要靠兩個腔內(nèi)的壓力 的改變實現(xiàn)連接桿42的長度的變化。該調(diào)節(jié)裝置1包括第一調(diào)節(jié)腔41、第二調(diào)節(jié)腔43、微 穿孔板連接桿42以及移動板44。
[0043] 圖14為在線主動吸聲系統(tǒng)的一個實例圖，其包含噪聲測試麥克風(fēng)501b、降噪效 果測試麥克風(fēng)501a，噪聲頻率分析儀502、一個處理器504、一個控制器506、在線微穿孔吸 聲裝置508。通過噪聲測試系統(tǒng)識別噪聲頻率信息502,然后將頻率信息503發(fā)送到處理 器504。處理器504將頻率信息轉(zhuǎn)換成控制信號505?？刂破?06接收到控制信號后輸出 驅(qū)動信號507實現(xiàn)微穿孔板的空腔深度和角度的調(diào)節(jié)，降噪效果麥克風(fēng)501a采集經(jīng)過吸 聲后的噪聲信息，反饋給處理器504,處理器504對反饋過來的信息進行進一步處理，再次 進行吸聲結(jié)構(gòu)的角度和深度的調(diào)節(jié)，直到達到人為設(shè)定的吸聲效果。對于本發(fā)明的頻率吸 聲系數(shù)隨空腔深度及角度變化的信息，可以根據(jù)微穿孔板相關(guān)理論推出，共振頻率可以按 照技術(shù)方案1中微穿孔板共振頻率計算公式進行計算，吸聲系數(shù)可以按照下式進行計算，
結(jié)構(gòu)的相對聲阻率、相對聲抗率共振時聲抗率為〇,對于吸聲帶寬，可以按照下式進行計算，
聲波波長，r為相對聲阻率，無量綱量。同時本發(fā)明的頻率吸聲系數(shù)隨空腔深度及角度變化 的信息也可以根據(jù)噪聲測試實驗得出，通過測試有無本裝置的噪聲信息，對二者進行比對 即可得出吸聲系數(shù)隨頻率變化的關(guān)系，然后改變空腔厚度和角度進行重復(fù)測試，即可以得 出不同空腔厚度和角度下的吸聲性能。對于本發(fā)明的處理器，其可以將理論推出或者實驗 測出的吸聲系數(shù)隨調(diào)節(jié)參數(shù)變化的關(guān)系與噪聲測試頻率信息進行處理，建立最佳吸聲性能 的調(diào)節(jié)參數(shù)和實際噪聲頻率信號的關(guān)系；對于本發(fā)明的噪聲測試裝置，其具有噪聲信號頻 譜分析的功能；對于本發(fā)明的控制裝置，其具有將處理器發(fā)送過來的調(diào)節(jié)信息轉(zhuǎn)化為控制 信號，施加于在線調(diào)節(jié)裝置。該在線主動吸聲系統(tǒng)相比與傳統(tǒng)的有源消聲，其無需外接聲源 和相位器即可實現(xiàn)在線主動吸聲，其具有更好的經(jīng)濟性和實用性。
[0044] 圖15為本發(fā)明的角度和深度調(diào)節(jié)流程圖，對圖6的實施例進行調(diào)節(jié)，通過微穿孔 板前后兩個麥克風(fēng)測試的噪聲信號701a和701b，首先對位于對角線的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)進行調(diào)節(jié) 從而實現(xiàn)角度Rx的調(diào)節(jié)，待達到滿意的吸聲后。再進行位于同一直線的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的調(diào)節(jié)， 從而實現(xiàn)角度Ry的調(diào)節(jié)，待達到滿意的吸聲后，再對四個調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)進行調(diào)節(jié)，來調(diào)節(jié)其吸 聲頻率，最終通過角度和深度的調(diào)節(jié)達到最佳的吸聲效果。本調(diào)節(jié)方法也可根據(jù)實際情況 進行順序上的改變，可以先調(diào)節(jié)深度，再調(diào)節(jié)Rx角度，最后調(diào)節(jié)Ry角度；也可以先調(diào)節(jié)Rx 角度，再調(diào)節(jié)深度，最后調(diào)節(jié)Ry角度。
[0045]本發(fā)明可以應(yīng)用于光刻機裝置多個位置的降噪，如圖16所7K，光刻機內(nèi)部易受噪 聲影響部件為主基板40,物鏡50,測量分系統(tǒng)（圖中未示出）。來自基礎(chǔ)框架100的振動可 以通過減振器30有效地隔離，噪聲成為光刻機內(nèi)部世界主要的振動源，隨著光刻機精度要 求越來越高，噪聲對內(nèi)部世界的影響不能被忽略。從目前的研究來看，主要的噪聲源有掩膜 臺70、工件臺20運動噪聲，外部環(huán)境噪聲110,以及氣浴系統(tǒng)噪聲80,電氣噪聲90,由于光 刻機內(nèi)部為封閉空間，不僅要考慮直達聲對內(nèi)部世界影響，混響噪聲同樣需要考慮。本發(fā)明 裝置100可裝在于防護框架上，提高光刻機內(nèi)部吸聲能力，降低混響噪聲；可以放置在氣浴 管道90外側(cè)，降低氣浴噪聲；可放置在物鏡安裝點和物鏡周圍，降低噪聲引起的物鏡振動。 考慮到實際光刻機的安裝空間，該吸聲結(jié)構(gòu)的角度調(diào)節(jié)范圍一般為0度到40度，空腔厚度 調(diào)節(jié)范圍為20-100mm。
[0046] 本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提出了一種用于調(diào)節(jié)微穿孔板深度的同時還 可以調(diào)節(jié)角度的調(diào)節(jié)機構(gòu)，配以弧形微穿孔板，通過該調(diào)節(jié)機構(gòu)可以改變微穿孔板的空間 姿態(tài)，從而使得噪聲最大限度的垂直輻射與微穿孔板上，達到最佳吸聲效果。
