的NA空間的不同部分的配置中的LSP子系統(tǒng)102。在本文中應(yīng)注意，除非另外陳述，否則先前在本文中描述的LSP子系統(tǒng)102的各種組件應(yīng)解釋為擴(kuò)展到圖4。
[0048]在一個(gè)實(shí)施例中，LSP照明子系統(tǒng)102包含經(jīng)配置以橫向劃分激光維持等離子體子系統(tǒng)102的光瞳的一或多個(gè)光學(xué)元件403。就此而言，一或多個(gè)光學(xué)元件403可經(jīng)定位及定向使得栗浦照明121及寬帶輻射133占據(jù)NA空間的不同部分，由此“并排”分割光瞳(如在圖4中展示)。舉例來(lái)說(shuō)，一或多個(gè)光學(xué)元件403可包含冷光鏡403，其僅部分跨LSP照明子系統(tǒng)102的NA空間延伸。舉例來(lái)說(shuō)，如在圖4中展示，冷光鏡403可經(jīng)布置以?xún)H沿LSP照明子系統(tǒng)102的右部分延伸，此導(dǎo)致沒(méi)有來(lái)自L(fǎng)SP照明子系統(tǒng)102左側(cè)的寬帶輻射被冷光鏡403重新引導(dǎo)。在本文中應(yīng)注意，上文實(shí)例僅是說(shuō)明性，且預(yù)期冷光鏡403的定位并不限于在圖4中描繪的情況。在另一實(shí)施例中，冷光鏡403可經(jīng)選擇使得其對(duì)栗浦照明121具有反射性，或包含對(duì)栗浦照明121具有反射性的涂層。就此而言，冷光鏡403或冷光鏡403的涂層可用于反射雜散到LSP子系統(tǒng)102的光瞳的右側(cè)(僅為說(shuō)明)中的栗浦照明121。在另一實(shí)施例中，窗302可包含差分涂層。舉例來(lái)說(shuō)，在窗302的一側(cè)(例如，左側(cè))上可包含對(duì)寬帶輻射133具有反射性的涂層，使得寬帶輻射133不在窗的所述半部(例如，左側(cè))上透射。此外，在窗302的相對(duì)側(cè)(例如，右側(cè))上可包含對(duì)栗浦照明121具有反射性的涂層，使得栗浦照明121不在窗的所述半部(例如，右側(cè))上透射。
[0049]圖5說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例在其中栗浦照明133及等離子體產(chǎn)生的寬帶輻射占據(jù)跨光瞳的NA空間的不同區(qū)域的配置中的LSP子系統(tǒng)102。
[0050]在本文中應(yīng)注意，除非另外陳述，否則先前在本文中描述的LSP子系統(tǒng)102的各種組件應(yīng)解釋為擴(kuò)展到圖5。
[0051 ] 在一個(gè)實(shí)施例中，LSP照明子系統(tǒng)102包含一或多個(gè)光學(xué)元件503，其經(jīng)配置以劃分激光維持等離子體子系統(tǒng)的光瞳，使得栗浦照明121占據(jù)具有第一 NA范圍的光瞳的第一部分，且寬帶輻射占據(jù)具有第二 NA范圍的光瞳的第二部分。舉例來(lái)說(shuō)，如在圖5中展示，LSP照明子系統(tǒng)102包含環(huán)形鏡面503。鏡面503將來(lái)自外部徑向區(qū)域的栗浦照明朝向收集器106反射，同時(shí)允許經(jīng)產(chǎn)生的寬帶輻射133通過(guò)環(huán)形鏡面503的中心部分穿過(guò)中心徑向區(qū)域。在另一實(shí)施例中，LSP照明子系統(tǒng)102包含開(kāi)口 507，其允許中心區(qū)域?qū)拵л椛?33被引導(dǎo)到下游光學(xué)器件(如貫穿本發(fā)明所描述)。在另一實(shí)施例中，LSP照明子系統(tǒng)102包含濾光器元件510。舉例來(lái)說(shuō)，濾光器元件510可過(guò)濾掉栗浦照明121(例如，IR光)，使得存在于中心徑向區(qū)域中的任何栗浦照明在被傳遞到下游光學(xué)器件之前被從照明輸出506移除。在本文中應(yīng)注意，在圖5中描繪的配置并非是限制性的且僅出于說(shuō)明性原因而提供。舉例來(lái)說(shuō)，替代光學(xué)元件503可允許栗浦照明穿過(guò)LSP照明子系統(tǒng)102的中心徑向區(qū)域朝向收集器106傳播，同時(shí)經(jīng)產(chǎn)生的寬帶輻射133傳播穿過(guò)外部徑向區(qū)域。
