一種顯影設備和顯影方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及液晶顯示領域，尤其涉及一種顯影設備和顯影方法。
【背景技術】
[0002] 眾所周知，液晶顯示器具有功耗低、體積小、重量輕、超薄屏等許多其他顯示器無 法比擬的優(yōu)點，近年來被廣泛應用于單片機控制的智能儀器、儀表和低功耗電子產品中。
[0003] 如圖1所示，目前的顯影設備在對液晶顯示器的基板進行顯影時，包括有以下工藝 過程:將基板3放置于承載平臺1上，承載平臺1帶動基板3與水平面呈預設傾斜角，采用顯影 機的多個噴嘴2對基板3噴灑顯影液，進而對基板3進行顯影。
[0004] 如圖1所示，目前的顯影設備在對液晶顯示器的基板進行顯影時，包括有以下工藝 過程:將基板3以預設傾斜角Θ放置于承載平臺1上，采用顯影機的多個噴嘴2對基板3噴灑顯 影液，進而對基板3進行顯影。然而，在目前的顯影過程中，多種因素均會造成基板3不同位 置接觸到的顯影液量不均勻，例如，噴灑于傾斜的基板3上方的顯影液會沿著基板3向下流 到基板3下方，下方的基板3在接觸到上方的噴嘴2噴灑的顯影液的同時還會接觸到上方流 下的顯影液;又例如，與基板3不同區(qū)域對應的噴嘴2在噴灑顯影液時，由于各個噴嘴2距基 板3高度的不同會導致其各自噴灑的顯影液在基板3的覆蓋范圍大小不同（如圖1中所示，S6 >S5>…〉S2>S1)，即，噴嘴對基板不同位置處噴灑的顯影液的密度不同（S1處的密度最大，S6 處的密度最小）；又例如，相鄰兩個噴嘴噴灑至基板3上的顯影液的范圍有交疊區(qū)域。因此， 現在技術的顯影設備在用于顯影工藝時，會造成基板3不同區(qū)域接觸到的顯影液的量不均 勻，從而使基板3在顯影后形成的圖案的圖形線寬均一性較差。

【發(fā)明內容】

[0005] 本發(fā)明的目的是提供一種顯影設備和顯影方法，以改善目前顯影設備用于對基板 進行顯影工藝時，基板顯影后形成的圖案的圖形線寬均一性較差的問題。
[0006] 本發(fā)明的目的是通過以下技術方案實現的：
[0007] 本發(fā)明實施例提供一種顯影設備，包括承載平臺和多個噴嘴，所述承載平臺用于 承載基板并使所述基板的第一延展方向與水平面呈預定夾角，各個所述噴嘴在所述承載平 臺上方并排排列且距水平面的高度相同，各個所述噴嘴的排列方向與所述第一延展方向在 水平面的垂直投影平行，所述噴嘴用于以實心錐模式將顯影液噴灑于所述基板上，各所述 噴嘴噴灑顯影液的發(fā)散角可調，以控制相鄰兩個所述噴嘴噴灑的顯影液落于所述基板上的 交疊區(qū)域的面積。
[0008] 本發(fā)明實施例有益效果如下：顯影設備具有能夠調控發(fā)散角的噴嘴，通過對噴嘴 噴灑顯影液的發(fā)散角的調整可以控制相鄰兩個噴嘴噴灑的顯影液落于基板上的交疊區(qū)域 的面積大小，以使基板各個區(qū)域接觸到的顯影液的量基本均勻，進而能夠提高基板在顯影 后形成的圖案的圖形線寬的均一性。
[0009] 優(yōu)選的，所述噴嘴具有大小可調的出液口，所述噴嘴噴灑顯影液的發(fā)散角與所述 出液口的開口大小成正比。
[0010]優(yōu)選的，所述出液口設置有多個相互部分重疊的葉片組成的相機光圈結構，所述 噴嘴通過所述葉片的轉動來改變中心孔徑進而以調整所述出液口的開口大小。
[0011] 優(yōu)選的，所述噴嘴包括本體和開口調整部，所述開口調整部為兩個固定擋板和兩 個轉動擋板圍設形成的上下開口的框狀結構，所述開口調整部的橫截面圖形為矩形；
[0012] 兩個所述固定擋板平行設置且二者的一端均與所述本體固定連接，兩個所述轉動 擋板具有連接端和轉動端，所述轉動擋板的連接端與所述本體活動連接，所述轉動擋板的 轉動端能夠圍繞所述轉動擋板的連接端轉動；
[0013] 各個所述噴嘴的所述固定檔板與該些所述噴嘴在所述承載平臺上方的排列方向 平行，所述噴嘴通過所述轉動擋板的轉動端的轉動調整所述出液口的大小。
[0014] 優(yōu)選的，所述顯影設備還包括傳輸管道，所述傳輸管道用于向所述噴嘴輸送顯影 液；
[0015] 各個所述噴嘴與同一條所述傳輸管道連通;或者，
[0016] 各個所述噴嘴分別與不同所述傳輸管道一一對應連通。
[0017] 優(yōu)選的，所述顯影設備還包括電連接的監(jiān)測部件和流量調節(jié)部件；
[0018] 所述監(jiān)測部件，用于監(jiān)測所述噴嘴噴灑顯影液的當前發(fā)散角并發(fā)送給所述流量調 節(jié)部件；
[0019] 所述流量調節(jié)部件，用于根據所述當前發(fā)散角與預定發(fā)散角的比例關系，調節(jié)所 述傳輸管道向所述噴嘴輸送顯影液的流量。
