用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述:
[0031]實施例1
[0032]如圖4所示，本實用新型提供了一種冷卻凈化裝置，用于冷卻凈化光刻機(jī)的掩模板I和物鏡鏡頭2，所述掩模板I位于掩模臺8上，所述鏡頭2位于鏡頭保護(hù)件12上，所述裝置包括供氣源3、第一固定板5、第二固定板4和第一凈化罩7。
[0033]所述供氣源3設(shè)于所述掩模臺外部，供氣源3內(nèi)充有過壓氣體，其過壓值優(yōu)選5_10Pao
[0034]如圖4所示，所述第一凈化罩7設(shè)在所述鏡頭2上方，所述第一凈化罩7上設(shè)有與所述供氣源3連通的第一進(jìn)氣口 701，所述第一固定板5設(shè)于所述第一凈化罩7上，第一固定板5上設(shè)有出氣孔501，該出氣孔501與所述第一凈化罩7連通。進(jìn)一步的，如圖6所示，所述第一固定板5上設(shè)有環(huán)形槽，通過該環(huán)形槽第一固定板5插在所述第一凈化罩7上；所述第一固定板5上還設(shè)有若干用于連接鏡頭保護(hù)件12的螺紋孔503，通過調(diào)節(jié)螺釘可以調(diào)節(jié)所述第一固定板5與鏡頭2之間的垂向距離。進(jìn)一步的，所述第一固定板5上還設(shè)有水冷通道502，所述水冷通道502內(nèi)注入溫控水，較佳地，所述溫控水的水溫為21.9°C，允許波動范圍為±0.1°C，本實施例所述的水冷通道502有兩個，分別位于所述環(huán)形槽兩側(cè)。具體的，所述水冷通道502可以采用鋁或者不銹鋼材料制成，并按照一定的軌跡焊接在所述第一固定板5上；或者可以將兩塊對應(yīng)設(shè)有凹槽的板粘接，形成具有水冷通道502的第一固定板5，優(yōu)選的，水冷通道502的截面是圓形、方形或者腰孔形，且應(yīng)具有很好的密封性。
[0035]請重點參照圖7，冷卻凈化鏡頭2的氣體流動線路為:供氣源3中的過壓氣體從第一進(jìn)氣口 701進(jìn)入到第一凈化罩7內(nèi)，在鏡頭2的頂部形成一個過壓的微環(huán)境，使得外部顆粒雜質(zhì)難進(jìn)入，同時過壓氣體由下往上流動凈化鏡頭2，并最終從第一固定板5上的出氣孔501排出，帶走鏡頭2產(chǎn)生的熱量和顆粒雜質(zhì)。同時，第二固定板5兩側(cè)的水冷通道502加快了對鏡頭2散發(fā)的熱量的冷卻。
[0036]繼續(xù)參照圖4，所述第二固定板4設(shè)在所述掩模板I上方，并與所述掩模臺8連接，所述第二固定板4上設(shè)有通氣孔。進(jìn)一步的，所述第二固定板4上設(shè)有第二凈化罩9，具體的，所述第二凈化罩9位于照明模塊11下方，所述第二凈化罩9上設(shè)有與所述供氣源3連通的第二進(jìn)氣口 901。進(jìn)一步的，所述第二固定板4與所述掩模臺8之間設(shè)有移動板6，該移動板6固定在所述掩模臺8上，并隨其運動，所述移動板6上設(shè)有通氣孔，氣體通過所述第二進(jìn)氣口 901依次進(jìn)入所述第二固定板4上的通氣孔和所述移動版6上的通氣孔到達(dá)所述掩模板I表面。另外，所述第二固定板4的側(cè)面設(shè)有用于連接所述掩模臺8的連接片，所述連接片上設(shè)有腰形孔401，所述第二固定板4通過腰形孔401可調(diào)節(jié)與所述移動板6之間的垂向距離，本實施例的連接片為兩個，如圖5所示。所述第二凈化罩9與所述第二固定板4的連接處設(shè)有密封件10，增加了密封性。
[0037]請重點參照圖7，冷卻凈化掩模板I的氣體流動線路為:所述供氣源3提供的氣體從第二凈化罩9上的第二進(jìn)氣口 901進(jìn)入后，依次通過第二固定板4和移動板6上的通氣孔到達(dá)掩模板I的表面，對掩模板進(jìn)行冷卻凈化，同時掩模板I產(chǎn)生的熱氣從移動板6上的通氣孔和第二固定板4與移動板6之間的間隙排出。另外，在整個冷卻凈化過程中移動板6隨著掩模臺8運動，加快了對掩模板I產(chǎn)生的熱氣的散發(fā)，提高了對掩模板I的冷卻效果。
[0038]實施例2
[0039]如圖8所示，與實施例1不同的是，本實施例中所述供氣源3設(shè)于所述掩模臺8內(nèi)部，且不設(shè)第二凈化罩9，而是在所述第二固定板4內(nèi)部設(shè)有中空結(jié)構(gòu)402，該中空結(jié)構(gòu)402設(shè)有與所述供氣源3連通的進(jìn)氣口，氣體通過進(jìn)氣口進(jìn)入中空結(jié)構(gòu)402后再從第二固定板4上的通氣孔排出，并經(jīng)過移動板6后到達(dá)掩模板I的表面，達(dá)到對其冷卻和凈化的目的。
