電子部件檢查裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于檢查各種電子部件是否存在微小缺陷、異物的電子部件檢查
目.0
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，在液晶顯示器(IXD)、光器件、半導(dǎo)體器件等電子部件中，隨著處理能力的大容量化、高集成化，安裝技術(shù)的高度化、精密化飛躍地發(fā)展。因此，在以這種高密度進(jìn)行安裝的電子部件的制造線中，迅速且正確地檢查是否適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行了電路的圖案化、部件之間的連接、并且是否混入了異物等，成為更加重要的課題。
[0003]例如，在液晶面板的玻璃基板的端緣通過(guò)COG方式安裝驅(qū)動(dòng)用芯片，將其經(jīng)由撓性印刷基板(FPC)等與外部電路進(jìn)行連接，由此得到LCD組件，此時(shí)，如圖8的(a)所示，形成在玻璃基板I上的電極焊盤(pán)2以及驅(qū)動(dòng)用芯片3的電極4成為能夠經(jīng)由凸塊5和各向異性導(dǎo)電膜6內(nèi)的導(dǎo)電粒子7在厚度方向上通電的狀態(tài)很重要。
[0004]因此，當(dāng)從玻璃基板I的背面?zhèn)扔^察是否在夾入了個(gè)數(shù)足以通電的導(dǎo)電粒子7的狀態(tài)下將上述凸塊5壓接到玻璃基板I側(cè)的電極焊盤(pán)2時(shí)，如圖8的(b)所示，由于從玻璃基板I的背面?zhèn)饶軌蚩吹较萑肷鲜鲭姌O焊盤(pán)2的導(dǎo)電粒子7的壓痕8，因此通過(guò)數(shù)該壓痕8的數(shù)量，能夠檢查壓接的好壞。提出有基于這種想法的若干個(gè)檢查裝置(參照專利文獻(xiàn)1、2等)。
[0005]然而，在這些檢查裝置中，均將電子部件載置于檢查用的移動(dòng)載物臺(tái)，使該電子部件在X方向、Y方向上進(jìn)行移動(dòng)來(lái)定位到固定的顯微鏡的攝像部，因此在檢查部位的數(shù)量多的情況下、電子部件如大型LCD組件那樣大的情況下，存在在為了檢查而使移動(dòng)載物臺(tái)進(jìn)行移動(dòng)時(shí)費(fèi)時(shí)這種問(wèn)題、移動(dòng)載物臺(tái)上的電子部件的定位也費(fèi)事這種問(wèn)題。另外，檢查對(duì)象品越大，在使該檢查對(duì)象品在水平方向上移動(dòng)來(lái)進(jìn)行檢查時(shí)越需要水平方向上大的空間，因此還存在作為裝置的設(shè)置空間需要大空間這種問(wèn)題。
[0006]因此，本申請(qǐng)人開(kāi)發(fā)出了并非使移動(dòng)載物臺(tái)進(jìn)行移動(dòng)來(lái)進(jìn)行檢查而是將用于檢查的照相機(jī)依次定位到檢查位置來(lái)進(jìn)行檢查的全新的檢查方法以及使用于該檢查方法的裝置，并已經(jīng)取得了專利權(quán)(參照專利文獻(xiàn)3)。
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2006-186179號(hào)公報(bào)
[0008]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2005-227217號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)3:日本專利第5038191號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

_0] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0011]上述專利文獻(xiàn)3所記載的檢查裝置不僅使設(shè)置空間變小，還實(shí)現(xiàn)了檢查時(shí)間的大幅縮短以及高檢查精度，廣泛應(yīng)用于LCD組件的檢查等。
[0012]然而，在這些以往的檢查裝置中，通常作為攝像單元使用CXD照相機(jī)，一次的攝像區(qū)域有限，因此在攝像對(duì)象的面積大的情況下，需要一個(gè)一個(gè)地拍攝多個(gè)檢查點(diǎn)來(lái)反復(fù)進(jìn)行檢查，如果要在線進(jìn)行檢查，則由于要兼顧制造線的生產(chǎn)節(jié)拍，因此存在無(wú)法進(jìn)行整個(gè)區(qū)域/所有數(shù)量的檢查這種問(wèn)題。因此，強(qiáng)烈期望對(duì)其進(jìn)行改善。
