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      一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備的制作方法

      文檔序號:39618329發(fā)布日期:2024-10-11 13:33閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,包括主體(1)、安裝板(2)、模板(3)和襯底(4),其特征在于:所述安裝板(2)設置有兩個,模板(3)和襯底(4)安裝在安裝板(2)上相對的一側(cè)表面,兩個所述安裝板(2)之間通過平行機構(gòu)和驅(qū)動機構(gòu)進行連接,所述平行機構(gòu)讓模板(3)和襯底(4)始終保持平行狀態(tài),所述驅(qū)動機構(gòu)控制模板(3)和襯底(4)之間相互靠近;

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述錯位檢測機構(gòu)包括設置在安裝板(2)上的電磁鐵(7),所述電磁鐵(7)安裝在安裝板(2)上相對的一側(cè)表面上;

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述安裝板(2)由固定板(201)和活動板(202)構(gòu)成,所述固定板(201)與平行機構(gòu)相連接,所述活動板(202)與固定板(201)滑動連接;

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述活動板(202)上設置有至少兩組電磁鐵(7),每組有兩個電磁鐵(7),若干組所述電磁鐵(7)分布在模板(3)和襯底(4)的四周,每組兩個所述電磁鐵(7)關于活動板(202)的中軸線所在的平面對稱設置,一側(cè)所述電磁鐵(7)與活動板(202)滑動連接,所述活動板(202)上開設有供電磁鐵(7)的滑槽,所述滑槽內(nèi)部靠近活動板(202)邊緣的一側(cè)設置有磁石(701),所述電磁鐵(7)與活動板(202)之間設置調(diào)節(jié)彈簧(702);

      5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述平行機構(gòu)包括兩個主板(5),所述主板(5)與主體(1)固定連接,所述主板(5)與安裝板(2)通過兩根平行的連桿活動連接。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述驅(qū)動機構(gòu)包括套桿(6),所述套桿(6)的上下兩端與兩個安裝板(2)滑動連接。

      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述驅(qū)動機構(gòu)還包括螺紋套、螺紋桿和驅(qū)動電機,所述驅(qū)動電機通過聯(lián)軸器與螺紋桿連接,所述螺紋套與套桿(6)相連接,螺紋套與螺紋桿之間嚙合連接。

      8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:所述驅(qū)動機構(gòu)還包括驅(qū)動桿(601),所述驅(qū)動桿(601)的兩端分別與主體(1)和套桿(6)連接。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,其特征在于:驅(qū)動桿(601)和套桿(6)之間設置有連接彈簧(602)。


      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開了一種附帶穩(wěn)定驅(qū)動機構(gòu)的納米壓印設備,涉及納米壓印技術(shù)領域,包括主體、安裝板、模板和襯底,所述安裝板設置有兩個,模板和襯底安裝在安裝板上相對的一側(cè)表面,兩個所述安裝板之間通過平行機構(gòu)和驅(qū)動機構(gòu)進行連接,所述平行機構(gòu)讓模板和襯底始終保持平行狀態(tài),所述驅(qū)動機構(gòu)控制模板和襯底之間相互靠近,所述安裝板上安裝有錯位檢測機構(gòu),所述錯位檢測機構(gòu)用于檢測模板和襯底在接觸之前是否產(chǎn)生錯位。本發(fā)明通過利用平行四邊形原理,使得模板和襯底在壓印過程中,始終保持相對平行的狀態(tài),同時配合電磁鐵產(chǎn)生的磁場,在壓印之前,不斷調(diào)整模板和襯底的相對位置,以保證精確壓印。

      技術(shù)研發(fā)人員:周奕杰,張凱凱,楊天舒
      受保護的技術(shù)使用者:南通納科達聚氨酯科技有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2024/10/10
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