本發(fā)明涉及pcb板生產(chǎn)，具體涉及一種曝光機(jī)。

背景技術(shù)：

1、曝光機(jī)是半導(dǎo)體制造、pcb板生產(chǎn)以及其他需要精密圖案轉(zhuǎn)移工藝中的重要設(shè)備，它主要用于將掩膜版上的圖案精確地轉(zhuǎn)移到感光性材料上。一般來說，曝光機(jī)主要包括光源系統(tǒng)、掩膜版、承載系統(tǒng)，使用時(shí)，pcb板放置在承載系統(tǒng)上，光源系統(tǒng)發(fā)射的光會(huì)穿過掩膜版將圖案投影到pcb板的感光材料上。

2、現(xiàn)有技術(shù)中通常需要對(duì)pcb板的兩側(cè)均進(jìn)行曝光，常規(guī)的做法是設(shè)置兩臺(tái)曝光機(jī)并在兩臺(tái)曝光機(jī)之間設(shè)置翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，pcb板先進(jìn)入其中一臺(tái)曝光機(jī)進(jìn)行單面曝光，之后進(jìn)入翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行翻面，再進(jìn)入另一臺(tái)曝光機(jī)進(jìn)行另一面曝光。但常規(guī)的做法存在一些弊端，比如兩臺(tái)曝光機(jī)的成本高、占地面積大等，為此，對(duì)于兩面圖案相同的pcb板而言，目前通常采用單機(jī)雙面曝光的方式，即采用一臺(tái)曝光機(jī)對(duì)pcb板進(jìn)行兩面曝光。

3、申請(qǐng)公布號(hào)為cn115220310a的專利申請(qǐng)文件公開了一種全自動(dòng)直寫式曝光系統(tǒng)，其包括曝光裝置，曝光裝置的左側(cè)設(shè)有第一工作臺(tái)、右側(cè)設(shè)有第二工作臺(tái)，第一工作臺(tái)的左側(cè)設(shè)有上料裝置，第二工作臺(tái)的右側(cè)設(shè)有下料裝置，曝光裝置的前后一側(cè)設(shè)有翻轉(zhuǎn)裝置和移栽裝置，曝光裝置還包括實(shí)現(xiàn)基件轉(zhuǎn)移的抓料裝置。使用時(shí)，左側(cè)的抓料裝置將上料裝置上的基件抓到第一工作臺(tái)上，第一工作臺(tái)帶動(dòng)基件移動(dòng)至曝光裝置下方并進(jìn)行第一面曝光，然后第一工作臺(tái)反向移動(dòng)，抓料裝置將單面曝光后的基件轉(zhuǎn)移到翻轉(zhuǎn)裝置上進(jìn)行翻面，翻轉(zhuǎn)裝置再將基件轉(zhuǎn)移到移栽裝置上，移栽裝置帶動(dòng)基件移動(dòng)至右側(cè)；右側(cè)的抓料裝置將移栽裝置上的基件轉(zhuǎn)移到第二工作臺(tái)上，第二工作臺(tái)帶動(dòng)基件移動(dòng)至曝光裝置下方并進(jìn)行第二面曝光，然后第二工作臺(tái)反向移動(dòng)，右側(cè)的抓料裝置再將第二工作臺(tái)上的基件轉(zhuǎn)移到下料裝置上。在第一面曝光后的基件在翻轉(zhuǎn)和向右輸送的過程中，左側(cè)的抓料裝置可以繼續(xù)搬運(yùn)下一個(gè)基件使其進(jìn)行第一面的曝光，之后第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)交替進(jìn)入曝光裝置內(nèi)，實(shí)現(xiàn)交替工作，提高工作效率。

4、現(xiàn)有技術(shù)中，為了提高工作效率，在曝光裝置的兩側(cè)均進(jìn)行上料、下料，并在曝光裝置的外部設(shè)置翻轉(zhuǎn)裝置、移栽裝置實(shí)現(xiàn)了基件在曝光裝置外部進(jìn)行翻轉(zhuǎn)和轉(zhuǎn)移，但這種方式需要在曝光裝置的外部額外增加移栽裝置，導(dǎo)致整個(gè)曝光機(jī)的占地面積較大。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供一種曝光機(jī)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中在進(jìn)行單機(jī)雙面曝光時(shí)為了提高效率而在曝光裝置的外部設(shè)置移栽裝置，從而導(dǎo)致占地較大的技術(shù)問題。

