顯影液供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示面板的生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種顯影液供應(yīng)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜晶體管液晶顯不器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)由于色彩度高、體積小、功耗低等優(yōu)勢，在目前平板顯示領(lǐng)域占主流地位。作為液晶顯示器重要組件之一的彩色濾光片(Color filter)，主要通過RGB彩色層的濾光實現(xiàn)顯色。彩色濾光片的傳統(tǒng)的制作工藝，主要包括涂布、預(yù)烘烤、曝光、顯影、烘烤等制程。其中顯影制程對形成圖形的寬度及形態(tài)特別重要。彩色濾光片一般使用負型光刻膠，顯影制程一般為使用顯影液將未被光照射到的光刻膠溶解，然后用水將基板沖洗干凈。其中，顯影液主要包括氫氧化鉀(KOH)和表面活性劑，光刻膠內(nèi)的樹脂羧酸基團和顯影液中的的氫氧根離子(0H—)發(fā)生反應(yīng)，形成羧基，從而使光刻膠溶于水而溶解。因此，顯影液中的0H—的濃度是影響顯影液使用周期(lift time)的重要因素。
[0003]目前，顯影液在顯影制程中的運轉(zhuǎn)方式為:如圖1所示，顯影液供應(yīng)源300將顯影液輸入互為備用關(guān)系的第一顯影液循環(huán)槽210、第二顯影液循環(huán)槽220內(nèi)，當待顯影的基板500到達顯影機臺100的顯影室110內(nèi)后，其內(nèi)的噴淋頭120將顯影液噴到待顯影的基板500上，其內(nèi)的顯影液再通過管路回流到第一或第二顯影液循環(huán)槽210/220內(nèi)，顯影液在第一或第二顯影液循環(huán)槽210/220和顯影機臺100內(nèi)循環(huán)流動。然而，第一、第二顯影液循環(huán)槽210、220和顯影機臺100并不是完全密閉的，均與外界的空氣接觸。顯影液循環(huán)槽210、220的液位上方還有大量的空間，而顯影機臺100內(nèi)噴淋顯影液時也與空氣完全接觸，顯影液的主要成分0H—與空氣中二氧化碳(CO2)發(fā)生反應(yīng)，生成碳酸根離子(C032—)，使其內(nèi)的使0H—被大量消耗，從而導(dǎo)致顯影液的使用周期縮短。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種顯影液供應(yīng)系統(tǒng)，通過將系統(tǒng)設(shè)置為密封狀態(tài)，并通過氮氣供應(yīng)源向該系統(tǒng)內(nèi)充入氮氣，以對顯影液進行氮氣保護，隔絕空氣與顯影液的反應(yīng)，使顯影液的使用周期得以延長。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種顯影液供應(yīng)系統(tǒng)，包括:
[0006]—顯影機臺，包括顯影室、設(shè)于顯影室內(nèi)的數(shù)個噴淋頭，所述顯影室具有入口、及出口，所述顯影室的入口、及出口上均設(shè)有密封門，通過關(guān)閉密封門可使得所述顯影機臺變成與顯影液供應(yīng)系統(tǒng)外部不相通的密閉狀態(tài)，待顯影的基板、及已顯影的基板通過顯影室的入口、及出口輸入、輸出；
[0007]互為備用關(guān)系的第一顯影液循環(huán)槽、第二顯影液循環(huán)槽，所述第一、第二顯影槽通過管道連接所述顯影機臺的數(shù)個噴淋頭，用于向顯影機臺提供顯影液，所述第一、第二顯影液循環(huán)槽為與該顯影液的供應(yīng)系統(tǒng)外部不相通的密閉狀態(tài)；
[0008]顯影液供應(yīng)源，通過管道向第一、第二顯影液循環(huán)槽提供顯影液；
[0009]氮氣供應(yīng)源，通過管道向第一顯影液循環(huán)槽、第二顯影液循環(huán)槽、及顯影機臺內(nèi)充入氮氣，從而對所述第一、第二顯影槽、及顯影機臺內(nèi)的顯影液進行氮氣保護。
[0010]所述顯影液的組分包括碳酸鉀、表面活性劑、及溶劑。
[0011 ]所述顯影液的組分還包括氫氧化鉀。
