一種濺射夾具及濺射操作平臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示器領(lǐng)域，特別是涉及一種濺射夾具及濺射操作平臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示面板的制程中，常使用濺射夾具來(lái)固定玻璃基板，以便在玻璃基板上進(jìn)行制程作業(yè)，譬如真空鍍膜，真空鍍膜可用于制作第一金屬層，常用純鋁來(lái)制造第一金屬層。隨著真空鍍膜中所用材料的改進(jìn)，使得濺射夾具的保養(yǎng)周期變長(zhǎng)。保養(yǎng)周期較長(zhǎng)時(shí)，濺射夾具容易造成鍍膜脫落，特別當(dāng)濺射夾具功率達(dá)到15000?30000k/hr時(shí)，這種情況更容易出現(xiàn)；而且因長(zhǎng)時(shí)間鍍膜，鍍膜區(qū)域逐漸由濺射夾具往下擴(kuò)展，最終流入濺射夾具上的螺絲孔內(nèi)形成短路，進(jìn)而出現(xiàn)電弧放電。
[0003]故，有必要提供一種濺射夾具及濺射操作平臺(tái)，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種濺射夾具及濺射操作平臺(tái)，以解決現(xiàn)有的濺射夾具由于長(zhǎng)時(shí)間未保養(yǎng)或者功率太大時(shí)，容易造成鍍膜脫落的技術(shù)問(wèn)題。
[0005]為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種濺射夾具，用于固定基板，以在所述基板上進(jìn)行鍍膜操作，其包括:
[0006]操作基臺(tái)；
[0007]多個(gè)夾具本體，其包括:
[0008]固定件，固定在所述操作基臺(tái)上；
[0009]轉(zhuǎn)軸，用于連接所述固定件與活動(dòng)件；
[0010]所述活動(dòng)件，通過(guò)所述轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)使其相對(duì)所述固定件運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)夾持件移動(dòng)；以及
[0011]所述夾持件，設(shè)置在所述活動(dòng)件上，所述夾持件包括相互連接的支撐部和弧形狀?yuàn)A嘴部；所述弧形狀?yuàn)A嘴部的上表面設(shè)置有多個(gè)用于防止鍍膜脫落的凸起結(jié)構(gòu)。
[0012]在本發(fā)明的濺射夾具中，所述弧形狀?yuàn)A嘴部包括彎折區(qū)域，在所述彎折區(qū)域內(nèi)設(shè)置有用于防止鍍膜脫落的凹槽。
[0013]在本發(fā)明的濺射夾具中，所述支撐部上設(shè)置有螺絲孔，在所述支撐部和所述弧形狀?yuàn)A嘴部之間設(shè)置有擋板，所述擋板用于阻擋所述弧形狀?yuàn)A嘴部上方的鍍膜滑落到所述螺絲孔內(nèi)。
[0014]在本發(fā)明的濺射夾具中，所述擋板的材料為鐵氟龍。
[0015]在本發(fā)明的濺射夾具中，所述擋板為中空狀，所述支撐部和所述弧形狀?yuàn)A嘴部之間設(shè)置有卡槽，所述擋板套在所述卡槽外圍。
[0016]本發(fā)明還提供一種濺射操作平臺(tái)，其包括:
[0017]濺射夾具，用于固定基板，以在所述基板上進(jìn)行鍍膜操作，其中所述濺射夾具包括:
[0018]操作基臺(tái)；
[0019]多個(gè)夾具本體，其包括:
[0020]固定件，固定在所述操作基臺(tái)上；
[0021]轉(zhuǎn)軸，用于連接所述固定件與活動(dòng)件；
[0022]所述活動(dòng)件，通過(guò)所述轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)使其相對(duì)所述固定件運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)夾持件移動(dòng)；
[0023]所述夾持件，設(shè)置在所述活動(dòng)件上，所述夾持件包括相互連接的支撐部和弧形狀?yuàn)A嘴部；所述弧形狀?yuàn)A嘴部的上表面設(shè)置有多個(gè)用于防止鍍膜脫落的凸起結(jié)構(gòu)。
[0024]在本發(fā)明的濺射操作平臺(tái)中，所述弧形狀?yuàn)A嘴部包括彎折區(qū)域，在所述彎折區(qū)域內(nèi)設(shè)置有用于防止鍍膜脫落的凹槽。
[0025]在本發(fā)明的濺射操作平臺(tái)中，所述支撐部上設(shè)置有螺絲孔，在所述支撐部和所述弧形狀?yuàn)A嘴部之間設(shè)置有擋板，所述擋板用于阻擋所述弧形狀?yuàn)A嘴部上方的鍍膜滑落到所述螺絲孔內(nèi)。