[0052]在本文中應(yīng)注意，LSP照明子系統(tǒng)102的光學(xué)元件可對(duì)稱(chēng)地或不對(duì)稱(chēng)地劃分激光維持等離子體子系統(tǒng)102的光瞳。就此而言，栗浦照明與等離子體產(chǎn)生的寬帶輻射的分離可為對(duì)稱(chēng)或不對(duì)稱(chēng)的。
[0053]在2011年2月14日申請(qǐng)的第13/026,926號(hào)美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)案中描述將栗浦照明與等離子體產(chǎn)生寬帶輻射分離到NA空間的不同部分中，所述申請(qǐng)案以全文引用的方式并入本文中。
[0054]圖6說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的額外實(shí)施例的LSP照明子系統(tǒng)102。在一個(gè)實(shí)施例中，LSP照明子系統(tǒng)102經(jīng)配置使得栗浦照明121及等離子體產(chǎn)生的寬帶輻射133占據(jù)NA空間的相同或共同部分。就此而言，栗浦照明121及等離子體產(chǎn)生的寬帶輻射133可共享LSP照明子系統(tǒng)102的光瞳。
[0055]在一個(gè)實(shí)施例中，LSP照明子系統(tǒng)102包含冷光鏡603，其具有對(duì)經(jīng)產(chǎn)生的寬帶輻射133(或經(jīng)產(chǎn)生的寬帶輻射133的一部分)具有反射性的反射涂層(未展示)。此外，冷光鏡603對(duì)栗浦照明121透明。在一個(gè)實(shí)施例中，冷光鏡603定位于收集器106的反射表面與栗浦源104之間。在另一實(shí)施例中，經(jīng)由冷光鏡603分離寬帶輻射133及栗浦照明121。就此而言，冷光鏡603的反射涂層可將所反射的寬帶輻射304(例如，VUV光)引導(dǎo)到下游光學(xué)元件。在另一實(shí)施例中，LSP照明子系統(tǒng)102包含補(bǔ)償光學(xué)元件602。在本文中應(yīng)注意，冷光鏡603可折射栗浦照明121。補(bǔ)償元件602可被插入到LSP照明子系統(tǒng)102中以便補(bǔ)償此折射。
[0056]在另一實(shí)施例中，LSP子系統(tǒng)102可包含全內(nèi)反射(TIR)光學(xué)元件(未展示)。在一個(gè)實(shí)施例中，經(jīng)由TIR元件分離寬帶輻射133及栗浦照明121。在一個(gè)實(shí)施例中，TIR元件定位于收集器106的反射表面與栗浦源104之間。在另一實(shí)施例中，TIR元件經(jīng)布置以便在空間上分離包含第一波長(zhǎng)的栗浦照明121與包含從等離子體107發(fā)射的至少第二波長(zhǎng)的經(jīng)發(fā)射的寬帶輻射133。
[0057]在一個(gè)實(shí)施例中，TIR元件由所選擇材料(例如，CaF2、MgF2及類(lèi)似物)形成，且相對(duì)于栗浦源104及經(jīng)產(chǎn)生的等離子體107而布置，以便建立入射于TIR元件上的等離子體照明133的全內(nèi)反射。此外，TIR元件由對(duì)來(lái)自栗浦源104的栗浦照明121透明的材料形成。舉例來(lái)說(shuō)，TIR元件的材料、位置及定向可經(jīng)選擇，使得等離子體照明133在TIR元件內(nèi)的第一表面處經(jīng)歷全內(nèi)反射，且在第二表面處離開(kāi)TIR元件。接著，如貫穿本發(fā)明所描述，離開(kāi)的等離子體照明304可被引導(dǎo)到下游光學(xué)元件。此外，TIR元件的材料、位置及定向可經(jīng)選擇使得栗浦照明121在第一表面處被折射且經(jīng)透射穿過(guò)TIR元件。接著，栗浦照明121在第三表面處朝向收集器106離開(kāi)TIR元件以用于等離子體產(chǎn)生。在2014年8月13日申請(qǐng)的第14/459,095號(hào)美國(guó)申請(qǐng)案中描述適用于分離栗浦照明(例如IR光)與等離子體產(chǎn)生的寬帶輻射(例如VUV光)的TIR元件及其它基于折射的光學(xué)元件的使用，所述申請(qǐng)案以全文引用的方式并入本文中。
