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      基板型光波導(dǎo)元件、偏振復(fù)用4值相位調(diào)制器、相干接收機(jī)及偏振分集的制作方法_6

      文檔序號(hào):9630804閱讀:來源:國知局
      是俯視圖,圖43B是圖43A的剖面位置(a)中的剖視圖。
      [0629]基板型光波導(dǎo)元件170 (模式轉(zhuǎn)換元件)除了代替纖芯105具有纖芯175以外,是 與圖35A以及35B所示的基板型光波導(dǎo)元件120相同的構(gòu)成。
      [0630] 纖芯175具備相互并列的一對(duì)纖芯部1、2、在纖芯部1、2之間連接它們而形成的 板部16 (中間區(qū)域)、以及從纖芯部1、2分別向?qū)挾确较虻耐鈧?cè)延伸突出而形成的板部17、 18 (外側(cè)延伸突出區(qū)域)。在圖43A中,對(duì)板部16~18畫陰影。
      [0631] 板部17、18與板部16相同地,與纖芯部1、2相比較低地形成。
      [0632] 板部16~18的下表面與纖芯部1、2的下表面在同一水平面。纖芯部1、2從板部 16~18的上表面向上方突出。
      [0633] 纖芯175通過不僅在纖芯部1、2的寬度方向的一方側(cè)(內(nèi)側(cè))在另一方側(cè)(外 偵D也設(shè)置有板部17、18,來形成所謂的肋拱形波導(dǎo)。
      [0634] 纖芯175具有前段模式轉(zhuǎn)換部178、以及后段模式轉(zhuǎn)換部179。
      [0635] 在基板型光波導(dǎo)元件170中,因?yàn)槔w芯175具有板部16~18,所以與沒有板部的 情況相比提高波導(dǎo)間的光的耦合,能夠進(jìn)行短距離中的超模的生成,能夠縮短設(shè)備長度。
      [0636] 基板型光波導(dǎo)元件170具有向纖芯部1、2的外側(cè)延伸突出的板部17、18,所以向纖 芯部1、2的外側(cè)的光的滲出變大,所以與圖35A以及35B所示的基板型光波導(dǎo)元件120相 比,耦合系數(shù)X變小。然而,在能夠減小在干式蝕刻等的工序上產(chǎn)生的由于纖芯部的側(cè)壁 的粗糙(粗面化)造成的負(fù)面影響(由于光散射的損失增大)的點(diǎn)上變得有利。
      [0637] 能夠減小纖芯部的側(cè)壁的粗糙的影響是因?yàn)?,在基板型光波?dǎo)元件170中,由于 在纖芯部1、2的兩側(cè)具有板部16~18,所以纖芯部1、2的側(cè)面的面積小。
      [0638]因此,從使由側(cè)壁粗糙造成的損失降低的觀點(diǎn)來看,優(yōu)選本實(shí)施例(肋拱形波 導(dǎo))。
      [0639](實(shí)施例9)
      [0640] <基板型光波導(dǎo)元件>
      [0641] 圖44是表示本發(fā)明的實(shí)施例9的基板型光波導(dǎo)元件180的俯視圖。
      [0642] 基板型光波導(dǎo)元件180 (模式轉(zhuǎn)換元件)除了第一纖芯部1具有單側(cè)錐形波導(dǎo)25, 第二纖芯部2具有單側(cè)錐形波導(dǎo)26以外,是與圖35A以及35B所示的基板型光波導(dǎo)元件 120相同的構(gòu)成。
      [0643] 單側(cè)錐形波導(dǎo)25設(shè)置于直線波導(dǎo)23的輸入側(cè),單側(cè)錐形波導(dǎo)26設(shè)置于彎曲波導(dǎo) 24的輸入側(cè)。
      [0644] 圖45A~45C是表示單側(cè)錐形波導(dǎo)26的一個(gè)例子的圖,圖45A是輸入端的剖視圖, 圖45B是俯視圖,圖45C是輸出端的剖視圖。
      [0645] 單側(cè)錐形波導(dǎo)26具有肋拱形部181、以及在肋拱形部181的一方的側(cè)面從肋拱形 部181延伸突出而形成的板部182。
