保管容器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及保管容器。
【背景技術(shù)】
[0002]對(duì)用于半導(dǎo)體等曝光的中間掩膜而言,在進(jìn)行輸送、保管時(shí)為了保護(hù)其遠(yuǎn)離塵、埃而需要保持為干凈的狀態(tài)。因此,在保管中間掩膜的保管容器中,向其內(nèi)部供給吹掃氣體(干凈氣體)(例如,參照專利文獻(xiàn)1)。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本專利4215079號(hào)公報(bào)
[0004]保管容器有將收納中間掩膜的保管部上下重疊多層的結(jié)構(gòu)。在這樣的保管容器中,一般從一個(gè)位置的供給部向內(nèi)部供給吹掃氣體,經(jīng)由遍及上下設(shè)置的流路向各保管部供給吹掃氣體。在該情況下,在保管容器內(nèi)中,在接近供給部的部分,吹掃氣體的流速快,而在遠(yuǎn)離供給部的部分,吹掃氣體的流速慢。因此,在保管容器中,吹掃氣體的流速變得不均勻,其結(jié)果是,存在在保管部中的吹掃氣體的氣氛產(chǎn)生差異的顧慮。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的目的是提供一種實(shí)現(xiàn)吹掃氣體的流速均勻化的保管容器。
[0006]本發(fā)明的一個(gè)方面的保管容器設(shè)有多層具有收納物品的收納區(qū)域的保管部,其特征在于,具備:供給部,其供給吹掃氣體;管道部,其在多個(gè)保管部重疊的狀態(tài)下遍及多個(gè)保管部地連通而成為從供給部供給的吹掃氣體的流路;以及導(dǎo)入部,其將管道部與收納區(qū)域連通并將吹掃氣體向收納區(qū)域?qū)?,在管道部的吹掃氣體的流路配置有擴(kuò)散部件。
[0007]在該保管容器中,在管道部的吹掃氣體的流路配置有擴(kuò)散部件。由此,在保管容器中,吹掃氣體通過(guò)擴(kuò)散部件而被擴(kuò)散。因此,在保管容器中,例如將擴(kuò)散部件配置于流速快的部分,從而能夠降低流速。因此,在保管容器中,能夠?qū)崿F(xiàn)吹掃氣體的流速的均勻化。其結(jié)果是,在保管容器中,即使在通常流速快的部分,吹掃氣體也能大范圍地遍及,所以能夠抑制各保管部的吹掃氣體的氣氛的差異。
[0008]在一實(shí)施方式中,擴(kuò)散部件也可以是從管道部的內(nèi)壁突出的板狀的部件。由此,在保管容器中,能夠通過(guò)簡(jiǎn)易的結(jié)構(gòu)使吹掃氣體擴(kuò)散,所以能夠通過(guò)簡(jiǎn)易的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)吹掃氣體的流速的均勻化。
[0009]在一實(shí)施方式中,擴(kuò)散部件可以配置于被從供給部供給的吹掃氣體的流入方向的延長(zhǎng)線上。吹掃氣體在從供給部的流入方向流速變快。因此,將擴(kuò)散部件配置于吹掃氣體的流入方向的延長(zhǎng)線上,由此能夠有效地使吹掃氣體擴(kuò)散,能夠有效能夠?qū)崿F(xiàn)流速的均勻化。
[0010]在一實(shí)施方式中,擴(kuò)散部件可以設(shè)置于在供給部的附近配置的保管部。吹掃氣體在接近供給部的部分的流速變快,在遠(yuǎn)離供給部的部分的流速變慢。因此,在保管容器中,將擴(kuò)散部件設(shè)置于在供給部的附近配置的保管部。由此,在保管容器中,利用擴(kuò)散部件使吹掃氣體擴(kuò)散,由此能夠降低接近供給部的部分的吹掃氣體的流速。因此,在保管容器中,能夠很好地實(shí)現(xiàn)吹掃氣體的流速的均勻化。
[0011]在一實(shí)施方式中,擴(kuò)散部件的面積可以根據(jù)距供給部的距離而不同。如上述那樣,吹掃氣體在接近供給部的部分的流速變快,在遠(yuǎn)離供給部的部分的流速變慢。因此,在保管容器中,例如增大配置于接近供給部的位置的擴(kuò)散部件的面積,由此能夠更有效地使吹掃氣體擴(kuò)散。其結(jié)果是,在保管容器中,能夠很好地實(shí)現(xiàn)吹掃氣體的流速的均勻化。
[0012]根據(jù)本發(fā)明,能實(shí)現(xiàn)吹掃氣體的流速的均勻化。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是一實(shí)施方式的保管容器的主視圖。