2、本發(fā)明的一種曝光機(jī)，包括曝光機(jī)本體，左右兩側(cè)均設(shè)有供pcb板進(jìn)出的送料口，曝光機(jī)本體包括用于放置pcb板的承載系統(tǒng)，曝光機(jī)還包括兩個(gè)分置在曝光機(jī)本體左右兩側(cè)并與兩送料口一一對(duì)應(yīng)的翻轉(zhuǎn)模塊，翻轉(zhuǎn)模塊包括軸線前后延伸的翻轉(zhuǎn)架、安裝在翻轉(zhuǎn)架上的兩個(gè)輸送輥組以及沿前后方向夾持、松開pcb板的前后夾持機(jī)構(gòu)，兩輸送輥組之間形成供pcb板穿過的通道，兩輸送輥組均用于沿左右方向輸送pcb板；兩翻轉(zhuǎn)模塊均用于向曝光機(jī)本體送入未曝光的pcb板以及將雙面曝光的pcb板送出，承載系統(tǒng)包括固定平臺(tái)、左右滑動(dòng)的滑動(dòng)平臺(tái)以及設(shè)于滑動(dòng)平臺(tái)上的輸送機(jī)構(gòu)，輸送機(jī)構(gòu)用于沿左右方向輸送pcb板，滑動(dòng)平臺(tái)用于交替地接收兩翻轉(zhuǎn)模塊的pcb板，滑動(dòng)平臺(tái)具有中間曝光位和左右兩個(gè)極限位，處于極限位時(shí)翻轉(zhuǎn)模塊、輸送機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)以傳遞pcb板，滑動(dòng)平臺(tái)具有移動(dòng)至極限位以接收未曝光的pcb板的接料行程，以及攜帶未曝光的pcb板移動(dòng)至中間曝光位的一次曝光行程；還具有攜帶單面曝光的pcb板移動(dòng)至極限位并將pcb板輸送至翻轉(zhuǎn)模塊上以進(jìn)行翻面的翻面移動(dòng)行程，以及攜帶翻面后的pcb板移動(dòng)至中間曝光位的二次曝光行程；還具有攜帶雙面曝光的pcb板移動(dòng)至極限位以將pcb板送出的送料行程。

3、有益效果：本發(fā)明中，曝光本體的每一側(cè)均可以進(jìn)行未曝光pcb板的上料、單面曝光的pcb板的上料以及雙面曝光的pcb板的出料。當(dāng)滑動(dòng)平臺(tái)將單面曝光后的pcb板輸送至翻轉(zhuǎn)模塊時(shí)，翻轉(zhuǎn)模塊可以對(duì)pcb板進(jìn)行翻面并原地等待，滑動(dòng)平臺(tái)帶著輸送機(jī)構(gòu)來接收單面曝光的pcb板并進(jìn)行另一面的曝光，不需要在曝光機(jī)本體的外部設(shè)置移栽裝置來轉(zhuǎn)移單面曝光的pcb板，節(jié)省了空間。而在其中一個(gè)翻轉(zhuǎn)模塊進(jìn)行翻面、上下料時(shí)，滑動(dòng)平臺(tái)可以移動(dòng)至另一個(gè)翻轉(zhuǎn)模塊處來接收pcb板并攜帶pcb板進(jìn)行曝光，利用翻面時(shí)間、上下料的時(shí)間，尤其是占用時(shí)間較長(zhǎng)的上下料時(shí)間來進(jìn)行同步工作，節(jié)省了時(shí)間，提高了工作效率。

4、優(yōu)選的，輸送機(jī)構(gòu)包括前后布置的兩個(gè)安裝架，安裝架上設(shè)有左右依次布置的多個(gè)輸送輪，兩安裝架上的輸送輪用于夾持pcb板的前后兩側(cè)并帶動(dòng)pcb板左右移動(dòng)。

5、優(yōu)選的，所述承載系統(tǒng)還包括用于對(duì)pcb板進(jìn)行左右定位的左右定位機(jī)構(gòu)，左右定位機(jī)構(gòu)包括左右間隔布置的兩左右定位單元，各左右定位單元均包括沿左右方向滑動(dòng)安裝在滑動(dòng)平臺(tái)底部的滑移塊以及驅(qū)動(dòng)滑移塊左右移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件，還包括夾持件、扭簧和頂塊，兩定位單元的夾持件用于左右定位夾持pcb板，夾持件的中間位置繞前后延伸的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在滑移塊上，夾持件具有豎直狀態(tài)和水平狀態(tài)，頂塊設(shè)于固定平臺(tái)上，以在滑動(dòng)平臺(tái)由中間曝光位向極限位移動(dòng)時(shí)頂塊頂推夾持件轉(zhuǎn)動(dòng)至水平狀態(tài)，扭簧設(shè)于滑移塊與夾持件之間以對(duì)夾持件施加彈性力而使夾持件置于豎直狀態(tài)。

