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      金屬超材料波片的制作方法

      文檔序號(hào):11215183閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明提供了一種金屬超材料波片,包括:介質(zhì)襯底;金屬超材料層,設(shè)置于介質(zhì)襯底上;該金屬超材料層包括金屬顆粒周期性陣列;介質(zhì)包覆層,設(shè)置于金屬超材料層上,用于提供阻抗匹配;其中,金屬顆粒周期性陣列中的金屬顆粒按矩形陣列排布;金屬顆粒周期性陣列中的每個(gè)金屬顆粒至少包含一對(duì)平行的光滑平面?zhèn)缺?,用于在垂直于光滑平面?zhèn)缺诜较虻南噜徑饘兕w粒之間形成法布里珀羅諧振腔。本發(fā)明一種金屬超材料波片,具備了轉(zhuǎn)換效率高、工作波段寬、易于集成化、易于制備的特點(diǎn)。

      技術(shù)研發(fā)人員:韋欣;胡曉斌;宋國(guó)峰;李健
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
      技術(shù)研發(fā)日:2017.08.01
      技術(shù)公布日:2017.10.10
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