[0014]圖2是圖1所示的保管容器的側(cè)視圖。
[0015]圖3是圖1所示的保管容器的仰視圖。
[0016]圖4是圖1所示的保管容器的俯視圖。
[0017]圖5是示出底部的立體圖。
[0018]圖6是示出保管部的立體圖。
[0019]圖7是示出底部與保管部重疊的狀態(tài)的立體圖。
[0020]圖8是示出沿圖7的VII1-VIII線處的剖面結(jié)構(gòu)的圖。
[0021]圖9是示出沿圖7的IX-1X線處的剖面結(jié)構(gòu)的圖。
[0022]圖10是示出蓋部的立體圖。
[0023]圖11是示出圖10的X1-XI線處的剖面結(jié)構(gòu)的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]以下,參照附圖,詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。此外,在附圖的說(shuō)明中對(duì)相同或者相當(dāng)?shù)囊貥?biāo)注相同附圖標(biāo)記,并省略重復(fù)的說(shuō)明。
[0025]圖1是一實(shí)施方式的保管容器的主視圖。圖2是圖1所示的保管容器的側(cè)視圖。圖3是圖1所示的保管容器的仰視圖。圖4是圖1所示的保管容器的俯視圖。各圖所示的保管容器1例如是將中間掩膜(物品)保管在干凈的氣氛的容器。此外,保管于保管容器1的物品不限定于中間掩膜。
[0026]保管容器1具備底部3、保管部5、蓋部7。保管部5上下層疊有多層(這里為11個(gè))。在以下的說(shuō)明中,將圖1的左右作為“右”、“左”,將圖2的左右作為“后”、“前”。
[0027]圖5是不出底部的立體圖。如圖5所不,底部3是板狀的部件。在底部3設(shè)置有向保管容器1內(nèi)供給吹掃氣體的供給部10。供給部10配置于底部3的后部且在左右方向的大致中央部。供給部10例如呈近似圓形,是貫通底部3的貫通孔。供給部10的形狀沒有特別限定,例如也可以是矩形、梯形。從未圖示的供給源向供給部10供給吹掃氣體。在底部3設(shè)置有與保管部5卡合的卡合部12a、12b??ê喜?2a、12b是筒狀的部件,在底部3的后部相互在左右方向分離而配置。
[0028]圖6是示出保管部的立體圖。如圖6所示,保管部5具備側(cè)部20a、20b、20c、20d、管道部22、導(dǎo)入部24。側(cè)部20a?20d形成收納中間掩膜的近似矩形的收納區(qū)域S。在側(cè)部20a?20d的內(nèi)壁設(shè)置有支承中間掩膜的支承部26a、26b、26c、26d。在位于左右以及后部的側(cè)部20a?20d的外側(cè)設(shè)置有凸緣部28a、28b、28c。在凸緣部28c設(shè)置有與保管部5卡合的卡合部29a、29b??ê喜?9a、29b是筒狀的部件,在凸緣部28c上以相互在左右方向分離的方式配置。
[0029]管道部22形成吹掃氣體的流路。管道部22配置于保管部5的后部,位于側(cè)部20a與凸緣部28c之間。管道部22沿保管部5的左右方向設(shè)置。在管道部22設(shè)置有分隔部30a、30b、30c、30d。分隔部30a?30d在管道部22中沿左右方向空開規(guī)定的間隔而配置有多個(gè)(這里為4個(gè))。管道部22在保管部5被層疊時(shí)與其它保管部5的管道部22連通。
[0030]圖7是示出底部與保管部重疊的狀態(tài)的立體圖。在圖7中,在底部3上層疊有2個(gè)保管部5。圖8是示出圖7的VII1-VIII線處的剖面結(jié)構(gòu)的圖。圖9是示出圖7的IX-1X線處的剖面結(jié)構(gòu)的圖。如圖8所示,分隔部30a?30d沿上下方向延伸。分隔部30a?30d的下端部位于比保管部5的底面更靠上方。S卩,如圖8所示,在保管部5被層疊的狀態(tài)下,分隔部30a?30d與鄰接的分隔部30a?30d之間形成空間。由此,在管道部22形成了沿左右方向流動(dòng)吹掃氣體的流路。
[0031]在本實(shí)施方式中,在上下層疊的多個(gè)保管部5中,在一部分的保管部5的管道部22設(shè)置有擴(kuò)散部件32。具體而言,例如,在多個(gè)保管部5中,在配置于保管容器1的下部側(cè)的保管部5的管道部22設(shè)置有擴(kuò)散部件32。擴(kuò)散部件32是從管道部22的內(nèi)壁22a突