      [0646] 肋拱形部181在長度方向上寬度為恒定。
      [0647] 板部182在肋拱形部181的長度方向上形成為從一端181a朝向另一端181b逐漸 變寬幅的錐形狀。
      [0648] 板部182以肋拱形部181的一端181a為起點(diǎn)形成。因此,單側(cè)錐形波導(dǎo)26在輸 入端26a中是矩形波導(dǎo),在輸出端26b中是半肋拱形波導(dǎo)。
      [0649] 也能夠在單側(cè)錐形波導(dǎo)25采用相同的構(gòu)造。
      [0650] 因此,通過使用單側(cè)錐形波導(dǎo)25、26,能夠使外部的矩形波導(dǎo)183、184與半肋拱形 波導(dǎo)(直線波導(dǎo)23以及彎曲波導(dǎo)24)的連接位置中的波導(dǎo)構(gòu)造的長度方向的變化緩慢,實(shí) 現(xiàn)低損失的連接。
      [0651] 在圖44所示的基板型光波導(dǎo)元件180中,假定了僅在單側(cè)有板部的半肋拱形波 導(dǎo)與矩形波導(dǎo)的連接,但在兩側(cè)有板部的肋拱形波導(dǎo)與矩形波導(dǎo)的連接的情況下,使用圖 46A~46C所示的兩側(cè)錐形波導(dǎo)27即可。
      [0652] 兩側(cè)錐形波導(dǎo)27具有肋拱形部181、以及分別形成于肋拱形部181的兩側(cè)面的板 部 182〇
      [0653] 板部182以一端181a作為起點(diǎn)形成,所以兩側(cè)錐形波導(dǎo)27在輸入端中是矩形波 導(dǎo),在輸出端中是肋拱形波導(dǎo)。
      [0654] 因此,通過使用兩側(cè)錐形波導(dǎo)27,能夠在外部的矩形波導(dǎo)與在兩側(cè)有板部的肋拱 形波導(dǎo)的連接位置中實(shí)現(xiàn)低損失的連接。
      [0655](實(shí)施例 10)
      [0656] <基板型光波導(dǎo)元件>
      [0657]圖47是表示作為實(shí)施例10的基板型光波導(dǎo)元件130的俯視圖。該實(shí)施例是在前 段模式轉(zhuǎn)換部與后段模式轉(zhuǎn)換部之間設(shè)置了中間纖芯部的構(gòu)造的第四例。
      [0658] 基板型光波導(dǎo)元件130除了在纖芯部31、32之間形成有板部16以外,是與圖19 所示的基板型光波導(dǎo)元件30相同的構(gòu)成。
      [0659] 在基板型光波導(dǎo)元件130中,也與基板型光波導(dǎo)元件30相同地,能夠通過設(shè)置具 有錐形構(gòu)造的中間纖芯部34,來用低損失連接前段模式轉(zhuǎn)換部38和后段模式轉(zhuǎn)換部39。
      [0660](實(shí)施例11)
      [0661] <基板型光波導(dǎo)元件>
      [0662]圖48是表示作為實(shí)施例11的基板型光波導(dǎo)元件140的俯視圖。該實(shí)施例是在前 段模式轉(zhuǎn)換部與后段模式轉(zhuǎn)換部之間設(shè)置了中間纖芯部的構(gòu)造的第五例。
      [0663] 基板型光波導(dǎo)元件140除了在纖芯部41、42之間形成有板部16以外,是與圖20 所示的基板型光波導(dǎo)元件40相同的構(gòu)成。
      [0664] 在基板型光波導(dǎo)元件140中,也與基板型光波導(dǎo)元件40相同地,能夠通過設(shè)置直 線狀的中間纖芯部44,來提高后段模式轉(zhuǎn)換部49的配置的自由度。
      [0665](實(shí)施例I2)
      [0666] <基板型光波導(dǎo)元件>
      [0667] 圖49是表示作為實(shí)施例12的基板型光波導(dǎo)元件150的俯視圖。該實(shí)施例是在前 段模式轉(zhuǎn)換部與后段模式轉(zhuǎn)換部之間設(shè)置了中間纖芯部的構(gòu)造的第六例。
