本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻膠管路設(shè)計。

背景技術(shù)：

光刻膠的技術(shù)復(fù)雜，品種較多。根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機理和顯影原理，可分負(fù)性膠和正性膠兩類。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠；反之，對某些溶劑是不可溶的，經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠。利用這種性能，將光刻膠作涂層，就能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形。

光刻膠價格昂貴且有效期短，有效期一般只有6個月，而一些特殊的光刻用膠，如某些片上系統(tǒng)填充材料，在常溫下只有10天的有效期。光刻膠是在冷藏或冷凍環(huán)境中存儲和運輸，但在作業(yè)過程中卻是在常溫下儲存在機臺內(nèi)。某些機臺該膠跑貨少或只是用于實驗時，這瓶膠在常溫下將使用很長時間。長時間暴露在常溫下，光刻膠會出現(xiàn)微粒增多、感光度下降、聚合物增加等情況，在晶圓上作業(yè)時造成能量變化、缺陷增多。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述問題，本發(fā)明提出了一種光刻膠管路設(shè)計，其特征在于，應(yīng)用于光刻膠涂布機中；包括：

光刻膠容器，放置于一溫度控制室內(nèi)；

所述光刻膠容器包括一進(jìn)氣口和一出膠口，所述進(jìn)氣口用于通入氣體將所述光刻膠容器內(nèi)的光刻膠從所述出膠口壓出；

第一管道，依次連接所述光刻膠容器的出膠口、一預(yù)存容器、一過濾器、一近端容器、一泵以及一噴頭；

所述第一管道外包裹有第二管道，所述第二管道用于通入加熱介質(zhì)對所述第一管道進(jìn)行加熱。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，所述第二管道具有一第一包圍結(jié)構(gòu)段，所述第一包圍結(jié)構(gòu)段包圍所述預(yù)存容器。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，還包括：

加熱裝置，鄰近所述預(yù)存容器和/或所述第一包圍結(jié)構(gòu)段設(shè)置，用于對所述預(yù)存容器和/或所述第一包圍結(jié)構(gòu)段進(jìn)行加熱。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，所述加熱裝置覆蓋所述預(yù)存容器的側(cè)面、底面和頂面。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，所述加熱裝置的加熱范圍為20～40℃。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，所述第二管道具有一第二包圍結(jié)構(gòu)段，所述第二包圍結(jié)構(gòu)段包圍所述近端容器。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，所述第二管道具有一第一旁路結(jié)構(gòu)，所述第一旁路結(jié)構(gòu)用于繞開所述過濾器。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，所述第二管道具有一第二旁路結(jié)構(gòu)，所述第二旁路結(jié)構(gòu)用于繞開所述泵。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，所述第二管道的輸入口設(shè)置于所述第二管道鄰近所述噴頭的一端；

所述第二管道的輸出口設(shè)置于所述第二管道鄰近所述光刻膠容器的一端。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，所述加熱介質(zhì)為溫度為22℃或23℃的水。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，還包括：

第三管道，分別連接所述預(yù)存容器、所述過濾器以及所述近端容器，用于排放所述預(yù)存容器和/或所述過濾器和/或所述近端容器內(nèi)的所述光刻膠。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，還包括：

溫度傳感器，設(shè)置于所述泵與所述噴頭之間，用于采集所述泵與所述噴頭之間的所述光刻膠的溫度并輸出作為反饋。

上述的光刻膠管路設(shè)計，其中，所述溫度控制室內(nèi)的溫度控制范圍為-20～25℃。

有益效果：本發(fā)明中的光刻膠管路設(shè)計能夠在不影響光刻膠的噴涂的同時提高光刻膠的使用有效期。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實施例中光刻膠管路設(shè)計的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明一實施例中第二管道包裹第一管道的剖面示意圖；

圖3為本發(fā)明一實施例中第二管道包裹預(yù)存容器的剖面示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明。

在一個較佳的實施例中，如圖1所示，提出了一種光刻膠管路設(shè)計，其中，應(yīng)用于光刻膠涂布機中；包括：

光刻膠容器10，放置于一溫度控制室rm內(nèi)；

光刻膠容器10包括一進(jìn)氣口11和一出膠口12，進(jìn)氣口11用于通入氣體將光刻膠容器10內(nèi)的光刻膠從出膠口12壓出；

第一管道l1，依次連接光刻膠容器10的出膠口12、一預(yù)存容器20、一過濾器30、一近端容器40、一泵50以及一噴頭60；

第一管道l1外包裹有第二管道l2，第二管道l2用于通入加熱介質(zhì)對第一管道l1進(jìn)行加熱。

上述技術(shù)方案中，第一管道l1可以有多個或者是一組管道，用于連接在預(yù)存容器20與過濾器30之間，以及過濾器30與近端容器40之間，以及近端容器40與泵50之間，以及泵50與噴頭60之間，起傳輸光刻膠的作用；第一管道l1外包裹有第二管道l2，該第二管道l2應(yīng)為密封的管道，應(yīng)盡可能將暴露出的第一管道l1全部包覆在內(nèi)使得第一管道l1的受熱面積最大，這樣即使光刻膠保存在光刻膠容器10內(nèi)，也可以在第二管道l2內(nèi)的加熱介質(zhì)的加熱下回復(fù)至適于噴涂的溫度；第一管道l1在預(yù)存容器20、過濾器30、近端容器40以及泵50的位置處可以是分?jǐn)嗟?，第二管道l2可以是單根管道或者一組管道；預(yù)存容器20可以用于對光刻膠進(jìn)行預(yù)存儲。