[0040]雖然說明書中對本實用新型的實施方式進(jìn)行了說明，但這些實施方式只是作為提示，不應(yīng)限定本實用新型的保護(hù)范圍。在不脫離本實用新型宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種省略、置換和變更均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種冷卻凈化裝置，用于冷卻、凈化光刻機(jī)的物鏡鏡頭和掩模臺上的掩模板，其特征在于，所述裝置包括供氣源、第一固定板、第二固定板和第一凈化罩，所述第一凈化罩設(shè)在所述鏡頭上方，所述第一固定板設(shè)在所述第一凈化罩上，所述第一固定板上設(shè)有出氣孔，該出氣孔與所述第一凈化罩連通，所述第一凈化罩上設(shè)有與所述供氣源連通的進(jìn)氣口，通過該進(jìn)氣口將氣體引入到所述鏡頭表面；所述第二固定板設(shè)在所述掩模板上方，所述第二固定板上設(shè)有與所述供氣源連通的通氣孔，通過該通氣孔將氣體引入到所述掩模板表面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第二固定板上設(shè)有第二凈化罩，所述第二凈化罩上設(shè)有與所述供氣源連通的進(jìn)氣口，氣體通過該進(jìn)氣口和所述第二固定板上的通氣孔到達(dá)所述掩模板表面。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第二凈化罩與所述第二固定板的連接處設(shè)有密封件。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第二固定板中設(shè)有中空結(jié)構(gòu)，該中空結(jié)構(gòu)設(shè)有與所述供氣源連通的進(jìn)氣口，氣體通過該進(jìn)氣口和所述第二固定板上的通氣孔到達(dá)所述掩模板表面。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第二固定板與所述掩模臺之間設(shè)有移動板，該移動板固定在所述掩模臺上，并隨所述掩模臺運動，所述移動板上設(shè)有通氣孔，該通氣孔與所述第二固定板上的通氣孔連通。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第一固定板上設(shè)有水冷通道，所述水冷通道內(nèi)注入溫控水。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述水冷通道的截面為圓形、方形或腰孔形。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述溫控水的水溫為21.8V?22。。。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述第二固定板的側(cè)面設(shè)有用于連接所述掩模臺的連接片，該連接片上設(shè)有腰形孔，所述第二固定板通過腰形孔調(diào)節(jié)與所述掩模臺之間的垂向距離。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻凈化裝置，其特征在于，所述供氣源內(nèi)充有過壓氣體。
【專利摘要】本實用新型公開了一種冷卻凈化裝置，用于冷卻、凈化光刻機(jī)的物鏡鏡頭和掩模臺上的掩模板，所述裝置包括供氣源、第一固定板、第二固定板和第一凈化罩，所述第一凈化罩設(shè)在所述鏡頭上方，所述第一固定板設(shè)在所述第一凈化罩上，所述第一固定板上設(shè)有出氣孔，該出氣孔與所述第一凈化罩連通，所述第一凈化罩上設(shè)有與所述供氣源連通的進(jìn)氣口，通過該進(jìn)氣口將氣體引入到所述鏡頭表面；所述第二固定板設(shè)在所述掩模板上方，所述第二固定板上設(shè)有與所述供氣源連通的通氣孔，通過該通氣孔將氣體引入到所述掩模板表面。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有凈化全面、冷卻效果好、結(jié)構(gòu)緊湊、占用垂向空間小、易于維護(hù)及可靠性較高等優(yōu)點。
【IPC分類】G03F7/20
【公開號】CN204679759
【申請?zhí)枴緾N201520365024
【發(fā)明人】魏龍飛, 方潔
【申請人】上海微電子裝備有限公司
【公開日】2015年9月30日
【申請日】2015年5月29日