技術特征：

技術總結
一種MEMS超環(huán)面微鏡光開關,使用超環(huán)面微鏡作為光學反射模塊，從發(fā)射端光纖射出的發(fā)散光，被超環(huán)面鏡反射并會聚到接收端光纖中。超環(huán)面微鏡通過MEMS工藝，使用漸變曝光的光刻方式批量生產(chǎn)，并使用多點電致伸縮材料支撐柱改變該微鏡的角度。使用本發(fā)明提供的結構，可實現(xiàn)低插入損耗，高光學耦合效率，低串擾，高機械穩(wěn)定性的高質(zhì)量光開光，在光纖通訊和高端光纖傳感器的應用中，具有重要作用。

技術研發(fā)人員：田志鵬
受保護的技術使用者：田志鵬
技術研發(fā)日：2017.07.27
技術公布日：2017.09.29