在一個較佳的實施例中，如圖1所示，第二管道l2具有一第一包圍結(jié)構(gòu)段sd1，第一包圍結(jié)構(gòu)段sd1包圍預(yù)存容器20。

上述技術(shù)方案中，第二管道l2對第一管道l1的包裹應(yīng)為軸向的包裹，即第二管道l2與第一管道l1的走向一致；但是預(yù)存容器20一般并非是管狀的，為了使得第二管道l2內(nèi)的加熱介質(zhì)的加熱能力被充分利用，可以將第二管道l2上設(shè)置第一包圍結(jié)構(gòu)段，用于包圍預(yù)存容器20以對預(yù)存容器20進(jìn)行加熱，設(shè)置成包圍結(jié)構(gòu)的目的是與預(yù)存容器20的形狀相匹配；第一包圍結(jié)構(gòu)段sd1可以呈容器形狀，其剖面圖可以如圖3所示；第二管道l2包裹第一管道l1的剖面圖可以如圖2所示。

作為優(yōu)選的實施方式，還可以包括：

加熱裝置ht，鄰近預(yù)存容器20和/或第一包圍結(jié)構(gòu)sd1段設(shè)置，用于對預(yù)存容器20和/或第一包圍結(jié)構(gòu)段sd1進(jìn)行加熱。

作為優(yōu)選的實施方式，加熱裝置ht覆蓋預(yù)存容器20的側(cè)面、底面和頂面，但這只是一種優(yōu)選的方式，加熱裝置ht也可以是其他設(shè)置方式，能夠盡可能最大程度地對預(yù)存容器20進(jìn)行熱輻射即可，并且加熱裝置ht可以與預(yù)存容器20接觸或不接觸。

作為優(yōu)選的實施方式，加熱裝置ht的加熱范圍為20～40℃。

在一個較佳的實施例中，第二管道l2具有一第二包圍結(jié)構(gòu)段sd2，第二包圍結(jié)構(gòu)段包圍近端容器40。

上述技術(shù)方案中，第二包圍結(jié)構(gòu)段sd2可以呈容器形狀。

在一個較佳的實施例中，第二管道l2具有一第一旁路結(jié)構(gòu)tw1，第一旁路結(jié)構(gòu)tw1用于繞開過濾器30。

在一個較佳的實施例中，第二管道l2具有一第二旁路結(jié)構(gòu)tw2，第二旁路結(jié)構(gòu)tw2用于繞開泵50。

在一個較佳的實施例中，第二管道l2的輸入口設(shè)置于第二管道l2鄰近噴頭60的一端；

第二管道l2的輸出口設(shè)置于第二管道l2鄰近光刻膠容器10的一端。

上述技術(shù)方案能夠避免第二管道l2內(nèi)的加熱介質(zhì)在傳輸?shù)倪^程中產(chǎn)生的熱量損失導(dǎo)致的光刻膠在噴頭60處未能達(dá)到指定溫度的情況。

在一個較佳的實施例中，加熱介質(zhì)為溫度為22℃或23℃的水，但這只是優(yōu)選的情況，不應(yīng)視為是對本發(fā)明的限制。

在一個較佳的實施例中，還可以包括：

第三管道dr，分別連接預(yù)存容器20、過濾器30以及近端容器40，用于排放預(yù)存容器20和/或過濾器30和/或近端容器40內(nèi)的光刻膠。

在一個較佳的實施例中，如圖1所示，還可以包括：

溫度傳感器ss，設(shè)置于泵50與噴頭60之間，用于采集泵50與噴頭60之間的光刻膠的溫度并輸出作為反饋。

上述技術(shù)方案中，溫度傳感器ss可以與噴頭60連接，例如與噴頭60上的微型處理器連接，以控制噴頭60在溫度傳感器ss處采集的溫度未達(dá)到某標(biāo)的值時無法噴出；溫度傳感器ss與噴頭60的距離一般小于20cm。

在一個較佳的實施例中，如圖1所示，還可以包括：

加熱裝置ht，包圍預(yù)存容器20的外部，用于對預(yù)存容器20的外部進(jìn)行加熱，以對預(yù)存容器20內(nèi)的光刻膠進(jìn)行加熱。

在一個較佳的實施例中，溫度控制室rm內(nèi)的溫度控制范圍為-20～25℃。

通過說明和附圖，給出了具體實施方式的特定結(jié)構(gòu)的典型實施例，基于本發(fā)明精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。

對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。