56以及第二鉸鏈部分254的外周部分256。這里，選擇性地對(duì)娃進(jìn)行蝕刻。
[0075]詳細(xì)而言，在第一狹縫331處，除了執(zhí)行部件本體部分251的外周部分255露出來(lái)以外，執(zhí)行部件本體部分251的S1J莫240也露出來(lái)了。然而，該S1 J莫240不太被蝕刻。在第二蝕刻工序中，因?yàn)镾1J莫240殘存在執(zhí)行部件本體部分251的整個(gè)面上，不存在于外周部分255上，所以僅有外周部分255被蝕刻。也就是說(shuō)，3丨02膜240起到了蝕刻外周部分255之際的掩膜的作用。
[0076]另一方面，鏡部分252等的外周部分256在第二狹縫332處露出來(lái)，外周部分256被蝕刻。
[0077]其結(jié)果是，如圖12所示，第一硅層210中執(zhí)行部件本體部分251的外周部分255、鏡部分252的外周部分256、第一鉸鏈部分253的外周部分256以及第二鉸鏈部分254的外周部分256被除去了。之后再除去第三抗蝕劑掩膜330。
[0078]之后，通過(guò)進(jìn)行干蝕刻而將第二硅層230中執(zhí)行部件本體部分251、鏡部分252、第一鉸鏈部分253、第二鉸鏈部分254以及梁本體部分257的背面一側(cè)的部分除去。緊接著它，通過(guò)進(jìn)行濕蝕刻將該背面一側(cè)的部分的氧化膜層220除去。這樣一來(lái)，便形成了執(zhí)行部件本體3、3、…、鏡本體111、111、…、梁本體121、121、…、第一鉸鏈6、6、…以及第二鉸鏈7、7、…。
[0079]在鏡110的表面上形成Au/Ti膜。Au/Ti膜構(gòu)成鏡110的鏡面層112。此外，還可以在鏡110的背面形成Au/Ti膜。在該情況下，背面的Au/Ti膜具有平衡重的作用。
[0080]這樣就將鏡裝置100制造出來(lái)了。
[0081]在該制造方法下，如圖11所示，在第三遮掩工序中，在形成于執(zhí)行部件本體部分251的第三抗蝕劑掩膜330和形成于鏡部分252的第三抗蝕劑掩膜330之間產(chǎn)生了高度差。詳細(xì)而言，在第三遮掩工序中，因?yàn)橥ㄟ^(guò)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布來(lái)涂布抗蝕劑，所以抗蝕劑本身的厚度大致均勻。但是，就抗蝕劑的整體厚度，亦即從第一硅層210表面到抗蝕劑表面的高度而言，則會(huì)因?yàn)樵趫?zhí)行部件本體部分251疊層有壓電元件4，而導(dǎo)致執(zhí)行部件本體部分251的第三抗蝕劑掩膜330的厚度比鏡部分252的第三抗蝕劑掩膜330的厚度厚。其結(jié)果是，第一狹縫331的深度比第二狹縫332深。如果狹縫變深，那么當(dāng)對(duì)抗蝕劑進(jìn)行曝光顯影時(shí)，就會(huì)出現(xiàn)以下不良現(xiàn)象。即，抗蝕劑不會(huì)完全溶解，而不能形成貫通抗蝕劑的狹縫。這一現(xiàn)象在狹縫寬度較窄時(shí)尤其是一個(gè)問(wèn)題。作為其措施，能夠想到增大曝光能量，加長(zhǎng)曝光時(shí)間、顯影時(shí)間來(lái)增強(qiáng)光刻條件，但是若如此則存在以下可能性。即，厚度較薄的、鏡部分252的第三抗蝕劑掩膜330會(huì)過(guò)度地溶解，而不能精度良好地形成第二狹縫332。
[0082]相對(duì)于此，第一狹縫331的寬度比第二狹縫332的寬度寬。這里，狹縫的寬度指的是狹縫底的寬度。加寬了第一狹縫331的寬度以后，即使增強(qiáng)光刻條件，也能夠形成貫通第三抗蝕劑掩膜330的第一狹縫331。而且，因?yàn)樯形丛鰪?qiáng)光刻條件，所以也能夠精度良好地形成第二狹縫332。具體而言，能夠使第二狹縫332的寬度與鏡部分252的外周部分256的寬度大致相等。
