據(jù)光罩霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)和/或子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)和/或至少一個(gè)因素特性，確定掃描系統(tǒng)對目標(biāo)光罩進(jìn)行掃描的頻率。
[0050]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，對獲取的目標(biāo)光罩在不同子類中的子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)進(jìn)行乘積運(yùn)算獲得光罩霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)。
[0051]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，將影響光罩霧化的風(fēng)險(xiǎn)劃分不同子類，每一子類中依據(jù)因素特性的不同劃分若干風(fēng)險(xiǎn)等級，每一子類的每個(gè)風(fēng)險(xiǎn)等級預(yù)設(shè)一子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)，依據(jù)目標(biāo)光罩的因素特性確定在每一子類中對應(yīng)的風(fēng)險(xiǎn)等級，獲取目標(biāo)光罩對應(yīng)子類的子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)。
[0052]使用時(shí)，可以依據(jù)目標(biāo)光罩的實(shí)際固有屬性及過去使用狀況和/或未來使用狀況，確定目標(biāo)光罩在每一子類中對應(yīng)的風(fēng)險(xiǎn)等級，從而獲得子類的子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)；對獲取的目標(biāo)光罩在不同子類中的子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)進(jìn)行乘積運(yùn)算實(shí)時(shí)計(jì)算出每塊光罩的霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)，以供后續(xù)處理。
[0053]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，步驟4之后，還包括步驟5，依據(jù)獲得的頻率對目標(biāo)光罩的掃描優(yōu)先級進(jìn)行排序。
[0054]本發(fā)明可以根據(jù)有限的掃描資源，在光罩霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)的基礎(chǔ)上推算出每塊目標(biāo)光罩的掃描頻率，保證風(fēng)險(xiǎn)高的光罩掃描頻率大于風(fēng)險(xiǎn)低的光罩掃描頻率，大大提升效率，有效規(guī)避霧化風(fēng)險(xiǎn)；增加決策的實(shí)時(shí)性、準(zhǔn)確性，以及提高決策效率，降低由光罩霧化造成的芯片質(zhì)量問題。
[0055]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，每一子類的風(fēng)險(xiǎn)等級和子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)及相對應(yīng)的因素特性組成一矩陣表結(jié)構(gòu)，存儲(chǔ)在一第一存儲(chǔ)單元中。子類可以包括光罩級別，與光罩級別相關(guān)的因素包括光罩類型、光罩等級、波長、L/H參數(shù)、工藝層中的至少一種，參照圖2所示，光罩級別被劃分為11個(gè)風(fēng)險(xiǎn)等級，每個(gè)風(fēng)險(xiǎn)等級依照因素特性的不同排列，光罩類型不同，其所處的風(fēng)險(xiǎn)等級也不同，光罩類型有采用PSM(Phase Shift Mask，相位移光罩)類型，還有采用Normal (Binary Mask,常規(guī)光罩)類型；光罩等級涵蓋G類、Η類、I類、J類、Κ類、L類和Μ類；波長范圍從193nm至365nm，并隨著波長的增大，子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)趨于下降。
[0056]子類還可以包括光罩被使用次數(shù)，與光罩被使用次數(shù)相關(guān)的因素包括光罩被使用次數(shù)，參照圖3中的表格所示，依照光罩被使用次數(shù)的多少可以被劃分為5個(gè)風(fēng)險(xiǎn)等級，光罩被使用次數(shù)越少，子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)越小。表格中列出的不同風(fēng)險(xiǎn)等級的光罩被使用次數(shù)是一下限值，即當(dāng)一目標(biāo)光罩的被使用次數(shù)位于1000至2000之間時(shí)，其子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)選取1.50。
