所述集光鏡2邊緣區(qū)域的上方，對所述集光鏡2的內(nèi)部及曝光燈3進行噴氣，從而使所述曝光燈3實現(xiàn)快速降溫，有效減少了曝光燈的更換時間，提升了設(shè)備稼動率。
[0036]具體地，所述數(shù)個噴氣裝置4噴出壓縮空氣(Compressed air，CDA)。
[0037]具體地，所述數(shù)個噴氣裝置4通過氣缸進行驅(qū)動實現(xiàn)伸縮。
[0038]具體地，所述數(shù)個噴氣裝置4的噴氣量可調(diào)節(jié)，以控制曝光燈3的降溫速度，調(diào)整曝光燈3的降溫時間。
[0039]具體地，所述集光鏡2的底部設(shè)有排塵孔21。當(dāng)所述噴氣裝置4向所述集光鏡2內(nèi)部噴氣時，所述集光鏡2上粘附的異物或灰塵被吹起后通過所述排塵孔21排出至所述集光鏡2外部，有效避免了更換曝光燈的過程中造成集光鏡上粘附異物或灰塵，保證了曝光燈的集光效果和均一性，提升了曝光的良率，同時與現(xiàn)有技術(shù)相比使得對集光鏡的清潔更加容易，且不會對集光鏡造成損傷，降低了成本。
[0040]具體地，所述集光鏡2的上端開口呈圓形;所述集光鏡2的內(nèi)部呈曲面狀。
[0041]在本實施例中，所述噴氣裝置4的數(shù)量為8個，并圍繞所述集光鏡2均勻分布。
[0042]具體地，所述曝光燈3為水銀燈。
[0043]請參閱圖4，并結(jié)合圖2至圖3，本發(fā)明還提供一種曝光燈的更換方法，包括如下步驟:
[0044]步驟1、提供曝光機，所述曝光機包括外殼1、設(shè)于所述外殼1中的上端開口的集光鏡2、設(shè)于所述集光鏡2中的曝光燈3、及設(shè)于所述外殼1頂部的外圍且末端的出氣孔朝下的數(shù)個噴氣裝置4;所述數(shù)個噴氣裝置4可在所述集光鏡2的上方進行伸縮。關(guān)閉所述曝光燈3。
[0045]步驟2、如圖5所示，將所述數(shù)個噴氣裝置4朝向所述集光鏡2的上方伸出至其末端的出氣孔位于所述集光鏡2邊緣區(qū)域的上方，對所述集光鏡2的內(nèi)部及曝光燈3進行噴氣，從而使所述曝光燈3實現(xiàn)快速降溫，有效減少了曝光燈的更換時間，提升了設(shè)備稼動率。
[0046]具體地，所述集光鏡2的底部設(shè)有排塵孔21。所述步驟2中通過所述噴氣裝置4向所述集光鏡2內(nèi)部噴氣時，所述集光鏡2上粘附的異物或灰塵被吹起后通過所述排塵孔21排出至所述集光鏡2外部，有效避免了更換曝光燈的過程中造成集光鏡上粘附異物或灰塵，保證了曝光燈的集光效果和均一性，提升了曝光的良率，同時與現(xiàn)有技術(shù)相比使得對集光鏡的清潔更加容易，且不會對集光鏡造成損傷，降低了成本。
[0047]步驟3、提供新曝光燈，對降溫后的曝光燈3進行更換，之后可采用現(xiàn)有技術(shù)依次完成開燈、等待升溫、測量照度、參數(shù)設(shè)定等步驟，并最終完成對曝光燈的更換。
[0048]綜上所述，本發(fā)明的曝光機及曝光燈的更換方法，曝光機外殼頂部的外圍設(shè)有末端的出氣孔朝下的數(shù)個噴氣裝置;所述數(shù)個噴氣裝置可在集光鏡的上方進行伸縮；當(dāng)曝光機正常工作時，所述數(shù)個噴氣裝置縮回至所述外殼頂部的外圍而不影響正常曝光時光源的走向；當(dāng)需要更換曝光燈時，關(guān)閉曝光燈后，通過將所述數(shù)個噴氣裝置伸出至其末端的出氣孔位于所述集光鏡邊緣區(qū)域的上方，對所述集光鏡的內(nèi)部及曝光燈進行噴氣，從而使所述曝光燈實現(xiàn)快速降溫，有效減少了曝光燈的更換時間，提升了設(shè)備稼動率;此外，在通過所述噴氣裝置向所述集光鏡內(nèi)部噴氣時，可使得所述集光鏡上粘附的灰塵被吹起后通過集光鏡上的排塵孔排出至所述集光鏡外部，有效避免了更換曝光燈的過程中造成集光鏡上粘附異物或灰塵，保證了曝光燈的集光效果和均一性，提升了曝光的良率，同時與現(xiàn)有技術(shù)相比使得對集光鏡的清潔更加容易，且不會對集光鏡造成損傷，降低了成本。