[0083]如果狹縫的寬度寬到超出需要，則有蝕刻希望部分以外的部分的可能性。第一狹縫331寬度較寬的結(jié)果是，其寬度比位于該第一狹縫331內(nèi)的外周部分255的寬度還要寬。其結(jié)果是，執(zhí)行部件本體部分251的外周緣部在第一狹縫331處露出來(lái)，在之后的第三蝕刻工序中暴露于蝕刻種中。但是，在該外周緣部的表面上形成有S1J莫240。該S1J莫240保護(hù)執(zhí)行部件本體部分251中在第一狹縫331處露出來(lái)的部分不被蝕刻。也就是說(shuō)，3102膜240具有掩膜的作用。其結(jié)果是，盡管第一狹縫331比外周部分255的寬度寬，也能夠抑制外周部分255以外的部分被蝕刻。
[0084]通過(guò)這樣精度良好地形成第三抗蝕劑掩膜330，就能夠精度良好地形成執(zhí)行部件本體部分251和鏡部分252這兩部分。
[0085]此外，在利用上述制造方法制造出的鏡裝置100的執(zhí)行部件I中，3丨02膜240比壓電元件4更往外探出來(lái)。而且，3102膜240的探出來(lái)的部分呈階梯狀。具體而言，如圖13所示，在S1J莫240的外周緣部，形成有比疊層有壓電元件4的部分還低的第一臺(tái)階240a和位于該第一臺(tái)階240a外且比第一臺(tái)階低的第二臺(tái)階240b。
[0086]在壓電元件形成工序中蝕刻PZT膜和Pt/Ti膜而形成壓電體層42和下部電極41之際，稍微蝕刻一下3丨02膜240，即形成第一臺(tái)階240a。
[0087]在第三蝕刻工序中對(duì)外周部分255進(jìn)行蝕刻之際，稍微蝕刻一下從第三抗蝕劑掩膜330探出來(lái)的部分，即形成了第二臺(tái)階240b。
[0088]一實(shí)施方式的效果一
[0089]因此，本實(shí)施方式的制造方法，是一種對(duì)包括鏡110、和具有在表面上疊層有壓電元件4的執(zhí)行部件本體3且對(duì)該鏡110進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行部件I的鏡裝置100的制造方法。該制造方法包括準(zhǔn)備工序、第一除去工序、第二除去工序以及第三除去工序。在該準(zhǔn)備工序中準(zhǔn)備SOI基板200，在該SOI基板200的表面上形成有3丨02膜240，在上述執(zhí)行部件本體部分251的該5丨02膜240上疊層有上述壓電元件4。在該第一除去工序中，讓上述SOI基板200中包括上述執(zhí)行部件本體部分251的第一區(qū)域200a的上述5丨02膜240殘留下來(lái)，通過(guò)進(jìn)行蝕刻將包括上述鏡部分252的第二區(qū)域200b的S1J莫240除去。在該第二除去工序中，通過(guò)進(jìn)行蝕刻將上述SOI基板200的上述第一區(qū)域200a中的至少執(zhí)行部件本體部分251的外周部分255的上述S1J莫240除去。在該第三除去工序中，形成覆蓋上述SOI基板200中上述執(zhí)行部件本體部分251和上述鏡部分252的第三抗蝕劑掩膜330，通過(guò)進(jìn)行蝕刻除去上述SOI基板200中上述執(zhí)行部件本體部分251的外周部分255和上述鏡部分252的外周部分256。在上述第二除去工序中，讓上述3丨02膜240以比上述壓電元件4更向外側(cè)探出來(lái)的狀態(tài)殘留在上述執(zhí)行部件本體部分251的表面上。上述第三除去工序中的上述第三抗蝕劑掩膜330具有第二狹縫332和第一狹縫331。該第二狹縫332讓上述SOI基板200中上述鏡部分252的外周部分256露出來(lái)，該第一狹縫331讓上述SOI基板200中上述執(zhí)行部件本體部分251的外周部分256和該執(zhí)行部件本體部分251的上述3丨02膜240露出來(lái)且寬度比該第二狹縫332寬。