      [0668] 基板型光波導(dǎo)元件150除了在纖芯部51、52之間形成有板部16以外,是與圖21 所示的基板型光波導(dǎo)元件50相同的構(gòu)成。
      [0669] 在基板型光波導(dǎo)元件150中,也與基板型光波導(dǎo)元件50相同地,能夠通過設(shè)置彎 曲形狀的中間纖芯部54,來提高后段模式轉(zhuǎn)換部59的配置的自由度。
      [0670](實(shí)施例13)
      [0671] <基板型光波導(dǎo)元件(偏振轉(zhuǎn)換元件)>
      [0672]圖50是表示作為實(shí)施例13的基板型光波導(dǎo)元件160 (偏振轉(zhuǎn)換元件)的示意圖。
      [0673] 基板型光波導(dǎo)元件160在圖25A以及圖25B所示的基板型光波導(dǎo)元件110 (模式 轉(zhuǎn)換元件)的輸出側(cè)具有高階偏振轉(zhuǎn)換元件101 (高階偏振轉(zhuǎn)換部)。此外,所謂高階偏振 轉(zhuǎn)換是指TE1與TM。之間的轉(zhuǎn)換。
      [0674] 作為高階偏振轉(zhuǎn)換元件101,能夠使用圖23A以及圖23B所例示的高階偏振轉(zhuǎn)換元 件。能夠代替高階偏振轉(zhuǎn)換元件101,使用圖24A~圖24D所示的高階偏振轉(zhuǎn)換元件61。
      [0675]圖50的基板型光波導(dǎo)元件160能夠通過基板型光波導(dǎo)元件110將TE。轉(zhuǎn)換成TEρ 通過高階偏振轉(zhuǎn)換元件101將TEi轉(zhuǎn)換成TM。。
      [0676] 在高階偏振轉(zhuǎn)換元件101中,TE。未進(jìn)行向其它的模式的轉(zhuǎn)換,所以輸入至纖芯部 2且從輸出部3輸出的TE。(為了區(qū)別而記載為TE。')不被轉(zhuǎn)換。
      [0677] 因此,從高階偏振轉(zhuǎn)換元件101的輸出側(cè)得到了TM。和TE。'合波后的輸出。因此, 基板型光波導(dǎo)元件160能夠作為用于進(jìn)行偏振復(fù)用的元件使用。
      [0678](實(shí)施例 14)
      [0679] <基板型光波導(dǎo)元件(偏振轉(zhuǎn)換元件)>
      [0680] 圖51A~51D是表示作為實(shí)施例14的基板型光波導(dǎo)元件190 (偏振轉(zhuǎn)換元件)的 圖,圖51A是整體俯視圖,圖51B是高階偏振轉(zhuǎn)換元件的俯視圖,圖51C是高階偏振轉(zhuǎn)換元 件的結(jié)束部的剖視圖,圖51D是高階偏振轉(zhuǎn)換元件的開始部的剖視圖。
      [0681] 基板型光波導(dǎo)元件190具有前段模式轉(zhuǎn)換部178、后段模式轉(zhuǎn)換部179、以及設(shè)置 于后段模式轉(zhuǎn)換部179的輸出側(cè)的高階偏振轉(zhuǎn)換元件111 (高階偏振轉(zhuǎn)換部)。
      [0682] 如圖51A所示,前段模式轉(zhuǎn)換部178以及后段模式轉(zhuǎn)換部179能夠?yàn)榕c使用于圖 43A~圖43B所示的基板型光波導(dǎo)元件170 (模式轉(zhuǎn)換元件)的部位相同的構(gòu)造。
      [0683] 如圖51B~圖51D所示,高階偏振轉(zhuǎn)換元件111的纖芯112由下部纖芯114和上 部纖芯113形成,上部纖芯113以及下部纖芯114形成為寬度沿光的導(dǎo)波方向連續(xù)減少的 錐形狀。
      [0684] 纖芯112具有上部纖芯113的寬度和下部纖芯114的寬度不同的上下非對(duì)稱的構(gòu) 造。
      [0685] 下部纖芯114能夠與后段模式轉(zhuǎn)換部179的板部17、18 -體形成。
      [0686] 高階偏振轉(zhuǎn)換元件111能夠在開始部118的TE1與結(jié)束部119的TM。之間進(jìn)行偏 振轉(zhuǎn)換。
