本發(fā)明涉及剝離液技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種microled屏剝離液。
背景技術(shù)：
在microled屏基板的生產(chǎn)的光刻技術(shù)中通常包括在玻璃基板上依次進行：設(shè)置金屬或金屬氧化物層的金屬配線形成工序；設(shè)置光致抗蝕劑層的工序；在光致抗蝕劑上轉(zhuǎn)寫掩模圖形的曝光工序；按照圖形對模進行蝕刻的蝕刻工序；以及除去光致抗蝕劑的剝離工序。在通常的制造工藝中光刻工序會多達十多次。
基板上抗蝕劑層上形成有一層保護層，也無法輕易去除剝離。由于玻璃基板成本很高，如果直接廢棄會造成很大浪費，因此可以將不良彩色濾光片基板上的膜層全部剝離掉，重新使用，可以節(jié)約成本。但是如果膜層剝離的不干凈，或者徹底剝離需要的時間很長，就無法起到節(jié)約成本的作用。
一般的剝離液可以列舉出無機酸、有機酸、無機堿或者有機溶劑，可是，作為剝離劑的有效成分，當使用無機酸或者無機堿時，或使下部金屬膜腐蝕，或伴隨有害于人體的缺點等操作上的困難性。因此通常使用有機溶劑。目前pdp面板制造中使用剝離液主要是含有有機極性溶劑、胺類及水的體系的剝離液。然而這些現(xiàn)有的剝離液存在以下問題：1、生產(chǎn)工藝復(fù)雜。在進行剝離處理過程中，在剝離掉光致抗蝕劑后需要用有機溶劑和水分別漂洗，增加清洗工序時間，產(chǎn)生大量廢液廢水；2、剝離性能弱，對布線腐蝕影響大；3、清洗后殘留金屬離子的數(shù)量超出標準要求，容易引起表面金屬離子污染。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明旨在提供了一種microled屏剝離液。
本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
一種microled屏剝離液，其是由如下質(zhì)量分數(shù)的原料組成：季胺氫氧化物15-32％、烷氧基堿金屬鹽10-22％、有機胺8-25％、表面活性劑5-14％、環(huán)氧類有機溶劑20-40％、金屬螯合劑5-9％、防腐劑4-7％和水。
所述季胺氫氧化物結(jié)構(gòu)式為：
所述r1、r2和r3均選自c1-c5的烷基和c1-c5的羥烷基中的任意一種。
所述季胺氫氧化物為選自四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、氫氧化一甲基二丙基烯丙基銨、氫氧化二甲基一丙基烯丙基銨、氫氧化(1，2-二羥基乙基)一丙基烯丙基銨、氫氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基銨、十六烷基三甲基氫氧化銨和芐基三甲基氫氧化銨中的一種或多種。
所述烷氧基堿金屬鹽包括烷氧基鈉、烷氧基鋰、烷氧基鉀中的一種或多種。
所述表面活性劑為聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一種或多種。
所述環(huán)氧類有機溶劑為環(huán)氧乙烷、環(huán)氧丙烷、1,2-環(huán)氧丁烷、正丁基縮水甘油醚、異丙基縮水甘油醚、苯基縮水甘油醚、萘基縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、呋喃甲基縮水甘油醚、乙二醇二縮水甘油醚、1,4-丁二醇二縮水甘油醚、1,6-己二醇二縮水甘油醚、間苯二酚二縮水甘油醚、雙酚a二縮水甘油醚、甘油三丙醚和季戊四醇縮水甘油醚的一種或多種。
所述所述金屬螯合劑選自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二鈉鹽、二亞乙基三胺五乙酸、三亞乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一種。
所述防腐劑選自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、2-巰基乙醇、鄰苯二酚、沒食子酸、蘋果酸和苯并三唑中的至少一種。
所述水為去離子水，具體為為電子級去離子水，在25℃的電阻率至少為22兆歐。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明剝離液對蝕刻工序中發(fā)生變質(zhì)的光致抗蝕劑可以有效的進行剝離，對于microled屏玻璃基板的金屬膜、氧化膜的無機材料物質(zhì)具有極低的腐蝕性；同時本剝離液能在較低溫度下、較短時間內(nèi)去除玻璃基板濾光片上的彩色抗蝕劑和保護層，對玻璃基板沒有損傷，用剝離液處理后的玻璃基板能夠再利用；本發(fā)明的剝離液剝離效果較好，同時對環(huán)境和人體具有高度的安全性。
具體實施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實施例，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
實施例1一種microled屏剝離液，其是由如下質(zhì)量分數(shù)的原料組成：季胺氫氧化物15％、烷氧基堿金屬鹽10％、有機胺8％、表面活性劑5％、環(huán)氧類有機溶劑20％、金屬螯合劑5％、防腐劑4％和水。
所述季胺氫氧化物結(jié)構(gòu)式為：
所述r1、r2和r3均選自c1-c5的烷基和c1-c5的羥烷基中的任意一種。
所述季胺氫氧化物為選自四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、氫氧化一甲基二丙基烯丙基銨、氫氧化二甲基一丙基烯丙基銨、氫氧化(1，2-二羥基乙基)一丙基烯丙基銨、氫氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基銨、十六烷基三甲基氫氧化銨和芐基三甲基氫氧化銨中的一種或多種。
所述烷氧基堿金屬鹽包括烷氧基鈉、烷氧基鋰、烷氧基鉀中的一種或多種。
所述表面活性劑為聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一種或多種。
