液晶顯示器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示器。更詳細而言，涉及適合作為水平取向模式的一種的邊緣場開關(FFS:Fringe Field Switching)方式的液晶顯示器。
【背景技術】
[0002]液晶顯示器一般包括:像素電極和薄膜晶體管(TFT)形成為矩陣狀的薄膜晶體管基板(以下，還稱為陣列基板。);和與陣列基板相對、在與像素電極對應的位置形成有彩色濾光片的對置基板，在陣列基板與對置基板之間夾持有液晶層。而且，通過按每像素控制液晶層中的液晶分子的取向而控制光的透射率，從而生成圖像。
[0003]液晶顯示器因為是平板而且輕量，所以其用途廣泛分布于TV等大型顯示裝置至移動電話和DSC (Digital Still Camera:數(shù)字照相機)等各種領域。但是在液晶顯示器中視野角特性成為問題。如果視野角特性差，則在從正面看畫面的情況下和從斜方向看畫面的情況下亮度和/或色度發(fā)生變化。
[0004]作為液晶顯示器的主要的液晶模式，已知有:對介電常數(shù)各向異性為負的液晶分子施加與基板面垂直方向的電場而控制該液晶分子的取向的垂直取向(VA:VerticalAlignment)模式；和對介電常數(shù)各向異性為正或為負的液晶分子施加與基本面水平方向(平行的方向)的電場(橫電場)而控制該液晶分子的取向的水平取向模式。關于視野角特性，一般認為水平取向模式比垂直取向模式更優(yōu)異。此外，作為水平取向模式的液晶顯示器的一種，提案有邊緣場開關(FFS:Fringe Field Switching)方式的液晶顯示器。FFS方式的液晶顯示器通過對液晶層施加邊緣電場(包括橫電場和縱電場兩種成分的斜電場)而進行顯示。
[0005]關于FFS方式的液晶顯示器，例如公開有在形成于有機鈍化膜上的對置電極上形成層間絕緣膜之前進行等離子體灰化處理、削去有機鈍化膜的表面而形成懸挑(Overhang)部的技術(例如，參照專利文獻I。)。
[0006]現(xiàn)有技術文獻
[0007]專利文獻
[0008]專利文獻1:日本特開2012-53371號公報

【發(fā)明內容】

[0009]發(fā)明所要解決的問題
[0010]在FFS方式的液晶顯示器中，對置電極與形成于對置電極上的層間絕緣膜的緊貼性低，存在產生層間絕緣膜的剝離的問題。作為其主要原因，考慮以下兩點。第一，需要將層間絕緣膜形成于有機絕緣膜上，不能提高層間絕緣膜的成膜溫度，以低溫形成層間絕緣膜。第二，對置電極上的抗蝕劑殘渣。由于以上的主要原因，認為難以確保對置電極與其上的層間絕緣膜的緊貼性。
[0011]圖10是本發(fā)明的發(fā)明人進行了研宄的比較方式I的陣列基板的截面示意圖，表示顯示區(qū)域內的TFT及其周邊。
[0012]比較方式I的陣列基板是FFS方式的液晶顯示器用的陣列基板，如圖10所示，具有絕緣性基板111、絕緣性基板111上的TFT122、TFT122上的第一層間絕緣膜117、第一層間絕緣膜117上的有機絕緣膜118、有機絕緣膜118上的對置電極119、覆蓋有機絕緣膜118和對置電極119的第二層間絕緣膜120和第二層間絕緣膜120上的像素電極121。TFT122包括柵極電極112、柵極絕緣膜113、半導體層114、源極電極115和漏極電極116。
[0013]有機絕緣膜118是為了減小陣列基板的表面的凹凸而設置的。在利用等離子體CVD(Chemical Vapor Deposit1n:化學氣象沉積)形成第二層間絕緣膜120的情況下，如果成膜溫度高則與基底膜的緊貼性會更好，但是為了抑制有機絕緣膜118的特性變化，成膜溫度需要為低溫。具體而言，優(yōu)選220°C以下的成膜溫度。但是，以低溫形成的第二層間絕緣膜120存在與基底膜的緊貼性差、如上述那樣剝離的問題。
[0014]針對這樣的問題，在專利文獻I中公開有如下技術:在形成層間絕緣膜之前，進行等離子體灰化處理，由此削去有機鈍化膜的表面并且使對置電極表面粗糙化，進一步除去對置電極上的抗蝕劑殘渣，提高對置電極與層間絕緣膜的粘接力。
[0015]但是，在使用專利文獻I中記載的技術的情況下，由于等離子體灰化處理而有機鈍化膜被大片削去，其上的對置電極相對于有機鈍化膜懸挑(overhang)。因此，在對置電極的端部附近，對置電極上的層間絕緣膜的覆蓋性惡化，存在發(fā)生問題的可能性。具體而言，存在層間絕緣膜的防濕性降低或發(fā)生液晶分子的取向紊亂的問題。此外，存在使層間絕緣膜開口時的光刻中抗蝕劑涂敷性降低的問題。其結果是，存在在層間絕緣膜上涂敷抗蝕劑材料時產生涂膜凹陷等涂敷不良的問題。