      [0687] 基板型光波導(dǎo)元件190能夠通過前段模式轉(zhuǎn)換部178以及后段模式轉(zhuǎn)換部179將 TE。轉(zhuǎn)換成TEi,通過高階偏振轉(zhuǎn)換元件111將TEi轉(zhuǎn)換成TM。。
      [0688] 輸入至纖芯部2且輸入至高階偏振轉(zhuǎn)換元件111的TE。(為了區(qū)別而記載為TE。') 不被轉(zhuǎn)換。
      [0689] 因此,從高階偏振轉(zhuǎn)換元件111的輸出側(cè),TM。和TE。'合波后的輸出作為矩形波導(dǎo), 輸入至輸出部3。
      [0690] 因此,基板型光波導(dǎo)元件190能夠作為用于進(jìn)行偏振復(fù)用的元件使用。
      [0691] 基板型光波導(dǎo)元件190具備采用了肋拱形波導(dǎo)構(gòu)造的后段模式轉(zhuǎn)換部179,所以 與具有上下非對(duì)稱的構(gòu)造的高階偏振轉(zhuǎn)換元件111的連接容易。
      [0692](實(shí)施例I5)
      [0693] <偏振復(fù)用 4 值相位(DP-QPSK:DualPolarization-QuadraturePhaseShift Keying)調(diào)制器>
      [0694] 本發(fā)明的基板型光波導(dǎo)元件例如能夠使用于如參考文獻(xiàn)[2] (P.Dong,C. Xie,L.Chen,L.L.Buhl,andY. -K.Chen, "112-Gb/sMonolithicPDM-QPSK ModulatorinSilicon,〃inEuropeanConferenceandExhibitiononOptical Communication(2012),Vol. 1,p.Th. 3.B. 1)所公開的DP-QPSK調(diào)制器。
      [0695] 圖52示意性地示出DP-QPSK調(diào)制器的一個(gè)例子。
      [0696] 該DP-QPSK調(diào)制器120利用在通常的光波導(dǎo)能夠存在TE。模式和TM。模式兩模 式的情況,來進(jìn)行具有在TE。模式/TM。模式的兩模式獨(dú)立的QPSK信號(hào)的DP-QPSK調(diào)制。
      [0697] 具體而言,將以TE。模式從輸入部121輸入的光分支成兩個(gè)光波導(dǎo)122、122,通過 QPSK調(diào)制器123、123分別調(diào)制成QPSK信號(hào)后,通過偏振轉(zhuǎn)換元件125使光波導(dǎo)124、124的 單側(cè)的TE。模式轉(zhuǎn)換成TM。模式,并利用偏振光束組合器將兩個(gè)模式合成到相同的光波導(dǎo) 上,將在TE。模式和TM。模式獨(dú)立的信號(hào)輸出至輸出部126。
      [0698](實(shí)施例I6)
      [0699] <相干接收機(jī)>
      [0700] 本發(fā)明的基板型光波導(dǎo)元件例如能夠使用于如參考文獻(xiàn)[3] (C.Doerr,et al.,''PackagedMonolithicSilicon112-Gb/sCoherentReceiver,〃IEEEPhotonics TechnologyLetters,Vol. 23,p.p. 762, 2011)所公開的同時(shí)傳送TE。模式和TM。模式的偏 振復(fù)用信號(hào)的Si光波導(dǎo)上的偏振分集/相干接收機(jī)。
      [0701] 圖53示意性示出偏振分集/相干接收機(jī)的一個(gè)例子。
