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)的圖。圖18中，對(duì)于與圖1所示的第1實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器100相同的構(gòu)成要件使用與圖1中的標(biāo)號(hào)相同的標(biāo)號(hào)，并援用對(duì)上述第1實(shí)施方式的說(shuō)明。

圖18所示的本實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器1800代替圖1所示的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a而具有馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)1810a。

馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)1810a具有與圖1所示的馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)110a相同的結(jié)構(gòu)，但不同點(diǎn)在于代替平行波導(dǎo)134a～140a而具有從圖示右向左傳播的光的方向在圖示左部分向圖示下方向沿著曲線彎曲的平行波導(dǎo)1834a、1836a、1838a、1840a。

并且，光調(diào)制器1800代替圖1所示的偏置電極146a、152a、146b、152b而具有偏置電極1846a、1852a、1846b、1852b。偏置電極1846a由電極1842a及1844a構(gòu)成，偏置電極1846b由電極1842b及1844b構(gòu)成。并且，偏置電極1852a由電極1848a及1850a構(gòu)成，偏置電極1852b由電極1848b及1850b構(gòu)成。

圖19是圖18所示的光調(diào)制器1800的偏置電極1852a及1852b以及其周邊的局部詳細(xì)圖。

偏置電極1852a具有：從電極1850a延伸并形成于光波導(dǎo)1838a上的中心電極1850a-c；從電極1848a延伸并形成于光波導(dǎo)1840a上的中心電極1848a-c。并且，偏置電極1852a具有：以從圖示上下夾住中心電極1850a-c的方式并行且從電極1848a延伸而形成的相鄰電極1848a-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1848a-c的方式并行且從電極1850a延伸而形成的相鄰電極1850a-a1、a2(即，中心電極1850a-c、1848a-c、相鄰電極1848a-a1、1848a-a2、1850a-a1、1850a-a2為構(gòu)成作為偏置電極1852a的梳形電極的電極)。

與偏置電極1852a同樣地，偏置電極1852b的結(jié)構(gòu)具有：從電極1850b延伸并形成于光波導(dǎo)1838b上的中心電極1850b-c；及從電極1848b延伸并形成于光波導(dǎo)1840b上的中心電極1848b-c。并且，偏置電極1852b具有：以從圖示上下夾住中心電極1850b-c的方式并行且從電極1848b延伸而形成的相鄰電極1848b-a1、a2；及以從圖示上下夾住中心電極1848b-c的方式并行且從電極1850b延伸而形成的相鄰電極1850b-a1、a2(即，中心電極1850b-c、1848b-c、相鄰電極1848b-a1、1848b-a2、1850b-a1、1850b-a2為構(gòu)成作為偏置電極1852a的梳形電極的電極)。

并且，偏置電極1852a中，中心電極1850a-c及1848a-c分別形成為沿著向圖示下方彎曲的光波導(dǎo)1838a及1840a上呈曲線，相鄰電極1848a-a1、a2及1850a-a1、a2分別沿著中心電極1850a-c及1848a-c的曲線而形成。另一方面，偏置電極1852b中，中心電極1850b-c及1848b-c分別沿著光波導(dǎo)1838b及1840b上形成為直線狀，相鄰電極1848b-a1、a2及1850b-a1、a2分別沿著中心電極1850b-c及1848b-c形成為直線狀。

并且，偏置電極1852a及1852b配置為構(gòu)成偏置電極1852a的電極的長(zhǎng)度方向與構(gòu)成偏置電極1852b的電極的長(zhǎng)度方向成規(guī)定的角度φ。在此，如偏置電極1172a那樣電極呈曲線時(shí)的“電極的長(zhǎng)度方向”例如可以設(shè)為將構(gòu)成該偏置電極1172a的電極的切線方向進(jìn)行平均而得到的方向、或這些電極的長(zhǎng)度方向的中點(diǎn)處的切線方向(或?qū)⑺鼈兊那芯€方向進(jìn)行平均而得到的方向)等。

通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，本實(shí)施方式中，與第2實(shí)施方式所涉及的光調(diào)制器1400同樣地，例如即使偏置電極1852a及1852b的特征頻率均為f0-17，針對(duì)偏置電極1852b(或1852a)，從偏置電極1852a(或1852b)以頻率f0-17激勵(lì)的表面聲波也會(huì)作為與特征頻率f0-17不同的更低頻率的表面聲波起作用，因此可以抑制該表面聲波對(duì)偏置電極1852b(或1852a)帶來(lái)的干涉。其結(jié)果是，可以抑制偏置電極1852a-1852b間的干涉。

