光刻膠的所述基板切成300mm X 400mm，制作樣片。
[0078]利用第一實(shí)施例的剝離液和第一比較例的剝離液，剝離上述樣片的光刻膠，30分鐘后測(cè)定的彩色濾光器RGB的膨脹程度。
[0079]在利用所述第一實(shí)施例的剝離液的情況下，發(fā)生了 R:0.06 %、G:0.79 %、B:0.88%的膨脹，但在利用所述第一比較例的剝離液的情況下，發(fā)生了
B:1.35%的膨脹。
[0080]以上，參照【附圖說明】了本發(fā)明的實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)能夠理解本發(fā)明在不改變其技術(shù)思想或必要技術(shù)特征的情況下，可以以其他具體形態(tài)實(shí)施。因此，以上說明的實(shí)施例在各方面均是例示，而不是對(duì)本發(fā)明的限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光刻膠去除用剝離液，其特征在于，包含非質(zhì)子性極性溶劑、胺類化合物及質(zhì)子性極性溶劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠去除用剝離液，其特征在于，包含: I?90重量部的所述非質(zhì)子性極性溶劑、 I?10重量部的所述胺類化合物、 I?30重量部的所述質(zhì)子性極性溶劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠去除用剝離液，其特征在于， 所述非質(zhì)子性極性溶劑包含由二甲亞砜(dimethyl sulfoxide)、N-甲基甲酰胺(N-methyl formamide ;NMF)、N-甲基 ~2~ 批咯燒酮(N-methyl-2-pyr roIidone ；NMP)、N, N- 二 甲基乙酸胺(N, N-dimethyl acetamide)、N, N- 二 甲基甲酸胺(N, N-dimethyl formamide)、N, N-二甲基咪唑(N, N-dimethyl imid azole)、Y - 丁內(nèi)酉旨(Y-butyrolactone)、環(huán)丁諷(sulfolane)、四氫糖醇(Tet rahydrofurfuryl alcohol)、N, N-二甲基丙酰胺(N, N-dimethyl prop1namide)組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠去除用剝離液，其特征在于， 所述胺類化合物包含由1-(2-輕乙基)哌嗪(l-(2_hydroxyethyl)piperazine)、1-(2-氨乙基)哌嗪(1-(2-aminoethyl)piperazine)、1-(2-輕乙基)甲基哌嗪(1-(2-hydroxyethyl)methyl piperazine)、2_ 甲基哌嗪(2-methyl piperazine)、1-甲基哌嗪(1-methyl piperazine)以及 1-氨基_4_ 甲基哌嗪(l-amino-4-methyl p iperazine)組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠去除用剝離液，其特征在于， 所述質(zhì)子性極性溶劑包含由乙二醇(ethylene glycol)、二乙二醇(dieth yleneglycol)、三乙二醇(triethylene glycol)、四乙二醇(tetraethylene glyc ol)、乙二醇甲醚(ethylene glycol methyl ether)、乙二酉享乙醚(ethylene gl ycol ethyl ether)、乙二醇丁醚(ethylene glycol butyl ether)、二乙二醇甲醚(diethylene glycol methylether)、二乙二醇乙醚(diethylene glycol ethyl et her)、二乙二醇丁醚(diethyleneglycol butyl ether)、三乙二醇甲醚(trieth ylene glycol methyl ether)、三乙二醇乙醚(triethylene glycol ethyl ether)、三乙二酉享丁醚(triethylene glycol butylether)、二丙二 醇甲醚(dipropylene glycol methyl ether)以及二乙二醇 二甲醚(diethylene glycol dimethyl ether)組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠去除用剝離液，其特征在于， 所述光刻膠去除用剝離液還包含防腐蝕劑或表面親水劑。