[0013]另外，最近，開(kāi)發(fā)出了能夠帶狀地掃描對(duì)象物的行掃描照相機(jī)，廣泛應(yīng)用于面狀部件的表面檢查等。因此，還研宄將上述行掃描照相機(jī)替換為上述CCD照相機(jī)來(lái)檢查電子部件，但是當(dāng)行掃描照相機(jī)在掃描過(guò)程中受到振動(dòng)時(shí)圖像變得混亂，判明了當(dāng)如專利文獻(xiàn)3所記載的裝置那樣使攝像用的照相機(jī)移動(dòng)至檢查位置時(shí)，隨著照相機(jī)的移動(dòng)與停止而產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)行掃描照相機(jī)帶來(lái)不良影響而使檢查精度降低。
[0014]本發(fā)明是鑒于這種情形而完成的，目的在于提供一種能夠迅速且正確地檢查電子部件的以往不能檢測(cè)的大區(qū)域內(nèi)的好壞的良好的電子部件檢查裝置。
_5] 用于解決問(wèn)題的方案
[0016]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的第一宗旨是一種電子部件檢查裝置，具備:移動(dòng)載物臺(tái)，其用于載置電子部件；攝像單元，其拍攝載置在上述移動(dòng)載物臺(tái)上的電子部件的規(guī)定部位；定位單元，其用于使上述攝像單元相對(duì)于上述移動(dòng)載物臺(tái)的面平行地移動(dòng)，并定位在用于拍攝的適當(dāng)?shù)奈恢锰?；以及信息處理單元，其被設(shè)定為根據(jù)由上述攝像單元得到的圖像數(shù)據(jù)來(lái)檢查上述攝像單元所拍攝部位的好壞，其中，上述攝像單元具備:主體部，其安裝固定于上述定位單元；以及顯微鏡部，其以朝向所拍攝部位進(jìn)退自由的方式安裝于該主體部，在上述顯微鏡部中內(nèi)置有用于得到所拍攝部位的放大圖像的物鏡，在上述主體部中設(shè)置有:顯微鏡部進(jìn)退單元，其使顯微鏡部進(jìn)退來(lái)進(jìn)行對(duì)焦，使得上述物鏡相對(duì)于所拍攝部位處于最佳焦距；以及行掃描照相機(jī)，其取入由上述顯微鏡部得到的放大圖像并輸出到上述信息處理單元。
[0017]另外，本發(fā)明的第二宗旨是一種電子部件檢查裝置，其中，特別是在上述主體部中設(shè)置有內(nèi)置了同軸型激光位移傳感器的自動(dòng)對(duì)焦部，根據(jù)來(lái)自該自動(dòng)對(duì)焦部的指示，通過(guò)上述顯微鏡部進(jìn)退單元進(jìn)行對(duì)焦。
[0018]并且，本發(fā)明的第三宗旨是一種電子部件檢查裝置，其中，特別是在上述信息處理單元中設(shè)置有根據(jù)圖像數(shù)據(jù)求出最佳焦距、根據(jù)最佳焦距對(duì)上述顯微鏡部進(jìn)退單元提供指示而進(jìn)行對(duì)焦的后述的圖像基準(zhǔn)對(duì)焦機(jī)構(gòu)S，能夠通過(guò)開(kāi)關(guān)對(duì)基于上述自動(dòng)對(duì)焦部的對(duì)焦以及基于上述圖像基準(zhǔn)對(duì)焦機(jī)構(gòu)S的對(duì)焦進(jìn)行選擇，其中，上述圖像基準(zhǔn)對(duì)焦機(jī)構(gòu)S為如下的機(jī)構(gòu):一邊改變上述顯微鏡部的物鏡與所拍攝部位之間的距離L 一邊拍攝圖像，根據(jù)拍攝得到的圖像數(shù)據(jù)，在上述信息處理單元中進(jìn)行最佳焦距的鎖定，反復(fù)進(jìn)行上述距離L的變更和拍攝直到?jīng)Q定出最佳焦距為止，由此進(jìn)行對(duì)焦，對(duì)于第一次對(duì)焦，將上述距離L設(shè)定為預(yù)先設(shè)定的規(guī)定距離，反復(fù)進(jìn)行該距離的變更和拍攝直到?jīng)Q定出最佳焦距為止，將所決定出的最佳焦距存儲(chǔ)到上述信息處理單元，對(duì)于第二次以及第二次以后的對(duì)焦，在上述信息處理單元中，根據(jù)上次以前存儲(chǔ)的最佳焦距的偏差來(lái)抽取固定的傾向，施加與該偏差對(duì)應(yīng)的校正來(lái)導(dǎo)出預(yù)測(cè)最佳焦距，首先將上述物鏡與所拍攝部位之間的距離L設(shè)定為上述預(yù)測(cè)最佳焦距，反復(fù)進(jìn)行該距離L的變更和拍攝直到?jīng)Q定出最佳焦距為止，由此進(jìn)行對(duì)焦，并且將所決定出的該最佳焦距存儲(chǔ)到上述信息處理單元。