[0012]顯影液通過管路在第一顯影液循環(huán)槽、第二顯影液循環(huán)槽和顯影機臺內(nèi)循環(huán)流動，當顯影液在第一或第二顯影液循環(huán)槽和顯影機臺內(nèi)循環(huán)流動時，相應(yīng)的第二或第一顯影液循環(huán)槽處于備用狀態(tài)，與顯影機臺之間的循環(huán)通路被截止。
[0013]所述第一、第二顯影液循環(huán)槽和顯影機臺之間的連接管路上設(shè)有感應(yīng)器件，當所述感應(yīng)器件感測到連接管路中的顯影液的電導(dǎo)率低于一定值時，切換顯影液的循環(huán)通路，并相應(yīng)的將第一、或第二顯影液循環(huán)槽內(nèi)的顯影液排空，由顯影液供應(yīng)源向其輸入新的顯影液。
[0014]所述第一、第二顯影液循環(huán)槽上設(shè)有廢液排放管，所述廢液排放管上設(shè)有廢液控制閥，通過打開所述廢液控制閥將第一、第二顯影液循環(huán)槽內(nèi)的顯影液進行排空。
[0015]還包括傳送裝置，所述傳送裝置將待顯影的基板傳送至所述顯影室內(nèi)，將已顯影的基板傳出所述顯影室外。
[0016]所述傳送裝置將待顯影的基板傳送至顯影室后，氮氣供應(yīng)源通過管道向第一顯影液循環(huán)槽、第二顯影液循環(huán)槽、及顯影機臺內(nèi)充入氮氣，關(guān)閉密封門，使整個顯影液的供應(yīng)系統(tǒng)內(nèi)充滿氮氣，開始對待顯影的基板進行顯影，顯影完成后，打開密封門，所述傳送裝置將已顯影的基板傳出所述顯影室外。
[0017]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供了一種顯影液供應(yīng)系統(tǒng)，包括一顯影機臺、互為備用關(guān)系的第一顯影液循環(huán)槽和第二顯影液循環(huán)槽、顯影液供應(yīng)源、及氮氣供應(yīng)源，其中，通過將第一、第二顯影液循環(huán)槽及顯影機臺設(shè)置為與顯影液供應(yīng)系統(tǒng)外部隔絕的密閉狀態(tài)，且使氮氣供應(yīng)源通過管道向第一、第二顯影液循環(huán)槽及顯影機臺內(nèi)充入氮氣，能夠使整個系統(tǒng)處于密封及氮氣保護的狀態(tài)，從而隔絕了空氣對顯影液中氫氧根離子的消耗，使顯影液的使用周期得以延長。
[0018]為了能更進一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
【附圖說明】
[0019]下面結(jié)合附圖，通過對本發(fā)明的【具體實施方式】詳細描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見。
[0020]附圖中，
[0021 ]圖1為現(xiàn)有的顯影液供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為本發(fā)明的顯影液供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0023]為更進一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進行詳細描述。
[0024]請參閱圖2，本發(fā)明首先提供一種顯影液供應(yīng)系統(tǒng)，包括:
[0025]一顯影機臺I，包括顯影室11、設(shè)于顯影室內(nèi)11的數(shù)個噴淋頭12，所述顯影室11具有入口、及出口，所述顯影室11的入口、及出口上均設(shè)有密封門13，通過關(guān)閉密封門13可使得所述顯影機臺I變成與顯影液供應(yīng)系統(tǒng)外部不相通的密閉狀態(tài)，待顯影的基板70、及已顯影的基板通過顯影室11的入口、及出口輸入、輸出；
[0026]互為備用關(guān)系的第一顯影液循環(huán)槽21、第二顯影液循環(huán)槽22，所述第一、第二顯影槽21、22通過管道連接所述顯影機臺I的數(shù)個噴淋頭12，用于向顯影機臺I提供顯影液，所述第一、第二顯影液循環(huán)槽21、22為與顯影液供應(yīng)系統(tǒng)外部不相通的密閉狀態(tài)；
[0027]顯影液供應(yīng)源30，通過管道向第一、第二顯影液循環(huán)槽21、22提供顯影液；
[0028]氮氣供應(yīng)源40，通過管道分別向第一顯影液循環(huán)槽21、第二顯影液循環(huán)槽22、及顯影機臺I內(nèi)充入氮氣，從