[0090]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，因?yàn)樵趫?zhí)行部件本體部分251疊層有壓電元件4，所以從SOI基板200算起的執(zhí)行部件本體部分251的第三抗蝕劑掩膜330的高度比從SOI基板200算起的鏡部分252的第三抗蝕劑掩膜330的高度高。因此，形成在執(zhí)行部件本體部分251及其周?chē)牡谌刮g劑掩膜330上的第一狹縫331比形成在鏡部分252及其周?chē)牡谌刮g劑掩膜330上的第二狹縫332深。
[0091]相對(duì)于此，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，使第一狹縫331的寬度形成得比第二狹縫332寬。這樣一來(lái)，就既能夠形成貫通第三抗蝕劑掩膜330的第一狹縫331，又能夠精度良好地形成第二狹縫332。
[0092]這里，通過(guò)使第一狹縫331形成得較寬，那么，執(zhí)行部件本體部分251中的第三抗蝕劑掩膜330就不僅讓外周部分255露出來(lái)，也讓執(zhí)行部件本體部分251的一部分(執(zhí)行部件本體部分251的外周緣部)露出來(lái)。也就是說(shuō)，執(zhí)行部件本體部分251中的第三抗蝕劑掩膜330讓比預(yù)定除去的部分更寬的區(qū)域露出來(lái)。但是，因?yàn)樵趫?zhí)行部件本體部分251的露出來(lái)部分的表面上設(shè)置有S1J莫240，所以該露出來(lái)部分會(huì)受S1 2膜240保護(hù)而免于被蝕刻。因此，即使是讓第一狹縫331形成得較寬的結(jié)構(gòu)，也能夠精度良好地形成執(zhí)行部件本體部分251。另一方面，因?yàn)榈诙M縫332的寬度形成得與鏡部分252的外周部分256的寬度大致相等，所以能夠精度良好地形成鏡部分252。
[0093]上述執(zhí)行部件本體3經(jīng)第一鉸鏈6與上述鏡110相連結(jié)，上述第一鉸鏈6包含在上述第二區(qū)域200b中。
[0094]也就是說(shuō)，因?yàn)榈谝汇q鏈6包含在上述第二區(qū)域200b中，所以第一鉸鏈部分253的第三抗蝕劑掩膜330較薄。因此，如果光刻條件強(qiáng)，第一鉸鏈部分253的第三抗蝕劑掩膜330就有可能被過(guò)分地蝕刻。第一鉸鏈6的形狀對(duì)第一鉸鏈6剛性的影響很大，甚至?xí)?duì)鏡110工作如何造成很大的影響。也就是說(shuō)，優(yōu)選精度良好地形成第一鉸鏈6。相對(duì)于此，如果是上述制造方法，無(wú)需增強(qiáng)光刻條件，即能夠精度良好地形成第一鉸鏈部分253的第三抗蝕劑掩膜330，因此能夠精度良好地形成第一鉸鏈部分253。其結(jié)果是，能夠精度良好地形成第一鉸鏈6。
[0095]在上述鏡裝置100中，上述鏡110、110、…沿著規(guī)定的排列方向(主軸X方向)排列著設(shè)置有多個(gè)，上述執(zhí)行部件本體3、3、…沿著與上述排列方向平行的方向排列著設(shè)置有多個(gè)，上述第一狹縫讓成為上述執(zhí)行部件本體之部分的外周部分中相鄰的成為該執(zhí)行部件本體之部分彼此間的部分露出來(lái)；上述第二狹縫讓成為上述鏡之部分的外周部分中相鄰的成為該鏡的部分彼此間的部分露出來(lái)。
