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      基于磁場可調控閃耀光柵的制造方法與流程

      文檔序號:11233211閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      技術總結
      本發(fā)明公開了一種基于磁場可調控閃耀光柵的制造方法,包括以下步驟:硅模具的制造:在清洗干凈的硅片表面濺射一層金屬薄膜A,然后涂膠、曝光、顯影、腐蝕金屬薄膜A、干法刻蝕硅制備硅模具A;按照同樣的步驟,制備模具B;翻模制備柔性磁性聚合物柵線;反射面的制造:將配置好的聚合物混合物涂覆在模具B表面,再施加一個襯底,加熱固化聚合物,脫模得到柔性聚合物柵線,在柔性聚合物柵線表面濺射沉積厚度為20~300nm金屬薄膜C得到反射面;利用磁場調控反射面的轉移,實現(xiàn)閃耀光柵閃耀角的調控。本發(fā)明利用磁場精確調控閃耀光柵的閃耀角;本發(fā)明具備可精確調控閃耀角、響應快、成本低等優(yōu)點。

      技術研發(fā)人員:史永勝;劉紅忠;尹磊;陳邦道
      受保護的技術使用者:常州瑞豐特科技有限公司
      技術研發(fā)日:2017.06.27
      技術公布日:2017.09.12
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