7.一種顯示裝置制造方法，包括: 在基板上形成第一電極的步驟； 在所述第一電極上形成沿第一方向延伸的犧牲層的步驟； 在所述犧牲層上沿與所述第一方向交叉的第二方向形成第二電極的步驟； 利用剝離液剝離所述犧牲層，形成隧道狀空洞的步驟； 所述剝離液包含非質(zhì)子性極性溶劑、胺類化合物及質(zhì)子性極性溶劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造方法，其特征在于， 所述犧牲層由光刻膠形成。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造方法，其特征在于， 還包括在所述基板上形成薄膜晶體管的步驟。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造方法，其特征在于， 還包括在所述基板上形成彩色濾光器的步驟。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造方法，其特征在于， 還包括在所述基板上形成黑矩陣的步驟。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造方法，其特征在于， 還包括在所述隧道狀空洞形成圖像顯示層的步驟。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造方法，其特征在于， 所述剝離液包含: I?90重量部的所述非質(zhì)子性極性溶劑、 I?10重量部的所述胺類化合物、 I?30重量部的所述質(zhì)子性極性溶劑。
14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造方法，其特征在于， 所述非質(zhì)子性極性溶劑包含由二甲亞砜(dimethyl sulfoxide)、N-甲基甲酰胺(N-methyl formamide ;NMF)、N-甲基 ~2~ 批咯燒酮(N-methyl-2-pyr roIidone ；NMP)、N, N- 二 甲基乙酸胺(N, N-dimethyl acetamide)、N, N- 二 甲基甲酸胺(N, N-dimethyl formamide)、N, N-二甲基咪唑(N, N-dimethyl imid azole)、Y - 丁內(nèi)酉旨(Y-butyrolactone)、環(huán)丁諷(sulfolane)、四氫糖醇(Tet rahydrofurfuryl alcohol)、N, N-二甲基丙酰胺(N, N-dimethyl prop1namide)組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
15.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造方法，其特征在于， 所述胺類化合物包含由1-(2-輕乙基)哌嗪(1-(2-hydroxyethyl)piperazine)、1-(2-氨乙基)哌嗪(1-(2-aminoethyl)piperazine)、1-(2-輕乙基)甲基哌嗪(1-(2-hydroxyethyl)methyl piperazine)、2_ 甲基哌嗪(2-methyl piperazine)、1-甲基哌嗪(1-methyl piperazine)以及 1-氨基_4_ 甲基哌嗪(l-amino-4-methyl p iperazine)組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
16.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造方法，其特征在于， 所述質(zhì)子性極性溶劑包含由乙二醇(ethylene glycol)、二乙二醇(dieth yleneglycol)、三乙二醇(triethylene glycol)、四乙二醇(tetraethylene glyc ol)、乙二醇甲醚(ethylene glycol methyl ether)、乙二酉享乙醚(ethylene gl ycol ethyl ether)、乙二醇丁醚(ethylene glycol butyl ether)、二乙二醇甲醚(diethylene glycol methylether)、二乙二醇乙醚(diethylene glycol ethyl et her)、二乙二醇丁醚(diethyleneglycol butyl ether)、三乙二醇甲醚(trieth ylene glycol methyl ether)、三乙二醇乙醚(triethylene glycol ethyl ether)、三乙二酉享丁醚(triethylene glycol butylether)、二丙二 醇甲醚(dipropylene glycol methyl ether)以及二乙二醇 二甲醚(diethylene glycol dimethyl ether)組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
17.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置制造方法，其特征在于， 所述剝離液還包含防腐蝕劑或表面親水劑。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種剝離液及利用該剝離液的顯示裝置制造方法，該剝離液包含非質(zhì)子性極性溶劑、胺類化合物及質(zhì)子性極性溶劑。以剝離液的總重量為基準(zhǔn)，所述剝離液可以包含1～90重量部的所述非質(zhì)子性極性溶劑、1～10重量部的所述胺類化合物以及1～30重量部的所述質(zhì)子性極性溶劑。利用所述剝離液能夠在短時(shí)間剝離光刻膠，且能夠減少線路及彩色濾光器等所遭受的損傷。
【IPC分類】G03F7-42
【公開號(hào)】CN104597728
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410592323
【發(fā)明人】金善一, 樸弘植, 金俸均, 金柄郁, 樸善周, 尹錫壹, 趙泰杓, 許舜范
【申請(qǐng)人】三星顯示有限公司, 株式會(huì)社東進(jìn)世美肯
【公開日】2015年5月6日
【申請(qǐng)日】2014年10月29日