      [0702] 該相干接收機(jī)130將同時(shí)傳送TE。模式和TM。模式的偏振復(fù)用信號(hào)的光波導(dǎo)131 與能同時(shí)進(jìn)行偏振轉(zhuǎn)換和偏振光分光的偏振轉(zhuǎn)換元件132連接,使TE。的信號(hào)分支到光波 導(dǎo)133、133的一方,另外,使從TM。轉(zhuǎn)換成的TE。模式的信號(hào)分支到光波導(dǎo)133、133的另一 方。作為局部發(fā)光134, 一般使用的半導(dǎo)體激光光源僅是單偏振,例如使用TE。模式(local) 的輸出。在使用這樣的光源的情況下,以往需要局部發(fā)光的偏振轉(zhuǎn)換。
      [0703] 但是,在該相干接收機(jī)130中,信號(hào)光在偏振分離后均為TE。模式的信號(hào) (signal),所以不需要局部發(fā)光的偏振轉(zhuǎn)換。信號(hào)光和局部發(fā)光經(jīng)由光合波部135從耦合 部136輸出。
      [0704] 在偏振轉(zhuǎn)換元件132使用光波導(dǎo)型的構(gòu)造的情況下,與耦合部136中的元件外部 的光的耦合,能夠利用從基板側(cè)方耦合的逆錐形的模式濾波轉(zhuǎn)換器等不具備偏振分離功能 的親合器。對(duì)于親合器,例如能夠公開如參考文獻(xiàn)[4] (Qing Fang, et al.,"Suspended optical fiber-t〇-waveguide mode size converter for Silicon photonics",OPTICS EXPRESS, Vol. 18, No. 8, 7763 (2010))所公開的逆錐形的構(gòu)造。
      [0705](實(shí)施例l6)
      [0706] <偏振分集>
      [0707] 本發(fā)明的基板型光波導(dǎo)元件例如能夠使用于如參考文獻(xiàn)[5](Hiroshi Fukuda,etal.,''Siliconphotoniccircuitwithpolarizationdiversity,''Optics Express,Vol. 16,No.7, 2008)中公開的、在TE。模式和TM。模式被同時(shí)傳送的偏振復(fù)用傳送、 單方的偏振被隨機(jī)地傳送時(shí),想利用用于對(duì)于兩模式給予相同的操作的元件的情況下,執(zhí) 行偏振分集方式。
      [0708] 在圖54所不的偏振分集140中,將同時(shí)傳送TE。模式和TM。模式的偏振復(fù)用信號(hào) 的光波導(dǎo)141與能同時(shí)進(jìn)行偏振轉(zhuǎn)換和偏振光分光的偏振轉(zhuǎn)換元件142連接,使TE。模式 的信號(hào)分支到光波導(dǎo)143、143的一方,另外,使TM。模式轉(zhuǎn)換成的TE。的信號(hào)分支到光波導(dǎo) 143、143的另一方。由元件144、144操作后的TE。的信號(hào)光從光波導(dǎo)145、145通過偏振轉(zhuǎn) 換元件146合成,并輸出至同時(shí)傳送TE。模式和TM。模式的偏振復(fù)用信號(hào)的光波導(dǎo)147。
      [0709] 對(duì)于偏振轉(zhuǎn)換元件142,與偏振分集/相干接收機(jī)相同地,能夠使用能同時(shí)進(jìn)行偏 振轉(zhuǎn)換和偏振光分光的本發(fā)明的偏振轉(zhuǎn)換7Π件。
      [0710] 對(duì)于偏振轉(zhuǎn)換元件146,與DP-QPSK調(diào)制器相同地,能夠使用能同時(shí)進(jìn)行偏振轉(zhuǎn) 換和偏振光組合的本發(fā)明的偏振轉(zhuǎn)換兀件。
      [0711] 此外,本發(fā)明并不一定局限于上述實(shí)施方式,在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍中能 夠施加各種的變更。
      [0712] 后段模式轉(zhuǎn)換部(Y分支)在圖示例中兩纖芯部在俯視時(shí)形成為直線狀,但纖芯部 的俯視形狀并不局限與此。
