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      一種多功能硅基光電子器件

      文檔序號:39621421發(fā)布日期:2024-10-11 13:40閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,對波導進行摻雜,摻雜后的波導共用一塊電極。

      2.根據權利要求1所述的一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,所述對波導進行摻雜,具體是在波導的兩側分別采用兩種及以上的方式進行摻雜;所述摻雜中至少需同時包括一種不同類型摻雜和一種同類型摻雜;所述不同類型摻雜為pin型,p摻雜為p++、p+、p中的一種或者是多種組合,n摻雜為n++、n+、n中的一種或者是多種組合;所述同類型摻雜包括nin型和pip型,n摻雜為n++、n+、n中的一種或者是多種組合,p摻雜為p++、p+、p中的一種或者是多種組合。

      3.根據權利要求1所述的一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,在波導的同一側采用同一塊電極。

      4.根據權利要求1-3任一項所述的一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,包括襯底(1-1)、設于襯底(1-1)上的光波導(1-2)、摻雜區(qū)i(1-3)和摻雜區(qū)ii(1-5),設于光波導(1-2)上的相變材料(1-4),設于光波導(1-2)、摻雜區(qū)i(1-3)、相變材料(1-4)和摻雜區(qū)ii(1-5)上的電介質包層(2-3),設于電介質包層(2-3)上的電極(2-1);所述電介質包層(2-3)內設有通孔結構(2-2),所述通孔結構(2-2)用于連接摻雜區(qū)i(1-3)、摻雜區(qū)ii(1-5)與電極(2-1);所述摻雜區(qū)i(1-3)和摻雜區(qū)ii(1-5)的摻雜方式不同。

      5.根據權利要求4所述的一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,所述的電極(2-1)和通孔結構(2-2)的材料為金屬電極。

      6.根據權利要求4所述的一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,所述的相變材料(1-4)是由ge、sb、se、te或s中任意兩種到四種元素組成的化合物,化合物中摻雜有非金屬元素和金屬元素。

      7.一種多功能硅基光電子器件的使用方法,其特征在于,所述使用方法具體為:


      技術總結
      本發(fā)明公開了一種多功能硅基光電子器件,所述光電子器件對波導進行摻雜,摻雜后的波導共用一塊電極。所述對波導進行摻雜,具體是在波導的兩側分別采用兩種及以上的方式進行摻雜;所述摻雜中至少需同時包括一種不同類型摻雜和一種同類型摻雜;所述不同類型摻雜為PIN型,所述同類型摻雜包括NIN型和PIP型;其中,N摻雜為N++、N+、N中的一種或者是多種組合,P摻雜為P++、P+、P中的一種或者是多種組合。本發(fā)明通過多摻雜區(qū)復用解決相變集成可重構光器件的相位誤差瓶頸,在保持較低功耗的同時,實現存內計算并提升非易失性可編程光網絡的精確性;通過共用電極簡化器件結構,提高集成度、降低操控難度,為大規(guī)??删幊碳晒庾与娐钒l(fā)展奠定了基礎。

      技術研發(fā)人員:林宏燾,贠亦婷,李鈞穎
      受保護的技術使用者:浙江大學
      技術研發(fā)日:
      技術公布日:2024/10/10
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