[0049]以上所述，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明后附的權(quán)利要求的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種曝光機，其特征在于，包括外殼(1)、設(shè)于所述外殼(1)中的上端開口的集光鏡(2)、設(shè)于所述集光鏡(2)中的曝光燈(3)、及設(shè)于所述外殼(1)頂部的外圍且末端的出氣孔朝下的數(shù)個噴氣裝置(4);所述數(shù)個噴氣裝置(4)可在所述集光鏡(2)的上方進行伸縮； 當(dāng)曝光機正常工作時，所述數(shù)個噴氣裝置(4)縮回至所述外殼(1)頂部的外圍而不影響正常曝光時光源的走向； 當(dāng)需要更換曝光燈(3)時，關(guān)閉曝光燈(3)后，通過將所述數(shù)個噴氣裝置(4)伸出至其末端的出氣孔位于所述集光鏡(2)邊緣區(qū)域的上方，對所述集光鏡(2)的內(nèi)部及曝光燈(3)進行噴氣，從而使所述曝光燈(3)實現(xiàn)快速降溫。2.如權(quán)利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述數(shù)個噴氣裝置(4)噴出壓縮空氣。3.如權(quán)利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述數(shù)個噴氣裝置(4)通過氣缸進行驅(qū)動實現(xiàn)伸縮。4.如權(quán)利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述數(shù)個噴氣裝置(4)的噴氣量可調(diào)節(jié)。5.如權(quán)利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述集光鏡(2)的底部設(shè)有排塵孔(21);當(dāng)所述噴氣裝置(4)向所述集光鏡(2)內(nèi)部噴氣時，所述集光鏡(2)上粘附的異物或灰塵被吹起后通過所述排塵孔(21)排出至所述集光鏡(2)外部。6.如權(quán)利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述集光鏡(2)的上端開口呈圓形;所述集光鏡(2)的內(nèi)部呈曲面狀。7.如權(quán)利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述噴氣裝置(4)的數(shù)量為8個，并圍繞所述集光鏡(2)均勾分布。8.如權(quán)利要求1所述的曝光機，其特征在于，所述曝光燈(3)為水銀燈。9.一種曝光燈的更換方法，其特征在于，包括如下步驟: 步驟1、提供曝光機，所述曝光機包括外殼(1)、設(shè)于所述外殼(1)中的上端開口的集光鏡(2)、設(shè)于所述集光鏡(2)中的曝光燈(3)、及設(shè)于所述外殼(1)頂部的外圍且末端的出氣孔朝下的數(shù)個噴氣裝置(4);所述數(shù)個噴氣裝置(4)可在所述集光鏡(2)的上方進行伸縮;關(guān)閉所述曝光燈(3); 步驟2、將所述數(shù)個噴氣裝置(4)伸出至其末端的出氣孔位于所述集光鏡(2)邊緣區(qū)域的上方，對所述集光鏡(2)的內(nèi)部及曝光燈(3)進行噴氣，從而使所述曝光燈(3)實現(xiàn)快速降溫; 步驟3、提供新曝光燈，對降溫后的曝光燈(3)進行更換。10.如權(quán)利要求9所述的曝光燈的更換方法，其特征在于，所述集光鏡(2)的底部設(shè)有排塵孔(21);所述步驟2中通過所述噴氣裝置(4)向所述集光鏡(2)內(nèi)部噴氣時，所述集光鏡(2)上粘附的異物或灰塵被吹起后通過所述排塵孔(21)排出至所述集光鏡(2)外部。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種曝光機及曝光燈的更換方法，所述曝光機包括外殼、集光鏡、曝光燈、及數(shù)個噴氣裝置；所述數(shù)個噴氣裝置可在所述集光鏡的上方進行伸縮；當(dāng)曝光機正常工作時，數(shù)個噴氣裝置縮回至外殼頂部的外圍而不影響正常曝光時光源的走向；當(dāng)需要更換曝光燈時，關(guān)閉曝光燈后，通過將數(shù)個噴氣裝置伸出至其末端的出氣口位于所述集光鏡邊緣區(qū)域的上方，對集光鏡的內(nèi)部及曝光燈進行噴氣，從而使曝光燈實現(xiàn)快速降溫，有效減少了曝光燈的更換時間，提升了設(shè)備稼動率；本發(fā)明的曝光燈的更換方法，可使曝光燈實現(xiàn)快速降溫，并可避免更換曝光燈的過程中造成集光鏡上粘附異物或灰塵。
【IPC分類】G03F7/20, G02F1/13
【公開號】CN105487352
【申請?zhí)枴緾N201610087845
【發(fā)明人】龔冰
【申請人】武漢華星光電技術(shù)有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2016年2月16日