光學(xué)元件的制造方法、光學(xué)元件、光學(xué)系統(tǒng)及攝像裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)元件的制造方法、光學(xué)元件、光學(xué)系統(tǒng)及攝像裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在照相機(jī)等光學(xué)設(shè)備中，為了調(diào)節(jié)向透鏡等入射的入射光的光量，使用了光學(xué)光闌、減光(ND:Neutral Density)濾光器等。也在便攜式電話、便攜式終端等中推進(jìn)了照相機(jī)的安裝，也在這種照相機(jī)中使用了光學(xué)光闌(例如，專利文獻(xiàn)I)。將普通的光學(xué)光闌表示在圖1中。光闌910是在由遮光材料形成為板狀的構(gòu)件的中心部分形成開(kāi)口部911而成的，周邊部分的光被遮擋，在形成有開(kāi)口部911的中心部分透射光。圖1的(a)是光闌910的俯視圖，圖1的(b)表示圖1的(a)的單點(diǎn)劃線1A-1B處的光的透射率分布。最近，由于便攜式電話、便攜式終端的小型化、薄型化，照相機(jī)也小型化。因此，所使用的光學(xué)光闌也小型化，但是在小型的光學(xué)光闌910中，在開(kāi)口部911的周圍無(wú)法忽視光的衍射的產(chǎn)生，難以提高分辨率。S卩，要求一種推進(jìn)照相機(jī)的高像素化、另一方面不會(huì)使分辨率劣化的小型的光學(xué)光闌。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利f獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平11-231209號(hào)公報(bào)
[0006]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2011-221120號(hào)公報(bào)
[0007]專利文獻(xiàn)3:日本特許第4428961號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
_8] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0009]作為成為這樣的光學(xué)光闌的光學(xué)元件，如圖2所示，公開(kāi)了一種中心部分的光的透射率較高、且光的透射率從中心部分向周邊部分減少的結(jié)構(gòu)的變跡濾光器(apodizat1nfilter)。另外，圖2的(a)是在中心部分具有開(kāi)口部921的光闌920的俯視圖，圖2的(b)表示圖2的(a)的單點(diǎn)劃線2A-2B處的光的透射率分布。
[0010]另外，這樣的變跡濾光器理想地是被設(shè)計(jì)為透射率分布成為正態(tài)分布，但是由于中心的應(yīng)透射區(qū)域較小，因此制作較難，難以無(wú)偏差、均勻地進(jìn)行制作。另外，在透射率分布為正態(tài)分布的情況下，實(shí)質(zhì)上光的透射光量大大減少，因此存在光學(xué)系統(tǒng)變暗的問(wèn)題。
[0011]本發(fā)明是鑒于如上所述的問(wèn)題而作出的，其目的在于提供一種光的透射率從中心區(qū)域向周邊區(qū)域單調(diào)地減少且提高了中心區(qū)域的透射率、并且均勻的光學(xué)元件及其制造方法。
_2] 用于解決問(wèn)題的方案
[0013]根據(jù)本實(shí)施方式的一技術(shù)方案，提供一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述光學(xué)元件具有:由吸收一部分或全部光的材料形成的光吸收部、和在所述光吸收部上由透射光的材料形成的透光部，從中心向周邊形成有中心區(qū)域、中間區(qū)域、周邊區(qū)域，所述中心區(qū)域中幾乎未形成所述光吸收部，所述中間區(qū)域中，從所述中心區(qū)域側(cè)向周邊區(qū)域側(cè)，所述光吸收部的厚度逐漸變厚，該制造方法包括如下的工序:在透明基板上涂布用于形成光吸收部的光吸收性樹(shù)脂材料的工序；將具有與所述光吸收部的形狀相對(duì)應(yīng)的凹凸形狀的成型模具按壓在所涂布的所述光吸收性樹(shù)脂材料上的工序；在所述成型模具被按壓在所述光吸收性樹(shù)脂材料上的狀態(tài)下照射紫外線，由此使所述光吸收性樹(shù)脂材料固化而形成光吸收部的工序；和照射所述紫外線之后將所述成型模具剝離的工序，所述成型模具的與成為凸部的上表面的中心區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分平坦地形成。
[0014]另外，根據(jù)本實(shí)施方式的其他一技術(shù)方案，提供一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述光學(xué)元件具有:由吸收一部分或全部光的材料形成的光吸收部、和在所述光吸收部上由透射光的材料形成的透光部，從中心向周邊形成有中心區(qū)域、中間區(qū)域、周邊區(qū)域，所述中心區(qū)域中幾乎未形成所述光吸收部，所述中間區(qū)域中，從所述中心區(qū)域側(cè)向周邊區(qū)域側(cè)，所述光吸收部的厚度逐漸變厚，該制造方法包括如下的工序:在具有與所述光吸收部的形狀相對(duì)應(yīng)的凹凸形狀的成型模具上涂布光吸收性樹(shù)脂材料的工序；將透明基板按壓在所涂布的所述光吸收性樹(shù)脂材料上的工序；在所述透明基板被按壓在所述光吸收性樹(shù)脂材料上的狀態(tài)下照射紫外線，由此使所述光吸收性樹(shù)脂材料固化而形成光吸收部的工序；和照射所述紫外線之后將所述成型模具剝離的工序，所述成型模具的與成為凸部的上表面的中心區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分平坦地形成。