      [0713] 如果是兩纖芯部的間隔沿光的導(dǎo)波方向連續(xù)變小,在輸出端中兩纖芯部彼此接觸 的構(gòu)造,則纖芯部的俯視形狀既可以為曲線狀,也可以為組合了傾斜角度不同的多個(gè)直線 的形狀。
      [0714] 另外,后段模式轉(zhuǎn)換部(Y分支)的輸出端中的兩纖芯部的寬度可以彼此不相同。 即,一方的纖芯部可以比另一方的纖芯部寬度寬。
      [0715] 后段模式轉(zhuǎn)換部(Y分支)因?yàn)樵诮咏敵龆说奈恢弥袃衫w芯部的間隔非常小,所 以高精度地形成該部分較難。因此,存在為在比兩纖芯部的輸出端稍靠近前(輸入側(cè))的 位置中,兩纖芯部相互接合的構(gòu)造的情況。在該構(gòu)造中,在接合位置,波導(dǎo)的長邊方向的連 續(xù)性喪失,由于突然的模式變化,隔熱變化有可能被稍稍損害,但本發(fā)明也包含這樣的形狀 的后段模式轉(zhuǎn)換部。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1. 一種基板型光波導(dǎo)元件,其中,具備光波導(dǎo), 所述光波導(dǎo)具有: 基板; 纖芯,其在所述基板上具有相互并列的第一纖芯部以及第二纖芯部;以及 包層,其折射率小于所述纖芯的折射率, 所述纖芯構(gòu)成前段模式轉(zhuǎn)換部以及后段模式轉(zhuǎn)換部,所述前段模式轉(zhuǎn)換部轉(zhuǎn)換被輸入 的光的模式,所述后段模式轉(zhuǎn)換部轉(zhuǎn)換從所述前段模式轉(zhuǎn)換部輸出的光的模式, 在所述前段模式轉(zhuǎn)換部的輸入端,所述第一纖芯部和所述第二纖芯部的剖面形狀彼此 不全等,并且,所述第一纖芯部和所述第二纖芯部中的至少一方的纖芯部的剖面形狀或剖 面大小沿光的導(dǎo)波方向連續(xù)地變化,從而在所述前段模式轉(zhuǎn)換部的輸出端,所述第一纖芯 部和所述第二纖芯部的剖面形狀彼此全等, 在所述后段模式轉(zhuǎn)換部的輸入端,所述第一纖芯部和所述第二纖芯部彼此分離,所述 第一纖芯部與所述第二纖芯部之間的間隔沿光的導(dǎo)波方向連續(xù)地變小,在所述后段模式轉(zhuǎn) 換部的輸出端,所述第一纖芯部和所述第二纖芯部彼此接觸。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板型光波導(dǎo)元件,其中, 所述第一纖芯部以及所述第二纖芯部與光的導(dǎo)波方向垂直的剖面是矩形狀。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的基板型光波導(dǎo)元件,其中, 在所述前段模式轉(zhuǎn)換部中,所述第一纖芯部和所述第二纖芯部的高度彼此相等,并且, 在所述第一纖芯部和所述第二纖芯部中所述輸入端處剖面大的纖芯部的寬度沿光的導(dǎo)波 方向連續(xù)變小,從而在所述輸出端處所述第一纖芯部和所述第二纖芯部的剖面的形狀彼此 全等。4. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的基板型光波導(dǎo)元件,其中, 在所述后段模式轉(zhuǎn)換部中,所述第一纖芯部以及第二纖芯部的剖面形狀分別遍及全長 恒定, 所述后段模式轉(zhuǎn)換部的輸入端處的所述第一纖芯部以及所述第二纖芯部的剖面形狀 分別與所述前段模式轉(zhuǎn)換部的輸出端處的所述第一纖芯部以及所述第二纖芯部的剖面形 狀相同。5. 根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的基板型光波導(dǎo)元件,其中, 所述纖芯具有板部,所述板部沿所述第一纖芯部以及所述第二纖芯部的寬度方向延伸 突出, 所述板部的高度尺寸比所述第一纖芯部以及所述第二纖芯部的高度尺寸小,所述板部 至少配置于所述第一纖芯部與所述第二纖芯部之間,將所述第一纖芯部和所述第二纖芯部 彼此連接而形成。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板型光波導(dǎo)元件,其中, 所述板部具有外側(cè)延伸突出區(qū)域,所述外側(cè)延伸突出區(qū)域從所述第一纖芯部以及所述 第二纖芯部分別向?qū)挾确较虻耐鈧?cè)延伸突出而形成。