[0019]發(fā)明的效果
[0020]即，本發(fā)明的電子部件檢查裝置并非將在移動(dòng)載物臺(tái)面上載置的電子部件的檢查對(duì)象部位移動(dòng)至固定的攝像單元的攝像部來(lái)進(jìn)行定位，而是使攝像單元移動(dòng)至要檢查電子部件的部位來(lái)進(jìn)行檢查，能夠?qū)⒀b置設(shè)計(jì)為小型，并且能夠?qū)崿F(xiàn)動(dòng)作的高速化。
[0021]而且，作為取入由顯微鏡部得到的圖像并將其作為圖像數(shù)據(jù)輸出到信息處理單元的照相機(jī)，使用行掃描照相機(jī)，因此，相對(duì)于以往的設(shè)置多個(gè)檢查點(diǎn)、反復(fù)進(jìn)行在各檢查點(diǎn)依次定位攝像單元并拍攝從而取入多個(gè)有限區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)，如果是一般大小的FPC、COF (Chip On Film:覆晶薄膜)，則通常對(duì)每一個(gè)僅拍攝一次就能夠不間斷地以高分辨率取入成為檢查對(duì)象的整個(gè)區(qū)域。因而，在在線使用時(shí)，能夠在與其生產(chǎn)節(jié)拍相應(yīng)的短處理時(shí)間內(nèi)高精度地進(jìn)行整個(gè)區(qū)域/所有數(shù)量的檢查。
[0022]以往的裝置首先在與移動(dòng)載物臺(tái)面平行的方向上對(duì)攝像單元整體進(jìn)行定位，接著在垂直方向上對(duì)該攝像單元整體進(jìn)行定位，與此相對(duì)，在本發(fā)明的裝置中，僅使攝像單元中輕量的顯微鏡部朝向攝像對(duì)象垂直地進(jìn)退，基于此實(shí)現(xiàn)上述行掃描照相機(jī)的搭載。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，為了進(jìn)行對(duì)焦而上下移動(dòng)的顯微鏡部的針對(duì)動(dòng)作指示的響應(yīng)性良好，與以往相比，能夠更正確且迅速地進(jìn)行對(duì)焦。而且，除上述顯微鏡部以外的主體部被牢固地固定于使攝像單元整體相對(duì)于移動(dòng)載物臺(tái)面進(jìn)行平行移動(dòng)的定位單元，因此作為整體不產(chǎn)生由振動(dòng)等引起的抖動(dòng)。因而，能夠?qū)崿F(xiàn)在移動(dòng)一停止一圖像取入這種一系列動(dòng)作中，一邊維持不使以往的定時(shí)延遲的快速動(dòng)作，一邊由行掃描照相機(jī)不受振動(dòng)的影響地取入清晰的圖像。
[0023]另外，在本發(fā)明中，特別是，為了進(jìn)行對(duì)焦而使用內(nèi)置了同軸型激光位移傳感器的自動(dòng)對(duì)焦部，在上述自動(dòng)對(duì)焦部中，顯微鏡部的光學(xué)系統(tǒng)與激光系統(tǒng)同軸，因此攝像區(qū)域與距離測(cè)量點(diǎn)之間的對(duì)位簡(jiǎn)單，并且能夠高精度地進(jìn)行對(duì)位。因而，與對(duì)焦動(dòng)作時(shí)的顯微鏡部的追蹤性良好相輔，尤其是能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高速的對(duì)焦。
[0024]而且，其中，特別是，與上述自動(dòng)對(duì)焦部分開(kāi)地設(shè)置根據(jù)圖像數(shù)據(jù)求出最佳焦距來(lái)進(jìn)行對(duì)焦的特殊的圖像基準(zhǔn)對(duì)焦機(jī)構(gòu)S，能夠通過(guò)開(kāi)關(guān)對(duì)上述自動(dòng)對(duì)焦部和圖像基準(zhǔn)對(duì)焦機(jī)構(gòu)進(jìn)行選擇，這種電子部件檢查裝置能夠根據(jù)成為檢查對(duì)象的電子部件的種類、所要求的檢查精度、生產(chǎn)節(jié)拍等來(lái)選擇對(duì)焦方法，從而可用性良好。
【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1是表示在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中成為檢查對(duì)象的LCD組件的一例的示意性說(shuō)明圖。
[0026]圖2是表示上述實(shí)施方式中的動(dòng)作概要的示意性說(shuō)明圖。
[0027]圖3是作為圖2的A-A’向視圖而示出的攝像單元的說(shuō)明圖。
[0028]圖4是圖3的B-