＜第5實(shí)施方式＞

接著，對(duì)本發(fā)明的第5實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式為搭載有第1～第4實(shí)施方式所示的光調(diào)制器100(包含圖3～圖13所示的任意變形例)、1400、1600、1800中的任一個(gè)的光發(fā)送裝置。

圖20是表示本實(shí)施方式所涉及的光發(fā)送裝置的結(jié)構(gòu)的圖。本光發(fā)送器2000具有：包含光調(diào)制器2010的光調(diào)制單元2020；將光入射到光調(diào)制器2010的光源2030；及傳輸從光調(diào)制單元2020輸出的光的光纖2040。

并且，光調(diào)制單元2020具備：對(duì)從光調(diào)制器2010輸出的2束正交2偏振光的一部分分別進(jìn)行分路的光分支器2050及2052；以及分別接收由光分支器2050及2052分路的其中一束光的受光器2060及2062。受光器2060及2062的輸出作為反饋信號(hào)而輸出至偏置控制部2080(后述)。

另外，光調(diào)制單元2020具備偏振合成器2070。

光調(diào)制單元2020所包含的光調(diào)制器2010為圖1、圖14、圖16、圖18分別所示的光調(diào)制器100(包含圖3～圖13所示的任意變形例)、1400、1600、1800中的任一個(gè)，偏振合成器2070對(duì)從光調(diào)制器2010輸出并分別通過(guò)了光分支器2050及2052的2束正交2偏振光進(jìn)行合波，并輸入到光纖2040。

并且，光發(fā)送器2000具有控制光調(diào)制器2010所具備的偏置電極的控制裝置即偏置控制部2080。偏置控制部2080將在用于偏置點(diǎn)控制的直流電壓上重疊用于檢測(cè)偏置點(diǎn)的變動(dòng)的抖動(dòng)信號(hào)而成的偏置電壓施加于光調(diào)制器2010所具備的偏置電極。并且，偏置控制部2080通過(guò)監(jiān)視從光調(diào)制單元2020內(nèi)的受光器2060、2062輸出的反饋信號(hào)內(nèi)的抖動(dòng)信號(hào)頻率成分的強(qiáng)度來(lái)控制施加于光調(diào)制器2010所具備的偏置電極的上述直流電壓的大小。

并且，當(dāng)光調(diào)制器2010具備多個(gè)偏置電極時(shí)，偏置控制部2080將按每個(gè)偏置電極使用了不同頻率的抖動(dòng)信號(hào)的偏置電壓施加于各偏置電極。

另外，抖動(dòng)信號(hào)并不限于正弦波，可以設(shè)為具有鋸齒波、脈沖波、三角波、階梯波等任意的波形的信號(hào)。

如以上說(shuō)明，上述實(shí)施方式所示的光調(diào)制器具備多個(gè)偏置電極，上述偏置電極構(gòu)成為和/或配置成抑制施加于一個(gè)偏置電極(例如，偏置電極152a)的電信號(hào)經(jīng)由在基板上傳播的表面聲波被其他的偏置電極(例如，偏置電極152b)接收的情況。

由此，本光調(diào)制器即使在將不同頻率的抖動(dòng)信號(hào)分別施加于多個(gè)偏置電極的情況下，也能夠?qū)崿F(xiàn)不依賴于抖動(dòng)信號(hào)的頻率選擇或環(huán)境溫度的穩(wěn)定的偏置控制動(dòng)作。

另外，上述實(shí)施方式中，示出了使用z切割的ln基板來(lái)制作的dp-qpsk調(diào)制器，但本發(fā)明并不限于此，也可以廣泛地應(yīng)用于使用y切割或x切割的ln基板的光調(diào)制器、使用ln以外的壓電材料的基板來(lái)形成的光調(diào)制器。

并且，上述實(shí)施方式中，偏置電極構(gòu)成為梳形電極，但本發(fā)明并不限于此，偏置電極只要在具有壓電效應(yīng)的基板上產(chǎn)生表面聲波，就可以具有任意的結(jié)構(gòu)。

標(biāo)號(hào)說(shuō)明

100-光調(diào)制器，102-基板，104、112a、112b-入射波導(dǎo)，106、114a、114b-光分支部，110a、110b、130a、130b、132a、132b-馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo)，116a、116b、134a、134b、136a、136b-平行波導(dǎo)，120a、120b-合波部，122a、122b-出射波導(dǎo)，146a、146b、152a、152b、158a、158b-偏置電極，170、172、174、176、178、180、182、184、186-rf電極，2000-光發(fā)送裝置，2010-光調(diào)制器，2020-光調(diào)制單元，2030-光源，2040-光纖，2050、2052-光分支器，2060、2062-受光器，2070-偏振合成器，2080-偏置控制部。