6、其效果在于：夾持件能夠?qū)cb板左右方向進(jìn)行夾緊居中定位。

7、優(yōu)選的，所述滑移塊上設(shè)有弧形限位槽，所述夾持件上設(shè)有穿入弧形限位槽中的限位柱，限位柱用于與弧形限位槽的一側(cè)槽壁擋止配合，以在扭簧驅(qū)動(dòng)夾持件擺動(dòng)時(shí)對(duì)夾持件的極限位置進(jìn)行限定而將夾持件保持在豎直狀態(tài)。

8、其效果在于：弧形限位槽能夠限制夾持件的轉(zhuǎn)動(dòng)，幫助其能夠在豎直與水平狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換。

9、優(yōu)選的，所述輸送機(jī)構(gòu)包括與各安裝架對(duì)應(yīng)的固定架，固定架固定安裝在滑動(dòng)平臺(tái)上，安裝架、固定架之間設(shè)有彈性部件，以使得安裝架沿前后方向浮動(dòng)裝配在固定架上。

10、優(yōu)選的，所述彈性部件包括安裝在固定架上的外筒以及安裝在安裝架上的內(nèi)滑柱，內(nèi)滑柱穿入外筒中，彈性部件還包括設(shè)于內(nèi)滑柱與外筒之間的彈簧。

11、其效果在于：能夠使得安裝架對(duì)pcb板前后方向進(jìn)行居中定位。

12、優(yōu)選的，所述前后夾持機(jī)構(gòu)包括固定在翻轉(zhuǎn)架上的固定板、設(shè)于固定板上并前后延伸的導(dǎo)軌、滑動(dòng)裝配在導(dǎo)軌上的兩前后定位單元以及驅(qū)動(dòng)兩前后定位單元同步相對(duì)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)組件。

13、優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)組件包括安裝在固定板上的電機(jī)以及擺動(dòng)板，擺動(dòng)板的中間位置與電機(jī)相連，驅(qū)動(dòng)組件還包括連接擺動(dòng)板兩端以及各定位架的驅(qū)動(dòng)連桿。

14、優(yōu)選的，所述前后定位單元包括滑動(dòng)安裝在導(dǎo)軌上的滑臺(tái)、固定于滑臺(tái)上的定位架，定位架包括位于兩排輸送輥組之間的定位桿以及連接滑臺(tái)與定位桿的l形的連接桿，l形的連接桿穿過同一輸送輥組中相鄰兩轉(zhuǎn)輥之間的間隔。

15、其效果在于：使得pcb板能夠在翻轉(zhuǎn)架上實(shí)現(xiàn)前后方向的居中定位，并在pcb板翻轉(zhuǎn)過程中對(duì)其夾緊。

16、優(yōu)選的，所述曝光機(jī)本體上對(duì)應(yīng)于各送料口均設(shè)有第一氣缸和密封板，第一氣缸設(shè)于曝光機(jī)本體上，第一氣缸用于驅(qū)動(dòng)密封板升降以開啟、關(guān)閉送料口。

17、本發(fā)明的有益效果為：曝光本體的每一側(cè)均可以進(jìn)行未曝光pcb板的上料、單面曝光的pcb板的上料以及雙面曝光的pcb板的出料。當(dāng)滑動(dòng)平臺(tái)將單面曝光后的pcb板輸送至翻轉(zhuǎn)模塊時(shí)，翻轉(zhuǎn)模塊可以對(duì)pcb板進(jìn)行翻面并原地等待，滑動(dòng)平臺(tái)帶著輸送機(jī)構(gòu)來接收單面曝光的pcb板并進(jìn)行另一面的曝光，不需要在曝光機(jī)本體的外部設(shè)置移栽裝置來轉(zhuǎn)移單面曝光的pcb板，節(jié)省了空間。而在其中一個(gè)翻轉(zhuǎn)模塊進(jìn)行翻面、上下料時(shí)，滑動(dòng)平臺(tái)可以移動(dòng)至另一個(gè)翻轉(zhuǎn)模塊處來接收pcb板并攜帶pcb板進(jìn)行曝光，利用翻面時(shí)間、上下料的時(shí)間，尤其是占用時(shí)間較長(zhǎng)的上下料時(shí)間來進(jìn)行同步工作，節(jié)省了時(shí)間，提高了工作效率。