1.一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,對波導進行摻雜,摻雜后的波導共用一塊電極。
2.根據權利要求1所述的一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,所述對波導進行摻雜,具體是在波導的兩側分別采用兩種及以上的方式進行摻雜;所述摻雜中至少需同時包括一種不同類型摻雜和一種同類型摻雜;所述不同類型摻雜為pin型,p摻雜為p++、p+、p中的一種或者是多種組合,n摻雜為n++、n+、n中的一種或者是多種組合;所述同類型摻雜包括nin型和pip型,n摻雜為n++、n+、n中的一種或者是多種組合,p摻雜為p++、p+、p中的一種或者是多種組合。
3.根據權利要求1所述的一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,在波導的同一側采用同一塊電極。
4.根據權利要求1-3任一項所述的一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,包括襯底(1-1)、設于襯底(1-1)上的光波導(1-2)、摻雜區(qū)i(1-3)和摻雜區(qū)ii(1-5),設于光波導(1-2)上的相變材料(1-4),設于光波導(1-2)、摻雜區(qū)i(1-3)、相變材料(1-4)和摻雜區(qū)ii(1-5)上的電介質包層(2-3),設于電介質包層(2-3)上的電極(2-1);所述電介質包層(2-3)內設有通孔結構(2-2),所述通孔結構(2-2)用于連接摻雜區(qū)i(1-3)、摻雜區(qū)ii(1-5)與電極(2-1);所述摻雜區(qū)i(1-3)和摻雜區(qū)ii(1-5)的摻雜方式不同。
5.根據權利要求4所述的一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,所述的電極(2-1)和通孔結構(2-2)的材料為金屬電極。
6.根據權利要求4所述的一種多功能硅基光電子器件,其特征在于,所述的相變材料(1-4)是由ge、sb、se、te或s中任意兩種到四種元素組成的化合物,化合物中摻雜有非金屬元素和金屬元素。
7.一種多功能硅基光電子器件的使用方法,其特征在于,所述使用方法具體為: