明實(shí)施例三中具有指向性的前饋式有源消聲裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖8為本發(fā)明實(shí)施例四中具有指向性的前饋式有源消聲裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的有源消聲裝置及光刻設(shè)備進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0037]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0038]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0039]實(shí)施例一
[0040]請(qǐng)參考圖3，在本實(shí)施例中，提出了一種有源消聲裝置為反饋式有源消聲裝置，用于消除噪聲源10產(chǎn)生的初級(jí)噪聲20對(duì)待保護(hù)部件(圖未示出)的影響，所述裝置包括:
[0041]第一揚(yáng)聲器31，用于產(chǎn)生與初級(jí)噪聲20發(fā)生干涉的次級(jí)噪聲40 ；
[0042]誤差傳感器50，用于檢測(cè)發(fā)生干涉后的剩余噪聲作為剩余噪聲信號(hào)，為了能夠準(zhǔn)確檢測(cè)所述剩余噪聲，因此所述誤差傳感器50應(yīng)盡量靠近所述第一揚(yáng)聲器31，但位于遠(yuǎn)離所述初級(jí)噪聲20的一端；
[0043]控制單元12，用于收集所述剩余噪聲信號(hào)，并相應(yīng)的控制所述第一揚(yáng)聲器31發(fā)出次級(jí)噪聲40。
[0044]在本實(shí)施例中，所述有源消聲裝置還包括放大器11，所述放大器11用于將所述剩余噪聲信號(hào)放大，所述控制單元12為補(bǔ)償濾波器，用于分辨待抑制剩余噪聲的頻段。
[0045]誤差傳感器50拾取剩余噪聲信號(hào)，經(jīng)過控制單元12 (補(bǔ)償濾波器)分辨需要抑制的噪聲頻段，因?yàn)榭刂频谋旧砟康木鸵笳`差傳感器50處的剩余噪聲達(dá)到最少值甚至完全消除，所以誤差傳感器50拾取的剩余噪聲信號(hào)很低需要經(jīng)過放大器11放大一定地倍數(shù)，最后通過第一揚(yáng)聲器31發(fā)出次級(jí)噪聲40對(duì)所述初級(jí)噪聲20進(jìn)行干涉。
[0046]在本實(shí)施例中，還提出了一種光刻設(shè)備，內(nèi)部設(shè)有如上文所述的有源消聲裝置，所述設(shè)備包括:
[0047]基礎(chǔ)框架，設(shè)置于所述基礎(chǔ)框架頂部的照明裝置，設(shè)于所述基礎(chǔ)框架內(nèi)部的掩模臺(tái)，所述掩模臺(tái)的表面設(shè)有掩模，設(shè)于所述基礎(chǔ)框架內(nèi)的減振器，與所述減振器相固定的主基板，與所述主基板相固定的物鏡，與所述主基板相固定并位于所述物鏡一側(cè)的干涉儀，與所述主基板相固定的測(cè)量裝置以及設(shè)于所述基礎(chǔ)框架內(nèi)的工件臺(tái)，由于所述光刻設(shè)備內(nèi)部的結(jié)構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)的光刻身設(shè)備類似，在此就不再贅述。
[0048]在本實(shí)施例中，所述有源消聲裝置設(shè)于靠近所述物鏡的位置，用保護(hù)所述物鏡免于初級(jí)噪聲的影響，所述有源消聲裝置設(shè)于靠近所述測(cè)量裝置的位置，用于保護(hù)所述測(cè)量裝置免于初級(jí)噪聲的影響，并且無前饋式傳感器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，具有適應(yīng)性，適用于環(huán)境噪聲復(fù)雜的內(nèi)部空間。
[0049]實(shí)施例二
[0050]請(qǐng)參考圖4，在本實(shí)施例提出的有源消聲裝置為帶有誤差補(bǔ)償裝置的前饋式有源消聲裝置，相比實(shí)施例一，本實(shí)施例前饋式有源消聲裝置還包括標(biāo)準(zhǔn)傳感器90，所述標(biāo)準(zhǔn)傳感器90用于檢測(cè)初級(jí)噪聲20，其中，所述控制單元包括:FIR濾波器80、延時(shí)估計(jì)器60以及計(jì)權(quán)修正裝置70 ;所述標(biāo)準(zhǔn)傳感器90用于檢測(cè)初級(jí)噪聲20并將信號(hào)傳送至所述延時(shí)估計(jì)器60中，再由所述計(jì)權(quán)修正裝置70對(duì)信號(hào)進(jìn)行相應(yīng)的修改，并傳輸至所述FIR濾波器80中，再由所述FIR濾波器80將信號(hào)傳送至所述第一揚(yáng)聲器31中，由所述第一揚(yáng)聲器31發(fā)出次級(jí)噪聲40。