[0016]本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)狀而完成的發(fā)明，其目的在于，提供能夠提高防濕性和抗蝕劑涂敷性、并且能夠抑制液晶分子的取向紊亂的發(fā)生的液晶顯示器。
[0017]用于解決問題的技術方案
[0018]本發(fā)明的一個方式也可以為一種液晶顯示器，其包括有機絕緣膜、上述有機絕緣膜上的透明電極和上述透明電極上的層間絕緣膜，
[0019]上述透明電極也可以具有被實施了等離子體處理的表面，
[0020]上述有機絕緣膜也可以從上述透明電極的端部在垂直方向上被削去，在上述端部下具有臺階部，
[0021 ] 上述透明電極也可以不從上述臺階部向側方突出，
[0022]上述臺階部的高度也可以為20nm以下。
[0023]以下，將該液晶顯示器還稱為本發(fā)明的第一液晶顯示器。
[0024]本發(fā)明的另一方式也可以為一種液晶顯示器，其包括有機絕緣膜、上述有機絕緣膜上的透明電極和上述透明電極上的層間絕緣膜，
[0025]上述透明電極也可以具有被實施了等離子體處理的表面，
[0026]上述有機絕緣膜也可以在上述透明電極的端部下具有不存在臺階差的平坦的上表面。
[0027]以下，將該液晶顯示器還稱為本發(fā)明的第二液晶顯示器。
[0028]以下對本發(fā)明的第一和第二液晶顯示器的優(yōu)選實施方式進行說明。另外，以下的優(yōu)選實施方式也可以適當?shù)叵嗷ソM合，將以下的兩個以上的優(yōu)選實施方式相互組合而得到的實施方式也是優(yōu)選實施方式之一。
[0029]上述臺階部的高度也可以為不足10nm。
[0030]上述透明電極也可以為對置電極或像素電極。
[0031]本發(fā)明的第一和第二液晶顯示器也可以在上述有機絕緣膜的下方包括具有氧化物半導體的TFT。
[0032]上述氧化物半導體也可以包含銦、鎵、鋅和氧。
[0033]發(fā)明的效果
[0034]根據(jù)本發(fā)明，能夠實現(xiàn)能夠提高防濕性和抗蝕劑涂敷性并且能夠抑制液晶顯示器的取向紊亂的發(fā)生的液晶顯示器。
【附圖說明】
[0035]圖1是表示實施方式I的液晶顯示器的截面示意圖，表示顯示區(qū)域內的TFT及其周邊。
[0036]圖2是圖1的對置電極的端部附近的放大圖。
[0037]圖3是實施方式I的液晶顯示器所含的陣列基板的工藝流程圖。
[0038]圖4是對置電極形成前的實施方式I的陣列基板的截面的SEM照片。
[0039]圖5是對置電極形成前的實施方式I的陣列基板的截面的SEM照片。
[0040]圖6是對置電極形成前的比較方式2的陣列基板的截面的SEM照片。
[0041]圖7是對置電極形成前的比較方式3的陣列基板的截面的SEM照片。
[0042]圖8是對置電極形成前的比較方式4的陣列基板的截面的SEM照片。
[0043]圖9是實施方式2的液晶顯示器所含的陣列基板的截面示意圖，表示顯示區(qū)域內的TFT及其周邊。
[0044]圖10是比較方式I的陣列基板的截面示意圖，表示顯示區(qū)域內的TFT及其周邊。
【具體實施方式】
[0045]以下列舉實施方式，參照附圖對本發(fā)明進行更詳細的說明，但是本發(fā)明并不僅限定于這些實施方式。
[0046]另外，在本說明書中，對置電極的端部是指對置電極被中斷的部分。因此，對置電極的部例如既可以是與在對置電極形成的開口鄰接的部分，也可以是與對置電極的外周鄰接的部分(周緣部)。
[0047](實施方式I)
[0048]圖1是實施方式I的液晶顯示器的截面示意圖，表示顯示區(qū)域內的TFT及其周邊。
[0049]本實施方式的液晶顯示器是有源矩陣驅動方式且是透射型的液晶顯示器，是水平取向模式的一種的FFS方式的液晶顯示器。如圖1所示，本實施方式的液晶顯示器包括液晶面板1、配置在液晶面板I的后方的背光源(未圖示)、驅動和控制液晶面板I和背光源的控制部(未圖示)、和將液晶面板I連接至控制部的撓性基板(未圖示)。
[0050]液晶面板I包括顯示圖像的顯示區(qū)域，在顯示區(qū)域，呈矩陣狀配置有多個像素。另夕卜，各像素也可以由多種顏色(例如，紅色、綠色和藍色這三種顏色)的子像素構成。另一方面，本實施方式的液