[0015]另外，根據(jù)本實(shí)施方式的其他一技術(shù)方案，提供一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述光學(xué)元件具有:在基材上由吸收一部分或全部光的材料形成的光吸收部、和在所述光吸收部上由透射光的光透明材料形成的透光部，從中心向周邊同心圓狀地形成有中心區(qū)域、中間區(qū)域、周邊區(qū)域，所述中心區(qū)域中幾乎未形成所述光吸收部，所述中間區(qū)域中，從所述中心區(qū)域側(cè)向周邊區(qū)域側(cè)，所述光吸收部的厚度逐漸變厚，將中心區(qū)域與中間區(qū)域的邊界的直徑設(shè)為Φ1、將中間區(qū)域與周邊區(qū)域的邊界的直徑設(shè)為Φ2時(shí)，滿足0.3<Φ1/Φ2〈0.7，該制造方法包括如下的工序:使用成型模具形成所述光吸收部的工序，所述成型模具從中心向周邊同心圓狀地形成有中心區(qū)域、中間區(qū)域、周邊區(qū)域，所述中心區(qū)域的凹凸的高度最高、且為平坦，所述中間區(qū)域具有凹凸的高度從所述中心區(qū)域側(cè)向周邊區(qū)域側(cè)逐漸降低的凹凸面；在所述光吸收部上以使表面平坦的方式層疊光透明材料的工序。
[0016]另外，根據(jù)本實(shí)施方式的其他一技術(shù)方案，提供一種光學(xué)元件，其特征在于，其具有在基材上由吸收一部分或全部光的材料形成的光吸收部、和在所述光吸收部上由透射光的光透明材料形成的透光部，從中心向周邊同心圓狀地形成有中心區(qū)域、中間區(qū)域、周邊區(qū)域，所述中心區(qū)域中幾乎未形成所述光吸收部，所述中間區(qū)域中，所述光吸收部的厚度從所述中心區(qū)域側(cè)向周邊區(qū)域側(cè)逐漸變厚，將中心區(qū)域與中間區(qū)域的邊界的直徑設(shè)為Φ 1、將中間區(qū)域與周邊區(qū)域的邊界的直徑設(shè)為Φ 2時(shí)，滿足0.3〈 Φ I/ Φ 2<0.7。
[0017]另外，根據(jù)本實(shí)施方式的其他一技術(shù)方案，提供一種光學(xué)元件，其特征在于，其具有在基材上由吸收一部分或全部光的材料形成的光吸收部、和在所述光吸收部上由透射光的光透明材料形成的透光部，從中心向周邊同心圓狀地形成有中心區(qū)域、中間區(qū)域、周邊區(qū)域，所述中心區(qū)域中幾乎未形成所述光吸收部，所述中間區(qū)域中，所述光吸收部的厚度從所述中心區(qū)域側(cè)向周邊區(qū)域側(cè)逐漸變厚，將中心區(qū)域與中間區(qū)域的邊界的直徑設(shè)為Φ 1、將中間區(qū)域與周邊區(qū)域的邊界的直徑設(shè)為Φ 2時(shí)，滿足0.3〈 Φ I/ Φ 2<0.9。
[0018]另外，根據(jù)本實(shí)施方式的其他一技術(shù)方案，提供一種光學(xué)元件，其特征在于，其具有由吸收一部分或全部光的材料形成的光吸收部、和在所述光吸收部上由透射光的材料形成的透光部，從中心向周邊形成有中心區(qū)域、中間區(qū)域、周邊區(qū)域，所述中心區(qū)域中幾乎未形成所述光吸收部，所述中間區(qū)域中，所述光吸收部的厚度從所述中心區(qū)域側(cè)向周邊區(qū)域側(cè)逐漸變厚，所述光吸收部是通過(guò)在所涂布的光吸收性樹(shù)脂材料上抵接具有與所述光吸收部的形狀相對(duì)應(yīng)的凹凸形狀的成型模具并照射紫外線而形成的，所述成型模具的與成為凸部的上表面的中心區(qū)域相對(duì)應(yīng)的部分平坦地形成。
[0019]另外，根據(jù)本實(shí)施方式的其他一技術(shù)方案，提供一種光學(xué)元件，其特征在于，其具有由吸收一部分或全部光的材料形成的光吸收部、和在所述光吸收部上由透射光的材料形成的透光部，從中心向周邊形成有中心區(qū)域、中間區(qū)域、周邊區(qū)域，所述中心區(qū)域中幾乎未形成所述光吸收部，所述中間區(qū)域中，所述光吸收部的厚度從所述中心區(qū)域側(cè)向周邊區(qū)域側(cè)逐漸變厚，所述中心區(qū)域中的透射率最低的點(diǎn)相對(duì)于透射率最高的點(diǎn)的透射率之比為0.95以上、或所述中心區(qū)域中的透射率最低的點(diǎn)的光吸收部的厚度為0.2 ym以下。
[0020]發(fā)明的效果
[0021]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種在光的透射率從中心區(qū)域向周邊區(qū)域單調(diào)地減少的光學(xué)元件中提高了中心區(qū)域的透射率、并且均勻的光學(xué)元件及其制造方法。
【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1是光闌的說(shuō)明圖。
[0023]圖2是變跡濾光器的說(shuō)明圖。
[0024]圖3是第I實(shí)施方式中的光學(xué)元件的結(jié)構(gòu)圖。
[0025]圖4是第I實(shí)施方式中的光學(xué)元件的說(shuō)明圖。
[0026]圖5是光學(xué)元件中的Φ I/ Φ 2與MTF及透射率之間的關(guān)系圖。
[0027]圖6是第2實(shí)施方式中的光學(xué)元件的制造方法的工序圖(I)。
[0028]圖7是第2實(shí)施方式中的光學(xué)元件的制造方法的工序圖(2)。
[0029]圖8是第2實(shí)施方式中的光學(xué)元件的制造方法所使用的成型模具的說(shuō)明圖。
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