[0020] 優(yōu)選的，所述顯影設備還包括顯示部件和控制部件，所述控制部件與所述顯示部 件、所述監(jiān)測部件和所述流量調節(jié)部件電連接；
[0021] 所述顯示部件，用于顯示各個所述噴嘴噴灑顯影液的所述當前發(fā)散角、所述傳輸 管道向所述噴嘴輸送顯影液的流量；
[0022] 所述控制部件，用于控制所述流量調節(jié)部件調節(jié)所述傳輸管道向所述噴嘴輸送顯 影液的流量，以及控制所述噴嘴的所述出液口的開口大小。
[0023] 本發(fā)明實施例有益效果如下：顯影設備具有能夠調控發(fā)散角的噴嘴，通過對噴嘴 噴灑顯影液的發(fā)散角的調整可以控制相鄰兩個噴嘴噴灑的顯影液落于基板上的交疊區(qū)域 的面積大小，以使基板各個區(qū)域接觸到的顯影液的量基本均勻，進而能夠提高基板在顯影 后形成的圖案的圖形線寬的均一性。
[0024]本發(fā)明實施例提供一種顯影方法，采用所述的顯影設備，包括：
[0025]使待顯影的基板的第一延展方向與水平面呈預定夾角；
[0026]調節(jié)各個噴嘴噴灑顯影液的發(fā)散角，使相鄰兩個所述噴嘴噴灑的顯影液落于所述 基板上的交疊區(qū)域的面積在規(guī)定范圍內。
[0027] 優(yōu)選的，所述調節(jié)各個所述噴嘴噴灑顯影液的發(fā)散角，具體包括：
[0028] 通過調整各個所述噴嘴的出液口的大小來調節(jié)各個所述噴嘴噴灑顯影液的發(fā)散 角;其中，所述噴嘴噴灑顯影液的發(fā)散角與所述出液口的開口大小成正比。
[0029]優(yōu)選的，所述顯影方法還包括：
[0030]通過監(jiān)測所述噴嘴噴灑顯影液的當前發(fā)散角，并根據所述當前發(fā)散角與預定發(fā)散 角的比例關系，調節(jié)所述傳輸管道向所述噴嘴輸送顯影液的流量，以調節(jié)各個所述噴嘴噴 灑顯影液的發(fā)散角。
[0031]本發(fā)明實施例有益效果如下：顯影設備具有能夠調控發(fā)散角的噴嘴，通過對噴嘴 噴灑顯影液的發(fā)散角的調整可以控制相鄰兩個噴嘴噴灑的顯影液落于基板上的交疊區(qū)域 的面積大小，以使基板各個區(qū)域接觸到的顯影液的量基本均勻，進而能夠提高基板在顯影 后形成的圖案的圖形線寬的均一性。
【附圖說明】
[0032]圖1為現有技術的顯影設備噴灑顯影液時的示意圖；
[0033]圖2為本發(fā)明實施例提供的顯影設備噴灑顯影液時的示意圖；
[0034] 圖3為本發(fā)明實施例提供的噴嘴出液口為相機光圈結構的示意圖；
[0035] 圖4為本發(fā)明實施例提供的噴嘴出液口為轉動擋板結構的示意圖；
[0036] 圖5為本發(fā)明實施例提供的噴嘴出液口具有轉動擋板和固定擋板時的結構的示意 圖；
[0037] 圖6為本發(fā)明實施例提供的一種顯影設備的噴嘴的結構示意圖；
[0038] 圖7為本發(fā)明實施例提供的另一種顯影設備的噴嘴的結構示意圖；
[0039] 圖8為本發(fā)明實施例提供的顯影方法流程圖；
[0040] 圖9現有技術的顯影設備對基板進行顯影后的圖案的圖形線寬分布示意圖。
【具體實施方式】
[0041] 下面結合說明書附圖對本發(fā)明實施例的實現過程進行詳細說明。需要注意的是， 自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通 過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。 [0042]參見圖2,本發(fā)明實施例提供一種顯影設備，包括承載平臺1和多個噴嘴2,承載平 臺1用于承載基板3并使基板3的第一延展方向AB與水平面呈預定夾角Θ，各個噴嘴2在承載 平臺1上方并排排列且距水平面高度相同，各個噴嘴2的排列方向與第一延展方向AB在水平 面的垂直投影平行，噴嘴2用于以實心錐模式將顯影液噴灑于基板3上，各噴嘴2噴灑顯影液 的發(fā)散角α可調，以控制相鄰兩個噴嘴2噴灑的顯影液落于基板3上的交疊區(qū)域△ S的面積。 [0043]需要說明的是，噴嘴2所噴灑顯影液所形成的立體圖形可能是實心錐，也可能是空 心錐。對于顯影而言，顯然噴灑顯影液為實心錐的噴嘴2更適合，而該實心錐可以是圓錐、多 棱錐(例如三棱錐、四棱錐或六棱錐等等），相應的，噴灑顯影液為圓錐時，其垂直于法線的 橫截面圖形為圓形;噴灑顯影液為四棱錐時，其垂直于法線的橫截面圖形為矩形，此時可以 視為液簾。因此，為了滿足不同的需求，噴嘴2噴灑顯影液的立體圖形可以靈活選擇，在此不 再贅述。
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