[0057]子類還可以包括光罩使用時(shí)間，與光罩使用時(shí)間相關(guān)的因素包括光罩使用年限；參照圖4中的表格所示，依照光罩使用年限的不同可以被劃分為8個(gè)風(fēng)險(xiǎn)等級，光罩使用年限越長，子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)越大，表格中列出的不同風(fēng)險(xiǎn)等級的光罩使用年限也是一下限值。
[0058]子類包括光罩修復(fù)次數(shù)，與光罩修復(fù)次數(shù)相關(guān)的因素包括光罩修復(fù)類型和修復(fù)次數(shù)；參照圖5中的表格所示，依據(jù)光罩修復(fù)類型和修復(fù)次數(shù)被劃分為6個(gè)風(fēng)險(xiǎn)等級，光罩修復(fù)類型有采用SPM (經(jīng)過硫酸溶液和雙氧水混合清洗)類型，還有采用TST (Thermal ShockTesting，熱沖擊試驗(yàn))類型，其中光罩修復(fù)類型采用SPM類型且修復(fù)次數(shù)較多的目標(biāo)光罩具有較高的子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)。
[0059]子類還包括光罩存放位置類型，與光罩存放位置類型相關(guān)的因素包括光罩存放環(huán)境；參照圖6中的表格所示，被劃分為3個(gè)風(fēng)險(xiǎn)等級，光罩存放環(huán)境有采用XCDA(ExtremelyClean Dry Air,高純度干燥清潔空氣)，還有采用N2 (氮?dú)?環(huán)境，其中采用N2的光罩存放環(huán)境具有較低的子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)。
[0060]子類還包括光罩客戶，參照圖7所示的表格，光罩客戶是指光罩所應(yīng)用的產(chǎn)品對應(yīng)的客戶。表格中C1-C9為不同客戶的代碼表示，依據(jù)光罩客戶的不同具有不同的風(fēng)險(xiǎn)等級；
[0061]子類包括光罩在制品數(shù)，與光罩在制品數(shù)相關(guān)的因素包括光罩在制品數(shù)(WIP，Work In Product)和光罩等級的至少一種。參照圖8所示的表格,在制品數(shù)越多，子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)越大，依照光罩在制品數(shù)和光罩等級的不同，被劃分為10個(gè)風(fēng)險(xiǎn)等級。
[0062]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選的實(shí)施例，掃描系統(tǒng)可以采用印制檢測(Print downmonitor)的掩膜檢測系統(tǒng)，這種掩膜檢測系統(tǒng)是用光罩曝光在控片(一種檢測用晶圓)，檢測曝光以后的控片有沒有缺陷的一種技術(shù)，當(dāng)需要采用印制檢測的掩膜檢測系統(tǒng)時(shí)，判斷這種印制檢測系統(tǒng)已就緒(Printdown_ready)后，將光罩霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)與一第一設(shè)定門限值進(jìn)行比較，判斷光罩霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)大于第一設(shè)定門限值時(shí)，選擇一第一種頻率作為目標(biāo)光罩預(yù)定時(shí)間周期內(nèi)的建議掃描頻率；優(yōu)選地，第一設(shè)定門限值可以采用11.5，第一種頻率可以通過取A次和12次中最大值獲得，其中A等于目標(biāo)光罩的在制品數(shù)除以400 ;預(yù)定時(shí)間周期可以為三個(gè)月；
[0063]判斷光罩霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)小于或等于第一設(shè)定門限值時(shí)，且目標(biāo)光罩的薄膜材質(zhì)采用一第一設(shè)定類型，及第一設(shè)定子類的子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)大于一第二設(shè)定門限值時(shí)，選擇一第二種頻率作為目標(biāo)光罩預(yù)定時(shí)間周期內(nèi)的建議掃描頻率。第一設(shè)定類型優(yōu)選采用PSM(PhaseShift Mask,相位移光罩)類型，當(dāng)光罩類型米用相位移光罩，且波長在248nm以上的光罩的薄膜材質(zhì)一般采用PSM類型，第二設(shè)定門限值可以采用1.9，第二種頻率優(yōu)選為12次。第一設(shè)定子類優(yōu)選為光罩使用時(shí)間。
