1.一種量測(cè)系統(tǒng)，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，約50%的所述輻射透射穿過(guò)所述至少一個(gè)多孔圖案的兩個(gè)透射象限，所述兩個(gè)透射象限形成所述至少一個(gè)多孔圖案的所述透射部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，來(lái)自所述衍射光柵目標(biāo)的正第一衍射階衍射輻射和負(fù)第一衍射階衍射輻射由所述至少多孔圖案上的兩個(gè)反射象限反射，所述兩個(gè)反射象限位于所述光學(xué)元件的背側(cè)或不面向輻射源的一側(cè)上，所述兩個(gè)反射象限形成所述至少一個(gè)多孔圖案的所述反射部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述光學(xué)元件為照射模式選擇器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述照射模式選擇器能夠移動(dòng)以促進(jìn)從其它不同的可能的多孔圖案中選擇所述至少一個(gè)多孔圖案。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述照射模式選擇器為可旋轉(zhuǎn)輪，在所述可旋轉(zhuǎn)輪中形成有所述至少一個(gè)多孔圖案和所述其它不同的可能的多孔圖案。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一項(xiàng)所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)多孔圖案包括四個(gè)象限，其中，相對(duì)的第一象限和第三象限包括形成所述透射部分的兩個(gè)相對(duì)的孔，并且相對(duì)的第二象限和第四象限包括所述至少一個(gè)多孔圖案的所述反射部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述兩個(gè)相對(duì)的孔被配置成：將所述輻射拆分成第一子束和第二子束，引導(dǎo)所述第一子束穿過(guò)所述量測(cè)系統(tǒng)的第一光學(xué)支路以形成第一斑，以及引導(dǎo)所述第二子束穿過(guò)所述量測(cè)系統(tǒng)的第二光學(xué)支路以形成第二斑。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述反射部分被配置成使衍射的正一階輻射和負(fù)一階輻射沿著所述第二光學(xué)路徑反射通過(guò)所述量測(cè)系統(tǒng)的檢測(cè)器支路并反射至所述檢測(cè)器；其中所述檢測(cè)器被配置成接收所述衍射的一階輻射且產(chǎn)生檢測(cè)信號(hào)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的量測(cè)系統(tǒng)，還包括配置成透射來(lái)自所述至少一個(gè)多孔圖案的所述透射部分的透射輻射的對(duì)準(zhǔn)支路分束器，其中，所述對(duì)準(zhǔn)支路分束器與所述檢測(cè)器支路不位于共同路徑中。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述對(duì)準(zhǔn)支路分束器為透射型光學(xué)立方體。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述對(duì)準(zhǔn)支路分束器定位在所述光學(xué)元件與所述衍射光柵目標(biāo)之間，并且其中所述光學(xué)元件未聯(lián)接至所述量測(cè)系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)支路。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中的任一項(xiàng)所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述至少一個(gè)多孔圖案包括形成所述透射部分的兩個(gè)相對(duì)的孔，每個(gè)相對(duì)的孔包括被成形為圓的扇區(qū)的孔口。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中的任一項(xiàng)所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述光學(xué)元件被配置成替換所述量測(cè)系統(tǒng)中的四象限非偏振分束器。
15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中的任一項(xiàng)所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述反射部分是通過(guò)將反射涂層涂覆在光學(xué)元件的主體的被選擇的部分上而被形成的。
16.根據(jù)權(quán)利要求1至15中的任一項(xiàng)所述的量測(cè)系統(tǒng)，還包括所述輻射源，所述輻射源被配置成產(chǎn)生沿著所述第一光學(xué)路徑的所述輻射。
17.根據(jù)權(quán)利要求1至16中的任一項(xiàng)所述的量測(cè)系統(tǒng)，還包括所述檢測(cè)器，所述檢測(cè)器被配置成從在衍射光柵目標(biāo)上的第一照射斑和第二照射斑接收衍射和反射的一階輻射且產(chǎn)生檢測(cè)信號(hào)。
18.根據(jù)權(quán)利要求1至17中的任一項(xiàng)所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述光學(xué)元件形成對(duì)準(zhǔn)傳感器和/或重疊檢測(cè)傳感器的一部分。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的量測(cè)系統(tǒng)，其中，所述對(duì)準(zhǔn)傳感器和/或所述重疊檢測(cè)傳感器被配置用于半導(dǎo)體晶片并在半導(dǎo)體制造過(guò)程中被使用。
20.一種量測(cè)系統(tǒng)，包括：