精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造及其制作方法
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造及其制造方法，特別是涉及一種具有透明保護(hù)層的精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造及其制作方法。
【【背景技術(shù)】】
[0002]精密測長機(jī)是薄膜晶體管液晶顯示器(TFT_LCD，Thin Film Transistor LiquidCrystal Display)的制程中重要的光學(xué)量測機(jī)臺，其主要用于測量制作玻璃基板第一層像素圖案時(shí)曝光機(jī)曝光精度的長寸(Total Pitch)量測，其量測結(jié)果直接決定了后續(xù)圖像制程的曝光對位，以及最終對組貼合的精度。同時(shí)，該設(shè)備亦常用于線寬量測。精密測長機(jī)又稱為TTP(Total Pitch)測長機(jī)。
[0003]隨著中小尺寸高階產(chǎn)品日益增多且分辨率(PPI)隨之增加，，TFT-LCD制程中對陣列(Array)基板和彩色濾光片(CF)基板貼合的要求也卻來越高，其中所述CF基板的TTP(Total Pitch)精度要求也由之前的5微米(um)以上，變?yōu)楝F(xiàn)在的3微米(um)，因此對于TTP測長機(jī)的穩(wěn)定性的要求也隨之增加。
[0004]TTP測長機(jī)在正常量產(chǎn)中，需定期使用校準(zhǔn)片進(jìn)行校準(zhǔn)，以確認(rèn)測長機(jī)本身量測的準(zhǔn)確性。然而，現(xiàn)有的TTP測長機(jī)所使用的校準(zhǔn)片通常是從產(chǎn)線量產(chǎn)產(chǎn)品中抽取來使用的，然而其產(chǎn)品本身的遮光材料外露容易受到空氣中濕度及溫度的影響，會發(fā)生熱脹冷縮，因此其量測結(jié)果也不準(zhǔn)確，使得所述校準(zhǔn)片的作用也就大打折扣，同時(shí)也無法長期保存。
[0005]因此，有必要提供一種測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造及其制作方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。
【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0006]本發(fā)明的主要目的是提供一種精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造及其制作方法，通過在其上表面設(shè)置一透明保護(hù)層，使所述精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造不受外界環(huán)境影響，穩(wěn)定性高，同時(shí)可長時(shí)間保存。
[0007]為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供一種精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造，其包含:
[0008]—透明基板；
[0009]—黑色矩陣層，呈一網(wǎng)格狀，設(shè)于所述透明基板上，并暴露部分的所述透明基板；及
[0010]—透明保護(hù)層，設(shè)于所述透明基板及所述黑色矩陣層上。
[0011]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述透明基板是一玻璃基板。
[0012]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述透明基板是一符合彩色濾光片基板等級的玻璃基板。
[0013]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述透明保護(hù)層是一透明導(dǎo)電金屬層。
[0014]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述透明保護(hù)層是一η型半導(dǎo)體材料層。
[0015]為達(dá)上述目的，本發(fā)明另提供一種精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造，其包含以下步驟:
[ΟΟ??] (a)提供一透明基板；
[0017](b)形成一網(wǎng)格狀的黑色矩陣層于所述透明基板上，并暴露部分的所述透明基板；及
[0018](C)形成一透明保護(hù)層于所述透明基板及所述黑色矩陣層上。
[0019]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述形成一透明保護(hù)層于所述透明基板及所述黑色矩陣層上的步驟是以一物理氣相沉積的工藝進(jìn)行。
[0020]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述透明基板是一玻璃基板。
[0021]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述透明保護(hù)層是一透明導(dǎo)電金屬層。
[0022]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述透明保護(hù)層是一η型半導(dǎo)體材料層。
【【附圖說明】】
[0023]圖1:本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造的側(cè)視示意圖。
[0024]圖2:本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造的上視示意圖。
[0025]圖3A-3C:本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造示意圖。
【【具體實(shí)施方式】】
[0026]為讓本發(fā)明上述目的、特征及優(yōu)點(diǎn)更明顯易懂，下文特舉本發(fā)明較佳實(shí)施例，幷配合附圖，作詳細(xì)說明。為讓本發(fā)明上述目的、特征及優(yōu)點(diǎn)更明顯易懂，下文特舉本發(fā)明較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。再者，本發(fā)明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「側(cè)面」等，僅是參照附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。
[0027]請參照圖1及圖2所示，圖1是本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造的側(cè)視示意圖；及圖2是本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造的上視示意圖。本發(fā)明的一種精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造100主要用于一薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-1XD，Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)的光學(xué)量測的校準(zhǔn)作業(yè)，例如用于一精密測長機(jī)(TTP測長機(jī))中對彩色濾光片(CF)基板的TTP(Total Pitch，長寸)精度測量的進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0028]如圖1及圖2所示，所述精密測長機(jī)的校準(zhǔn)片構(gòu)造100包含一透明基板10、一黑色矩陣(BM，Black Matrix)層20及一透明保護(hù)層30。所述黑色矩陣層20設(shè)于所述透明基板10上，由于所述黑色矩陣層成一網(wǎng)格狀，因此所述黑色矩陣層20的中空部分暴露部分的所述透明基板10。另外，所述透明保護(hù)層30設(shè)于所述透明基板10的暴露部分及所述黑色矩陣層20上，也就是完整覆蓋所述透明基板10及所述黑色矩陣層20，以形成保護(hù)作用。
[0029]隨著中小尺寸高階產(chǎn)品日益增多且分辨率(PPI)隨之增加，，TFT-LCD制程中對陣列(Array)基板和彩色濾光片(CF)基板貼合的要求也卻來越高，其中所述CF基板的TTP(Total Pitch)精度要求也由之前的5微米(um)以上，變?yōu)楝F(xiàn)在的3微米(um)，因此對于TTP測長機(jī)的穩(wěn)定性的要求也隨之增加。
[0030]優(yōu)選地，所述透明基板1是一玻璃基板。
[0031]更優(yōu)選地，所述透明基板10是一用于制作彩色濾光片(CF)基板的玻璃基板，也就是一符合彩色濾光片(CF)基板等級的玻璃基板，如此可以完整符合對于所述CF基板