[0047] 相對于現(xiàn)有技術(shù)壓電薄膜、彈簧等調(diào)節(jié)方法，本發(fā)明提出采用氣壓調(diào)節(jié)、液壓調(diào)節(jié) 以及機械調(diào)節(jié)等方法進行離線或在線調(diào)節(jié)，具有更好的主動控制性，可同時調(diào)節(jié)角度和空 腔深度。離線調(diào)節(jié)主要是應(yīng)用于穩(wěn)定噪聲源，光刻機環(huán)境發(fā)生突變時，僅需要對調(diào)節(jié)裝置進 行簡單調(diào)節(jié)即可，而不用更換零件；在線調(diào)節(jié)主要針對于光刻機聲源發(fā)生頻移，通過噪聲傳 感器拾取信號，輸出到調(diào)整裝置，使得微穿孔板處在最佳的空間位置，從而達到最佳吸聲效 果。
[0048] 與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明提出的角度、深度同時調(diào)節(jié)機構(gòu)，采用氣壓、液壓或者 機械控制的方法，控制原理簡單，可實現(xiàn)性強，無需外接聲源即可達到降噪的目的，可以外 接噪聲測試設(shè)備實現(xiàn)實時調(diào)整微穿孔板的吸聲性能，從而達到主動吸聲的效果，可以用于 光刻機不同分系統(tǒng)的降噪，如可用于框架降噪、氣浴降噪、物鏡降噪等。
[0049] 本說明書中所述的只是本發(fā)明的較佳具體實施例，以上實施例僅用以說明本發(fā)明 的技術(shù)方案而非對本發(fā)明的限制。凡本領(lǐng)域技術(shù)人員依本發(fā)明的構(gòu)思通過邏輯分析、推理 或者有限的實驗可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1. 一種用于光刻設(shè)備的吸聲裝置，其特征在于，所述吸聲裝置包括一弧形微穿孔板以 及支撐所述弧形微穿孔板的調(diào)節(jié)裝置組成，所述弧形微穿孔板上包括若干微穿孔，所述調(diào) 節(jié)裝置與所述微穿孔板球鉸鏈連接；所述調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)所述微穿孔板相對于被吸聲器件的 距離及角度。2. 如權(quán)利要求1所述的吸聲裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置的數(shù)量為大于等于三個。3. 如權(quán)利要求1所述的吸聲裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置包括一連接桿與位于所 述連接桿外部的套筒組成。4. 如權(quán)利要求3所述的吸聲裝置，其特征在于，所述連接桿與所述套筒通過若干調(diào)節(jié) 定位孔保持相對位置固定。5. 如權(quán)利要求3所述的吸聲裝置，其特征在于，所述連接桿與所述套筒通過螺紋保持 相對位置固定。6. 如權(quán)利要求3所述的吸聲裝置，其特征在于，所述套筒包括一支撐單元以及位于所 示支撐單元上方的一調(diào)節(jié)腔，所述支撐單元與所述調(diào)節(jié)腔之間通過一移動板連接。7. 如權(quán)利要求3所述的吸聲裝置，其特征在于，所述套筒包括一支撐單元以及第一第 二調(diào)節(jié)腔，所述第一第二調(diào)節(jié)腔之間通過一移動板連接。8. 如權(quán)利要求1所述的吸聲裝置，其特征在于，所述微穿孔板的材料可以是以下材料 中的一種或幾種：硬質(zhì)纖維板、膠合板、石膏板、纖維水泥板、鋼板、鋁板。9. 如權(quán)利要求1所述的吸聲裝置，其特征在于，所述微穿孔的形式為圓孔、圓錐孔或縫 隙結(jié)構(gòu)。10. 如權(quán)利要求6所述的吸聲裝置，其特征在于，所述移動板通過一氣壓控制裝置、液 壓控制裝置或機械控制裝置控制移動。11. 一種對權(quán)利要求1-10中任意一項權(quán)利要求所保護的吸聲裝置的控制方法，其特征 在于：包括以下步驟： 步驟1，通過噪聲測試系統(tǒng)識別噪聲頻率信息，然后將頻率信息發(fā)送到處理器； 步驟2,處理器將頻率信息轉(zhuǎn)換成控制信號，控制器接收到控制信號后輸出驅(qū)動信號至 吸聲裝置； 步驟3,控制吸聲裝置中的微穿孔板的空腔深度和角度調(diào)節(jié)； 步驟4,降噪效果麥克風(fēng)采集經(jīng)過吸聲后的噪聲信息，反饋給處理器，并進入步驟2,直 到達到設(shè)定的吸聲效果。12. -種使用權(quán)利要求1-10中任意一項權(quán)利要求保護的吸聲裝置的光刻機，其特征在 于：所述吸聲裝置安裝在框架上、測量系統(tǒng)上、物鏡系統(tǒng)上或氣浴系統(tǒng)上，所述吸聲裝置相 對于其安裝位置的調(diào)整角度為〇至40度。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種用于光刻設(shè)備的吸聲裝置，其特征在于，該吸聲裝置包括一弧形微穿孔板以及支撐該弧形微穿孔板的調(diào)節(jié)裝置組成，該弧形微穿孔板上包括若干微穿孔，該調(diào)節(jié)裝置與該微穿孔板球鉸鏈連接；所述調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)所述微穿孔板相對于被吸聲器件的距離及角度。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號】CN105242496
【申請?zhí)枴緾N201410330541
【發(fā)明人】徐士龍, 鐘亮, 王璟, 季采云
【申請人】上海微電子裝備有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2014年7月11日