本發(fā)明涉及tft-lcd技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種tft-lcd顯示用顯影液。
背景技術(shù)：
一般在液晶顯示器、印刷電路板和集成電路等制備工藝中，為獲得精細(xì)圖形，常用光刻膠等放射線(xiàn)敏感組成物以涂布方式在基材上形成薄膜，經(jīng)過(guò)曝光后，以堿性顯影液顯像，去除不要的涂膜部分，以獲取良好的圖形。
在這些平板印刷工序中，通過(guò)曝光把畫(huà)有電路圖案的掩膜轉(zhuǎn)移到晶片上的光刻膠上，接著使上述光刻膠的曝光面與顯影液接觸，對(duì)于正性，曝光的部分溶解于顯影液，而對(duì)于負(fù)性，未曝光區(qū)溶解于顯影液。
顯影工藝的第一個(gè)目的是未曝光的正性抗蝕劑膜應(yīng)受顯影劑腐蝕程度最小。實(shí)際的顯影總是對(duì)未曝光的抗蝕劑有某種程度的腐蝕，但由于曝光區(qū)和未曝光區(qū)的溶解度不同，使得抗蝕劑工藝可行。實(shí)際上，選擇范圍更大的顯影劑也花更長(zhǎng)時(shí)間以完全顯影圖像。這樣，選擇顯影劑時(shí)，就必須綜合考慮不同的溶解度和產(chǎn)能。應(yīng)選擇一顯影劑其產(chǎn)能滿(mǎn)足要求且不引起過(guò)分的抗蝕劑變薄。另外，顯影劑也應(yīng)有足夠的容度以使工藝能在生長(zhǎng)環(huán)境中維持。
進(jìn)行顯影有三種主要方法：浸入、噴淋和攪動(dòng)顯影。
然而根據(jù)已知顯影液的技術(shù)，感光性抗蝕劑在涂膜并預(yù)烤、曝光后，雖可用堿性顯影液來(lái)溶解除去未曝光而不要的涂膜部份，但在顯影時(shí)容易產(chǎn)生未顯影部位粒子或未溶解物的殘存，因此顯影后比較難以形成精細(xì)的圖像，從而無(wú)法滿(mǎn)足市場(chǎng)的需求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明旨在提供了一種tft-lcd顯示用顯影液。
本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
一種tft-lcd顯示用顯影液，所述顯影液由以下重量份數(shù)的組分構(gòu)成：堿性化合物22-26份、非離子表面活性劑7-14份、滲透劑9-15份和去離子水42-54份。
所述堿性化合物為無(wú)機(jī)堿性化合物或有機(jī)堿性化合物；其中，無(wú)機(jī)堿性化合物為：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、碳酸鹽中的一種或幾種；有機(jī)堿性化合物為：?jiǎn)渭谆贰⒍谆?、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、單乙醇二甲基胺中的一種或幾種。
所述非離子表面活性劑選自椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和蓖麻油聚氧乙烯醚中的至少一種。
所述滲透劑為聚氧乙烯醚類(lèi)滲透劑中的聚氧乙烷和高級(jí)脂肪醇的縮合物或磷酸酯。
所述去離子水是經(jīng)過(guò)離子交換樹(shù)脂過(guò)濾的水，其電阻至少是18mω。
所述所述去離子水中，總金屬離子濃度不大于4000納克/l，優(yōu)選不大于500納克/l，更優(yōu)選不大于50納克/l。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的顯影液克服了現(xiàn)有顯影液在使用時(shí)不能同時(shí)兼顧顯影性、消泡性、分散穩(wěn)定性及操作溫度范圍窄的缺點(diǎn)，該顯影液無(wú)需添加消泡劑，具有顯影性能好、無(wú)殘?jiān)?、操作溫度范圍寬、環(huán)境污染少等特點(diǎn)，在感光性樹(shù)脂的顯影制備工藝中，具有非常重要和廣泛的應(yīng)用；同時(shí)本發(fā)明的顯影液具有顯像性良好，避免殘?jiān)?，具有低毒性、不具易燃性、以及管理容易、廢液處理簡(jiǎn)便及成本低廉等優(yōu)點(diǎn)。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
實(shí)施例1一種tft-lcd顯示用顯影液，所述顯影液由以下重量份數(shù)的組分構(gòu)成：堿性化合物22份、非離子表面活性劑7份、滲透劑9份和去離子水42份。
所述堿性化合物為無(wú)機(jī)堿性化合物或有機(jī)堿性化合物；其中，無(wú)機(jī)堿性化合物為：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、碳酸鹽中的一種或幾種；有機(jī)堿性化合物為：?jiǎn)渭谆?、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、單乙醇二甲基胺中的一種或幾種。
所述非離子表面活性劑選自椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和蓖麻油聚氧乙烯醚中的至少一種。
所述滲透劑為聚氧乙烯醚類(lèi)滲透劑中的聚氧乙烷和高級(jí)脂肪醇的縮合物或磷酸酯。
所述去離子水是經(jīng)過(guò)離子交換樹(shù)脂過(guò)濾的水，其電阻至少是18mω。
所述去離子水中，總金屬離子濃度不大于4000納克/l，優(yōu)選不大于500納克/l，更優(yōu)選不大于50納克/l。
實(shí)施例2一種tft-lcd顯示用顯影液，所述顯影液由以下重量份數(shù)的組分構(gòu)成：堿性化合物26份、非離子表面活性劑14份、滲透劑15份和去離子水54份。
所述堿性化合物為無(wú)機(jī)堿性化合物或有機(jī)堿性化合物；其中，無(wú)機(jī)堿性化合物為：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、碳酸鹽中的一種或幾種；有機(jī)堿性化合物為：?jiǎn)渭谆?、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、單乙醇二甲基胺中的一種或幾種。
所述非離子表面活性劑選自椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和蓖麻油聚氧乙烯醚中的至少一種。
所述滲透劑為聚氧乙烯醚類(lèi)滲透劑中的聚氧乙烷和高級(jí)脂肪醇的縮合物或磷酸酯。
所述去離子水是經(jīng)過(guò)離子交換樹(shù)脂過(guò)濾的水，其電阻至少是18mω。
所述去離子水中，總金屬離子濃度不大于4000納克/l，優(yōu)選不大于500納克/l，更優(yōu)選不大于50納克/l。
實(shí)施例3一種tft-lcd顯示用顯影液，所述顯影液由以下重量份數(shù)的組分構(gòu)成：堿性化合物24份、非離子表面活性劑11份、滲透劑12份和去離子水48份。
所述堿性化合物為無(wú)機(jī)堿性化合物或有機(jī)堿性化合物；其中，無(wú)機(jī)堿性化合物為：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、碳酸鹽中的一種或幾種；有機(jī)堿性化合物為：?jiǎn)渭谆?、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、單乙醇二甲基胺中的一種或幾種。
所述非離子表面活性劑選自椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和蓖麻油聚氧乙烯醚中的至少一種。
所述滲透劑為聚氧乙烯醚類(lèi)滲透劑中的聚氧乙烷和高級(jí)脂肪醇的縮合物或磷酸酯。
所述去離子水是經(jīng)過(guò)離子交換樹(shù)脂過(guò)濾的水，其電阻至少是18mω。
所述去離子水中，總金屬離子濃度不大于4000納克/l，優(yōu)選不大于500納克/l，更優(yōu)選不大于50納克/l。
對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于所述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。因此，無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是所述說(shuō)明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說(shuō)明書(shū)按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說(shuō)明書(shū)的這種敘述方式僅僅是為清楚起見(jiàn)，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書(shū)作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。