[0026]在本發(fā)明的濺射操作平臺(tái)中，所述擋板的材料為鐵氟龍。
[0027]在本發(fā)明的濺射操作平臺(tái)中，所述擋板為中空狀，所述支撐部和所述弧形狀?yuàn)A嘴部之間設(shè)置有卡槽，所述擋板套在所述卡槽外圍。
[0028]本發(fā)明的濺射夾具及濺射操作平臺(tái)，通過(guò)在其上擋板上設(shè)置凸起結(jié)構(gòu)；從而防止鍍膜脫落，進(jìn)一步，在濺射夾具的折彎處設(shè)置凹槽取代凸起結(jié)構(gòu)，以降低生產(chǎn)難度，在濺射夾具的螺絲孔和上擋板之間設(shè)置擋板，從而防止鍍膜區(qū)域往下擴(kuò)展，避免鍍膜流入螺絲孔形成短路。
[0029]為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說(shuō)明如下:
【附圖說(shuō)明】
[0030]圖1為本發(fā)明濺射夾具的俯視圖；
[0031]圖2為圖1中濺射夾具沿AA’方向的剖面示意圖；
[0032]圖3為本發(fā)明夾具本體的放大結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖4為本發(fā)明夾具本體的移動(dòng)過(guò)程示意圖；
[0034]圖5為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的夾具本體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖6為圖5中選定區(qū)域50的放大示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0036]以下各實(shí)施例的說(shuō)明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語(yǔ)，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「?jìng)?cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語(yǔ)是用以說(shuō)明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。
[0037]在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號(hào)表示。
[0038]請(qǐng)參照?qǐng)D1，圖1為本發(fā)明濺射夾具的俯視圖；
[0039]本發(fā)明的濺射夾具如圖1和2所示，用于固定基板，以在所述基板上進(jìn)行鍍膜操作，所述濺射夾具包括:操作基臺(tái)10、多個(gè)夾具本體20，多個(gè)夾具本體從基板的四周夾緊基板，結(jié)合圖3，每個(gè)所述夾具本體20包括:固定件11、轉(zhuǎn)軸12、活動(dòng)件13、夾持件14，所述固定件11固定在所述操作基臺(tái)10上；所述轉(zhuǎn)軸12用于連接所述固定件11與所述活動(dòng)件13 ；可以通過(guò)所述轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)使得所述活動(dòng)件13相對(duì)所述固定件11運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)所述夾持件14移動(dòng)；在使用過(guò)程中，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸12，從而使得所述活動(dòng)件13帶動(dòng)所述夾持件14遠(yuǎn)離或者夾緊基板，譬如所述夾持件14夾緊基板的狀態(tài)為圖4中的30位置，所述夾持件14不需要夾緊基板的狀態(tài)為圖4中的40位置，以及所述夾持件14設(shè)置在所述活動(dòng)件13上，譬如所述活動(dòng)件13開(kāi)有孔，所述夾持件14固定在該孔內(nèi)，該孔的孔徑略大于所述夾持件與所述孔接觸部分的外徑。
[0040]結(jié)合圖5，所述夾持件14包括相互連接的支撐部15和弧形狀?yuàn)A嘴部16 ;結(jié)合圖6，所述弧形狀?yuàn)A嘴部16的上表面設(shè)置有多個(gè)用于防止鍍膜脫落的凸起結(jié)構(gòu)18。所述凸起結(jié)構(gòu)的形狀可為長(zhǎng)方體，優(yōu)選地，所述凸起結(jié)構(gòu)18沿弧形狀?yuàn)A嘴部16的彎曲線的切線方向排布，能夠更好地阻擋鍍膜脫落。還可在所述凸起結(jié)構(gòu)的上設(shè)置多個(gè)凹陷，或者在所述凸起結(jié)構(gòu)的表面上設(shè)置多個(gè)凸點(diǎn)，以便進(jìn)一步阻擋鍍膜脫落。
[0041]由于在鍍膜過(guò)程中，保