技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種曝光機(jī)及遮光葉片。該曝光機(jī)通過在第一前遮光葉片的豎直部中設(shè)置開口，使得第一前遮光葉片移動時空氣可通過所述開口流動，進(jìn)而減少第一前遮光葉片移動時第一前遮光葉片與光罩保護(hù)膜之間的氣壓下降，避免光罩保護(hù)膜被刮蹭，并通過在所述開口的頂部和側(cè)部設(shè)置遮光板，避免曝光所用的紫外光從所述開口泄漏出去，保證第一前遮光葉片的遮光效果和曝光機(jī)的曝光效果，防止圖形異常。

技術(shù)研發(fā)人員：王維;林明文;江敏成;許俊安;熊定;蔡在秉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市華星光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.17
技術(shù)公布日：2017.09.29