7. 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的基板型光波導(dǎo)元件,其中, 所述前段模式轉(zhuǎn)換部能夠?qū)E。轉(zhuǎn)換成TE。的超模的奇模, 所述后段模式轉(zhuǎn)換部能夠?qū)⑺龀5钠婺^D(zhuǎn)換成TE1<38. 根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的基板型光波導(dǎo)元件,其中, 所述纖芯在所述前段模式轉(zhuǎn)換部的輸入側(cè)具有彎曲波導(dǎo),所述彎曲波導(dǎo)在所述第一纖 芯部和所述第二纖芯部中的至少一方的俯視中彎曲形成, 在所述彎曲波導(dǎo)中,越接近所述前段模式轉(zhuǎn)換部,所述第一纖芯部和所述第二纖芯部 越彼此接近。9. 根據(jù)權(quán)利要求1~8中任一項(xiàng)所述的基板型光波導(dǎo)元件,其中, 還具備中間纖芯部,所述中間纖芯部設(shè)置于所述前段模式轉(zhuǎn)換部與所述后段模式轉(zhuǎn)換 部之間,將所述前段模式轉(zhuǎn)換部和所述后段模式轉(zhuǎn)換部彼此連接。10. 根據(jù)權(quán)利要求1~9中任一項(xiàng)所述的基板型光波導(dǎo)元件,其中, 所述纖芯由Si形成,所述包層由Si02形成。11. 根據(jù)權(quán)利要求1~10中任一項(xiàng)所述的基板型光波導(dǎo)元件,其中, 還具備高階偏振轉(zhuǎn)換部,所述高階偏振轉(zhuǎn)換部與所述后段模式轉(zhuǎn)換部的輸出側(cè)連接, 能夠?qū)⒂伤龊蠖文J睫D(zhuǎn)換部得到的TEi轉(zhuǎn)換成TM。。12. -種偏振復(fù)用4值相位調(diào)制器,其中,具備權(quán)利要求1~11中任一項(xiàng)所述的基板型 光波導(dǎo)元件。13. -種相干接收機(jī),其中,具備權(quán)利要求1~11中任一項(xiàng)所述的基板型光波導(dǎo)元件。14. 一種偏振分集,其中,具備權(quán)利要求1~11中任一項(xiàng)所述的基板型光波導(dǎo)元件。
      【專利摘要】本發(fā)明涉及基板型光波導(dǎo)元件、偏振復(fù)用4值相位調(diào)制器、相干接收機(jī)、以及偏振分集,基板型光波導(dǎo)元件具備光波導(dǎo),光波導(dǎo)具有:基板;纖芯,在基板具有第一纖芯部及第二纖芯部;及包層,折射率比纖芯小。纖芯構(gòu)成前段模式轉(zhuǎn)換部及后段模式轉(zhuǎn)換部,在前段模式轉(zhuǎn)換部的輸入端,第一纖芯部和第二纖芯部的剖面形狀不同,第一纖芯部和第二纖芯部中至少一方的纖芯部的剖面形狀或大小沿光導(dǎo)波方向連續(xù)變化,從而在前段模式轉(zhuǎn)換部的輸出端,第一纖芯部和第二纖芯部的剖面形狀相同,在后段模式轉(zhuǎn)換部的輸入端,第一纖芯部和第二纖芯部分離,第一纖芯部與第二纖芯部的間隔沿光導(dǎo)波方向連續(xù)變小,在后段模式轉(zhuǎn)換部的輸出端,第一纖芯部和第二纖芯部接觸。
      【IPC分類】G02B6/122, G02B6/126
      【公開號(hào)】CN105388561
      【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510523906
      【發(fā)明人】岡徹
      【申請(qǐng)人】株式會(huì)社藤倉
      【公開日】2016年3月9日
      【申請(qǐng)日】2015年8月24日
      【公告號(hào)】US20160062038
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