[0096]也就是說(shuō)，在多個(gè)鏡110、110、…并列排列且多個(gè)執(zhí)行部件本體3、3、…并列排列著的鏡裝置100中，在相鄰鏡110、110之間、以及相鄰執(zhí)行部件本體3、3之間形成有間隙。為通過(guò)進(jìn)行蝕刻形成該間隙需要在抗蝕劑掩膜上形成與該間隙相對(duì)應(yīng)的狹縫。在上述結(jié)構(gòu)中，第一狹縫331是為了在相鄰的執(zhí)行部件本體3、3之間形成間隙的狹縫，第二狹縫332是為了形成相鄰的鏡110、110之間的間隙的狹縫。而且，在多個(gè)鏡110、110、…并列排列且多個(gè)執(zhí)行部件本體3、3、…并列排列著的鏡裝置100中，從實(shí)現(xiàn)鏡裝置100的小型化的角度出發(fā)，優(yōu)選相鄰的鏡110、110、之間的間隙、相鄰的執(zhí)行部件本體3、3之間的間隙較窄。在將鏡裝置100用在上述波長(zhǎng)選擇開(kāi)關(guān)108中的情況下，為減少光損失，優(yōu)選鏡110、110、…之間的間隙較窄。在上述情況下，第三抗蝕劑掩膜330的第一狹縫331和第二狹縫332的寬度變窄。在第一狹縫331的寬度較窄的情況下，如果不增強(qiáng)光刻條件，則會(huì)更難以讓第一狹縫331貫通第三抗蝕劑掩膜330。而且，如果第二狹縫332的寬度較窄，則更難以精度良好地形成第二狹縫332。如果不能適當(dāng)?shù)匦纬社R110或執(zhí)行部件本體3中，這樣包括多個(gè)鏡110、110、…和執(zhí)行部件本體3、3、…的鏡裝置100，就不能作為一個(gè)鏡裝置100整體來(lái)使用。也就是說(shuō)，鏡110和執(zhí)行部件本體3的加工精度會(huì)對(duì)鏡裝置100的合格率造成很大的影響。
[0097]因此，通過(guò)采用上述制造方法作為這樣的鏡裝置100的制造方法，則能夠使鏡裝置100小型化，減少光的損耗?；蛘?，能夠收到提高鏡裝置100的合格率等效果。
[0098]上述第一狹縫331的寬度比設(shè)置在相鄰的上述執(zhí)行部件本體部分251、251中的各個(gè)部分上的上述3丨02膜240、240彼此間的間隔寬。
[0099]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，因?yàn)樵趫?zhí)行部件本體部分251的外周緣部設(shè)置有S1J莫240，所以在相鄰的執(zhí)行部件本體部分251、251之間的部分，相鄰的3102膜240、240之間的部分成為執(zhí)行部件本體部分251的外周部分255。也就是說(shuō)，第一狹縫331的寬度比相鄰的執(zhí)行部件本體部分251、251之間的外周部分255的寬度寬。但是，如上所述，因?yàn)樵趫?zhí)行部件本體部分251的外周緣部設(shè)置有3102膜240，所以能夠保護(hù)執(zhí)行部件本體部分251不被蝕刻，外周部分255被蝕刻。
[0100]上述第一狹縫331的寬度比相鄰的上述鏡部分252、252彼此間的間隔寬。
[0101]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，第一狹縫331比第二狹縫332寬。第二狹縫332的寬度與相鄰的上述鏡部分252、252彼此間的間隙大致相等。結(jié)果是，第一狹縫331比相鄰的上述鏡部分252,252彼此之間的間隔寬。也就是說(shuō)，通過(guò)讓第一狹縫331比相鄰的上述鏡部分252、252彼此間的間隔寬，則能夠精度良好地形成第三抗蝕劑掩膜330，進(jìn)而能夠精度良好地形成執(zhí)行部件本體部分251和鏡部分252。
[0102]而且，上述第一狹縫331的深度比上