[0064]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，掃描系統(tǒng)采用印制檢測(Print down monitor)的掩膜檢測系統(tǒng)時(shí)，首先判斷這種印制檢測系統(tǒng)已就緒(Printdown_ready)后，判斷目標(biāo)光罩的工藝層為一設(shè)定工藝層時(shí)，選擇一第三種頻率作為目標(biāo)光罩預(yù)定時(shí)間周期內(nèi)的建議掃描頻率。優(yōu)選地，設(shè)定層可以是160，實(shí)際應(yīng)用中，工藝層包含在光罩編號代碼中，通過獲取光罩編號代碼中的工藝層與設(shè)定工藝層進(jìn)行比較；第三種頻率優(yōu)選為3次。
[0065]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，掃描系統(tǒng)采用印制檢測(Print down monitor)的掩膜檢測系統(tǒng)時(shí)，判斷這種印制檢測系統(tǒng)已就緒(Printdown_ready)后，以一第四種頻率作為目標(biāo)光罩預(yù)定時(shí)間周期內(nèi)的建議掃描頻率。第四種頻率可以通過對光罩霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)(overall_risk)乘以5后除以6獲得；
[0066]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，當(dāng)目標(biāo)光罩的預(yù)定時(shí)間周期內(nèi)的建議掃描頻率為小數(shù)時(shí)，對數(shù)值進(jìn)行四舍五入取整，以取整后的數(shù)值作為目標(biāo)光罩的預(yù)定時(shí)間周期內(nèi)的建議掃描頻率。
[0067]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，參照圖10,掃描系統(tǒng)可以包括第二種光學(xué)掃描系統(tǒng)，如StarLight掩膜檢測系統(tǒng)，判斷目標(biāo)光罩的薄膜材質(zhì)采用一第二設(shè)定類型時(shí)，以一第五種頻率作為目標(biāo)光罩預(yù)定時(shí)間周期內(nèi)的建議掃描頻率。優(yōu)選的，第二設(shè)定類型可以采用ArF(氟化氬)類型；第五種頻率優(yōu)選為12次。
[0068]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，掃描系統(tǒng)采用第二種光學(xué)掃描系統(tǒng)，判斷目標(biāo)光罩的光罩等級大于一第一設(shè)定等級時(shí)，以一第六種頻率作為目標(biāo)光罩預(yù)定時(shí)間周期內(nèi)的建議掃描頻率。優(yōu)選地，第一設(shè)定等級可以采用“K”級；第六種頻率可以通過取B次和6次中最大值得到，其中，B等于目標(biāo)光罩的光罩霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)除以2 ；
[0069]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，掃描系統(tǒng)采用第二光學(xué)掃描系統(tǒng)，判斷第二設(shè)定子類的子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)等于一第三設(shè)定門限值，且目標(biāo)光罩的等級小于等于一第一設(shè)定等級并大于一第二設(shè)定等級時(shí)，以一第七種頻率作為目標(biāo)光罩預(yù)定時(shí)間周期內(nèi)的建議掃描頻率;
[0070]判斷光罩客戶的子風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)大于一第三設(shè)定門限值，且目標(biāo)光罩的等級小于等于一第一設(shè)定等級并大于一第二設(shè)定等級時(shí)，以一第八種頻率作為目標(biāo)光罩預(yù)定時(shí)間周期內(nèi)的建議掃描頻率。
[0071]第二設(shè)定子類優(yōu)選為光罩客戶。第三設(shè)定門限值優(yōu)選取值為1.2，第一設(shè)定等級優(yōu)選采用“K”級，第二設(shè)定等級優(yōu)選采用“F”級，第七種頻率通過取B次和4次中最大值得至IJ，第八種頻率通過取B次和3次中最大值得到，其中，B等于目標(biāo)光罩的光罩霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)除以2。
[0072]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選地實(shí)施例，掃描系統(tǒng)采用第二種光學(xué)掃描系統(tǒng)，判斷目標(biāo)光罩的光罩霧化風(fēng)險(xiǎn)系數(shù)大于一第四設(shè)定門限值，且目標(biāo)光罩的等級大于一第三設(shè)定等