技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種基板傳送系統(tǒng)以及基板檢測(cè)設(shè)備和檢測(cè)方法，所述設(shè)備包括：相對(duì)平行設(shè)置的兩個(gè)電極；連接于兩個(gè)電極的電源單元，用于在兩個(gè)電極上加載交變電壓；連接于所述電源單元與任意一個(gè)所述電極間的檢測(cè)單元，用于檢測(cè)其所接入的電路中的電流值，并根據(jù)待檢測(cè)的基板位于所述兩個(gè)電極之間時(shí)檢測(cè)到的第一電流值判斷所述基板是否破損。本發(fā)明可以對(duì)基板整體破損狀況進(jìn)行檢測(cè)，并能避免檢測(cè)結(jié)果受基板潔凈度或傳感器潔凈度影響，從而提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。

技術(shù)研發(fā)人員：李明龍;王志強(qiáng);陳榮龍;馬紀(jì)艷;殷鵬飛;高鴻飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.22
技術(shù)公布日：2017.09.15