[0058]圖7說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的經(jīng)配置使得栗浦照明121及等離子體產(chǎn)生的寬帶輻射133占據(jù)NA空間的相同部分的LSP照明子系統(tǒng)102。如在圖7中展示，入射的栗浦照明從收集器106下方被引導(dǎo)，且穿過(guò)冷光鏡703及對(duì)應(yīng)補(bǔ)償元件702。在另一實(shí)施例中，在圖7中描繪的實(shí)施例無(wú)需室窗(例如在圖6中描繪的室窗)。在一個(gè)實(shí)施例中，等離子體氣體容納于室701內(nèi)且貫穿LSP照明子系統(tǒng)102的管柱705。就此而言，收集器106、冷光鏡703及窗709形成室701的腔。在另一實(shí)施例中，歸因于對(duì)寬帶輻射133透明且允許LSP輸出706被透射到下游光學(xué)元件的窗709，管柱705維持壓力。在另一實(shí)施例中，通道703允許等離子體107及等離子體羽的控制及冷卻。
[0059]在本文中應(yīng)注意，雖然已在等離子體氣體及在‘室’中發(fā)生的此類(lèi)氣體內(nèi)的等離子體形成的背景中描述LSP照明子系統(tǒng)102的實(shí)施例，但此不應(yīng)解釋為限制且僅出于說(shuō)明性目的而提供。在本文中預(yù)期，在本文中描述的所有LSP照明子系統(tǒng)實(shí)施例可出于產(chǎn)生寬帶輻射133的目的而擴(kuò)展到包含等離子體單元(例如，參見(jiàn)圖2)及等離子體燈泡的架構(gòu)。
[0060]在本文中應(yīng)注意，可經(jīng)由對(duì)系統(tǒng)100的各種參數(shù)的控制而調(diào)整由LSP照明子系統(tǒng)102發(fā)射的寬帶輻射的功率電平。此外，在本文中應(yīng)認(rèn)識(shí)到，通過(guò)經(jīng)發(fā)射寬帶輻射的功率電平的調(diào)整可優(yōu)化或至少改進(jìn)樣本116上的成像區(qū)域。在一個(gè)實(shí)施例中，可通過(guò)改變經(jīng)產(chǎn)生的等離子體107的形狀而調(diào)整經(jīng)發(fā)射寬帶輻射的功率電平。舉例來(lái)說(shuō)，栗浦源104的功率電平可經(jīng)調(diào)整以便改變經(jīng)產(chǎn)生的等離子體107的形狀，且進(jìn)而調(diào)整經(jīng)發(fā)射寬帶輻射133的功率輸出。通過(guò)另一實(shí)例，栗浦源104的波長(zhǎng)可經(jīng)調(diào)整以便改變經(jīng)產(chǎn)生的等離子體107的形狀，且進(jìn)而調(diào)整經(jīng)發(fā)射寬帶輻射133的功率輸出。通過(guò)另一實(shí)例，激光維持等離子體子系統(tǒng)102內(nèi)的栗浦氣體的壓力可經(jīng)調(diào)整以便改變經(jīng)產(chǎn)生的等離子體107的形狀，且進(jìn)而調(diào)整經(jīng)發(fā)射寬帶輻射133的功率電平。通過(guò)另一實(shí)例，在激光維持等離子體子系統(tǒng)內(nèi)的NA功率分布可經(jīng)調(diào)整以便改變經(jīng)產(chǎn)生的等離子體107的形狀，且進(jìn)而調(diào)整經(jīng)發(fā)射寬帶輻射133的功率電平。在本文中應(yīng)注意，可手動(dòng)或通過(guò)數(shù)字控制系統(tǒng)自動(dòng)實(shí)施上述改變及調(diào)整。
[0061]圖8說(shuō)明描繪根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于使用激光維持等離子體照明輸出對(duì)樣本進(jìn)行成像的方法800的流程圖。在步驟802中，產(chǎn)生包含一或多個(gè)第一所選擇波長(zhǎng)的栗浦照明121，例如IR光。在步驟804中，容納適用于等離子體產(chǎn)生的一定體積的氣體。舉例來(lái)說(shuō)，一定體積的等離子體產(chǎn)生氣體可容納于等離子體室、等離子體單元或等離子體燈泡內(nèi)。在步驟806中，通過(guò)將栗浦照明121聚焦到一定體積的氣體中而在一定體積的氣體內(nèi)形成等離子體來(lái)產(chǎn)生包含一或多個(gè)第二所選擇波長(zhǎng)的寬帶輻射133(例如，VUV光)。在步驟808中，使用從等離子體107發(fā)射的寬帶輻射133的至少一部分經(jīng)由照明路徑113照明一或多個(gè)樣本116的表面。在步驟81