[0051]當(dāng)噪聲源10發(fā)出初級(jí)噪聲20時(shí)，所述標(biāo)準(zhǔn)傳感器90 (可采用速度或加速度計(jì)數(shù)器)檢測(cè)到所述初級(jí)噪聲20并將其轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，經(jīng)過FIR濾波器80得出初級(jí)噪聲20頻率段，然后再經(jīng)過第一揚(yáng)聲器31使輸出信號(hào)轉(zhuǎn)換成次級(jí)噪聲40輸出，次級(jí)噪聲40的聲波與初級(jí)噪聲20的聲波有180°的相移，并保持幅度相等，兩者的疊加就會(huì)使這個(gè)頻率的聲波在第一揚(yáng)聲器31的下游得以抵消。而誤差傳感器50使整個(gè)裝置獲得自適應(yīng)能力，它拾取整個(gè)裝置下游特定位置的剩余噪聲，并通過計(jì)權(quán)修正裝置70反饋給FIR濾波器80，當(dāng)剩余噪聲信號(hào)較大時(shí)優(yōu)化控制FIR濾波器80輸出信號(hào)，當(dāng)誤差信號(hào)較小時(shí)保持FIR濾波器80輸出信號(hào)。自適應(yīng)調(diào)節(jié)的方式能夠更精確地控制第一揚(yáng)聲器31的次級(jí)噪聲40輸出頻率，使得誤差傳感器50處的剩余噪聲一直處于最低水平，保證了有源消聲裝置抑制噪聲的能力。
[0052]本實(shí)施例提出的有源消聲裝置帶有誤差補(bǔ)償效果，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，誤差補(bǔ)償裝置改善消聲能力，具有相當(dāng)高的抑制噪聲能力，一般可以在一個(gè)倍頻范圍內(nèi)降低噪聲1db?15db0
[0053]在本實(shí)施例中，還將上述有源消聲裝置使用在光刻設(shè)備中，請(qǐng)參考圖5，所述光刻設(shè)備與實(shí)施例一相同，具體請(qǐng)參考實(shí)施例一，在此不再贅述。在本實(shí)施例中提出的光刻設(shè)備中使用上述有源消聲裝置靠近所述物鏡200 (如圖5所示)。當(dāng)外部初級(jí)噪聲20在所述物鏡200附近傳播時(shí)，第一揚(yáng)聲器31發(fā)出移相180°的次級(jí)噪聲40與初級(jí)噪聲20形成干涉抵消，誤差傳感器50放置于有源消聲裝置的下游，使物鏡200周圍環(huán)境的特定位置的噪聲保持在一個(gè)較低的水平。有源消聲裝置占用空間較小，可以布置在噪聲源傳輸?shù)姆较?，圖5的有源消聲裝置布置接近物鏡200的頂部邊緣，主要用于抵消掩模臺(tái)噪聲的影響，因?yàn)楣饪淘O(shè)備在工作過程中掩模臺(tái)的運(yùn)動(dòng)速度較頻繁，對(duì)物鏡200曝光精度的影響最為明顯。
[0054]在本實(shí)施例中，還將上述有源消聲裝置使用在光刻設(shè)備中，請(qǐng)參考圖6，使用上述有源消聲裝置靠近所述，所述測(cè)量裝置900安裝于主基板500的下表面，用于確保硅片的垂向精度，對(duì)外部噪聲的影響較為敏感，有源消聲裝置安裝在測(cè)量裝置900附近，第一揚(yáng)聲器31發(fā)出次級(jí)噪聲40干涉抵消初級(jí)噪聲20，誤差傳感器50可以使測(cè)量裝置900附近特定位置盡可能地低噪聲，確保了測(cè)量裝置900的測(cè)量精度。
[0055]為了保證光刻設(shè)備內(nèi)部環(huán)境的降噪效果，還可以在多處布置有源消聲裝置來擴(kuò)大降噪的范圍，在此不再過多描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員理應(yīng)知曉。
[0056]實(shí)施例三
[0057]請(qǐng)參考圖7，本實(shí)施例提出的有源消聲裝置是在實(shí)施例二的基礎(chǔ)上提出的具有指向性的前饋式有源消聲裝置，還包括第二揚(yáng)聲器32，因?yàn)榈谝粨P(yáng)聲器31的聲波傳播方向是發(fā)散的，在其發(fā)出次級(jí)噪聲40的同時(shí)，也會(huì)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)傳感器90發(fā)射聲波，因此造成所述標(biāo)準(zhǔn)傳感器90拾取初級(jí)噪聲40作為參考的同時(shí)也拾取了次級(jí)噪聲反饋的信號(hào)，這即是次級(jí)聲反饋現(xiàn)象，會(huì)造成標(biāo)準(zhǔn)傳感器90拾取噪聲難以分辨從而導(dǎo)致整個(gè)降噪系統(tǒng)的不穩(wěn)定，因此所述第二揚(yáng)聲器32發(fā)出的第一補(bǔ)償噪聲41能夠消除所述次級(jí)噪聲40對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)傳感器90的干擾，所述標(biāo)準(zhǔn)傳感器90位于所述第一揚(yáng)聲器31與第二揚(yáng)聲器32兩點(diǎn)連線的中垂線上，所述第一補(bǔ)償噪聲41與所述次級(jí)噪聲40的幅值相同，相位相反，這樣便能保證所述