所述環(huán)氧類有機溶劑為環(huán)氧乙烷、環(huán)氧丙烷、1,2-環(huán)氧丁烷、正丁基縮水甘油醚、異丙基縮水甘油醚、苯基縮水甘油醚、萘基縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、呋喃甲基縮水甘油醚、乙二醇二縮水甘油醚、1,4-丁二醇二縮水甘油醚、1,6-己二醇二縮水甘油醚、間苯二酚二縮水甘油醚、雙酚a二縮水甘油醚、甘油三丙醚和季戊四醇縮水甘油醚的一種或多種。
所述所述金屬螯合劑選自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二鈉鹽、二亞乙基三胺五乙酸、三亞乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一種。
所述防腐劑選自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、2-巰基乙醇、鄰苯二酚、沒食子酸、蘋果酸和苯并三唑中的至少一種。
所述水為去離子水，具體為為電子級去離子水，在25℃的電阻率至少為22兆歐。
實施例2一種microled屏剝離液，其是由如下質(zhì)量分數(shù)的原料組成：季胺氫氧化物32％、烷氧基堿金屬鹽22％、有機胺25％、表面活性劑14％、環(huán)氧類有機溶劑40％、金屬螯合劑9％、防腐劑7％和水。
所述季胺氫氧化物結(jié)構(gòu)式為：
所述r1、r2和r3均選自c1-c5的烷基和c1-c5的羥烷基中的任意一種。
所述季胺氫氧化物為選自四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、氫氧化一甲基二丙基烯丙基銨、氫氧化二甲基一丙基烯丙基銨、氫氧化(1，2-二羥基乙基)一丙基烯丙基銨、氫氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基銨、十六烷基三甲基氫氧化銨和芐基三甲基氫氧化銨中的一種或多種。
所述烷氧基堿金屬鹽包括烷氧基鈉、烷氧基鋰、烷氧基鉀中的一種或多種。
所述表面活性劑為聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一種或多種。
所述環(huán)氧類有機溶劑為環(huán)氧乙烷、環(huán)氧丙烷、1,2-環(huán)氧丁烷、正丁基縮水甘油醚、異丙基縮水甘油醚、苯基縮水甘油醚、萘基縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、呋喃甲基縮水甘油醚、乙二醇二縮水甘油醚、1,4-丁二醇二縮水甘油醚、1,6-己二醇二縮水甘油醚、間苯二酚二縮水甘油醚、雙酚a二縮水甘油醚、甘油三丙醚和季戊四醇縮水甘油醚的一種或多種。
所述所述金屬螯合劑選自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二鈉鹽、二亞乙基三胺五乙酸、三亞乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一種。
所述防腐劑選自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、2-巰基乙醇、鄰苯二酚、沒食子酸、蘋果酸和苯并三唑中的至少一種。
所述水為去離子水，具體為為電子級去離子水，在25℃的電阻率至少為22兆歐。
實施例3一種microled屏剝離液，其是由如下質(zhì)量分數(shù)的原料組成：季胺氫氧化物24％、烷氧基堿金屬鹽16％、有機胺15％、表面活性劑9％、環(huán)氧類有機溶劑30％、金屬螯合劑7％、防腐劑6％和水。
所述季胺氫氧化物結(jié)構(gòu)式為：
所述r1、r2和r3均選自c1-c5的烷基和c1-c5的羥烷基中的任意一種。
所述季胺氫氧化物為選自四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、氫氧化一甲基二丙基烯丙基銨、氫氧化二甲基一丙基烯丙基銨、氫氧化(1，2-二羥基乙基)一丙基烯丙基銨、氫氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基銨、十六烷基三甲基氫氧化銨和芐基三甲基氫氧化銨中的一種或多種。
所述烷氧基堿金屬鹽包括烷氧基鈉、烷氧基鋰、烷氧基鉀中的一種或多種。
所述表面活性劑為聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一種或多種。
所述環(huán)氧類有機溶劑為環(huán)氧乙烷、環(huán)氧丙烷、1,2-環(huán)氧丁烷、正丁基縮水甘油醚、異丙基縮水甘油醚、苯基縮水甘油醚、萘基縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、呋喃甲基縮水甘油醚、乙二醇二縮水甘油醚、1,4-丁二醇二縮水甘油醚、1,6-己二醇二縮水甘油醚、間苯二酚二縮水甘油醚、雙酚a二縮水甘油醚、甘油三丙醚和季戊四醇縮水甘油醚的一種或多種。
所述所述金屬螯合劑選自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二鈉鹽、二亞乙基三胺五乙酸、三亞乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一種。
所述防腐劑選自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、2-巰基乙醇、鄰苯二酚、沒食子酸、蘋果酸和苯并三唑中的至少一種。
所述水為去離子水，具體為為電子級去離子水，在25℃的電阻率至少為22兆歐。
對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于所述示范性實施例的細節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點來看，均應(yīng)將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是所述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。此外，應(yīng)當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。