1.一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,包括主體(1)、安裝板(2)、模板(3)和襯底(4),其特征在于:所述安裝板(2)設置有兩個,模板(3)和襯底(4)安裝在安裝板(2)上相對的一側(cè)表面,兩個所述安裝板(2)之間通過平行機構(gòu)和驅(qū)動機構(gòu)進行連接,所述平行機構(gòu)讓模板(3)和襯底(4)始終保持平行狀態(tài),所述驅(qū)動機構(gòu)控制模板(3)和襯底(4)之間相互靠近;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述錯位檢測機構(gòu)包括設置在安裝板(2)上的電磁鐵(7),所述電磁鐵(7)安裝在安裝板(2)上相對的一側(cè)表面上;
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述安裝板(2)由固定板(201)和活動板(202)構(gòu)成,所述固定板(201)與平行機構(gòu)相連接,所述活動板(202)與固定板(201)滑動連接;
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述活動板(202)上設置有至少兩組電磁鐵(7),每組有兩個電磁鐵(7),若干組所述電磁鐵(7)分布在模板(3)和襯底(4)的四周,每組兩個所述電磁鐵(7)關于活動板(202)的中軸線所在的平面對稱設置,一側(cè)所述電磁鐵(7)與活動板(202)滑動連接,所述活動板(202)上開設有供電磁鐵(7)的滑槽,所述滑槽內(nèi)部靠近活動板(202)邊緣的一側(cè)設置有磁石(701),所述電磁鐵(7)與活動板(202)之間設置調(diào)節(jié)彈簧(702);
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述平行機構(gòu)包括兩個主板(5),所述主板(5)與主體(1)固定連接,所述主板(5)與安裝板(2)通過兩根平行的連桿活動連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述驅(qū)動機構(gòu)包括套桿(6),所述套桿(6)的上下兩端與兩個安裝板(2)滑動連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述驅(qū)動機構(gòu)還包括螺紋套、螺紋桿和驅(qū)動電機,所述驅(qū)動電機通過聯(lián)軸器與螺紋桿連接,所述螺紋套與套桿(6)相連接,螺紋套與螺紋桿之間嚙合連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述驅(qū)動機構(gòu)還包括驅(qū)動桿(601),所述驅(qū)動桿(601)的兩端分別與主體(1)和套桿(6)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:驅(qū)動桿(601)和套桿(6)之間設置有連接彈簧(602)。