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      疊層陶瓷電容器的制作方法

      文檔序號(hào):11136234閱讀:1240來源:國(guó)知局
      疊層陶瓷電容器的制造方法與工藝
      本發(fā)明涉及構(gòu)成電介質(zhì)層的陶瓷顆粒具有規(guī)定的組成的疊層陶瓷電容器。
      背景技術(shù)
      :近年來,隨著在攜帶電話和平板終端等的數(shù)字電子設(shè)備中使用的電路的高密度化,對(duì)電子部件的小型化的要求提高,構(gòu)成該電路的疊層陶瓷電容器(MLCC)的小型化、大容量化正在急速發(fā)展。疊層陶瓷電容器的容量與構(gòu)成該電容器的電介質(zhì)層的構(gòu)成材料的介電常數(shù)、電介質(zhì)層的疊層數(shù)成正比,與電介質(zhì)層每一層的厚度成反比。由此,為了應(yīng)對(duì)小型化的要求,要求提高材料的介電常數(shù)、且減薄電介質(zhì)層的厚度,使該疊層數(shù)增加。但是,當(dāng)使電介質(zhì)層薄層化時(shí),施加于每個(gè)單位厚度的電壓增加,電介質(zhì)層的壽命時(shí)間變短,導(dǎo)致疊層陶瓷電容器的可靠性降低。因此,為了改善壽命,提出了添加作為施主元素的Mo、W的電介質(zhì)組成。另外,在專利文獻(xiàn)1中,記載了一種鈦酸鋇系陶瓷顆粒,其特征在于,作為形成容量溫度特性良好、且壽命特性優(yōu)良的疊層陶瓷電容器的電介質(zhì)陶瓷,具有芯部和殼部,作為副成分,含有稀土元素R和M(M是選自Mg、Mn、Ni、Co、Fe、Cr、Cu、Al、Mo、W和V中的至少一種),R和M的合計(jì)濃度從晶粒邊界向芯部具有梯度,且具有成為極小的部分和成為極大的部分。此外,在該文獻(xiàn)的實(shí)施例中,使用相對(duì)于鈦酸鋇100mol添加了Mn0.5mol、Mo0.2mol和Gd1.0mol的原料,制作電介質(zhì)層的厚度為1μm的疊層陶瓷電容器?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2011-256091號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:發(fā)明想要解決的技術(shù)問題近年來持續(xù)進(jìn)行著電介質(zhì)層的薄層化,其厚度實(shí)現(xiàn)了低至1μm。在該情況下,專利文獻(xiàn)1中記載的發(fā)明中,電介質(zhì)層的厚度例如在0.8μm以下的情況的壽命特性還存在改善的余地。另外,當(dāng)電介質(zhì)層變薄時(shí),偏壓特性(施加直流電壓時(shí)的疊層陶瓷電容器的靜電電容不變化的特性)也變差,在專利文獻(xiàn)1的技術(shù)中,難以避免這個(gè)問題。因此,本發(fā)明的目的在于提供一種即使電介質(zhì)層的厚度在0.8μm以下,壽命特性和偏壓特性也優(yōu)良的疊層陶瓷電容器。用于解決技術(shù)問題的技術(shù)方案本發(fā)明是一種疊層陶瓷電容器,其特征在于,具備由極性不同的內(nèi)部電極層隔著電介質(zhì)層交替疊層而成的疊層體,上述電介質(zhì)層含有以BaTiO3為主成分的陶瓷顆粒,該陶瓷顆粒含有Mo、Mn和稀土元素R,上述陶瓷顆粒中的Mo的平均價(jià)數(shù)為4.18~4.60。優(yōu)選上述電介質(zhì)層中的Mo的量相對(duì)于BaTiO3100mol為0.1~0.3mol。通過使Mo的量為這樣的范圍,容易將Mo的平均價(jià)數(shù)(以單原子計(jì),為4或者6)調(diào)整到本發(fā)明的范圍。優(yōu)選上述電介質(zhì)層中的Mn的量相對(duì)于BaTiO3100mol為0.03~0.28mol。通過使Mn的量為這樣的范圍,容易將Mn的平均價(jià)數(shù)調(diào)整到本發(fā)明的范圍。優(yōu)選上述電介質(zhì)層中的稀土元素R的量相對(duì)于BaTiO3100mol為0.5~1.8mol。通過使稀土元素R的量為這樣的范圍,容易將Mo的平均價(jià)數(shù)調(diào)整到本發(fā)明的范圍。本發(fā)明的疊層陶瓷電容器中,優(yōu)選上述電介質(zhì)層的厚度在0.8μm以下。通過如上所述減薄電介質(zhì)層的厚度,能夠?qū)崿F(xiàn)疊層陶瓷電容器的大容量化,而且根據(jù)本發(fā)明,該電容器的壽命特性和偏壓特性也優(yōu)良。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明,能夠提供一種即使電介質(zhì)層的厚度在0.8μm以下,壽命特性和偏壓特性也優(yōu)良的疊層陶瓷電容器。附圖說明圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的疊層陶瓷電容器的概略縱截面圖。具體實(shí)施方式以下,說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的疊層陶瓷電容器。圖1是本發(fā)明的疊層陶瓷電容器1的概略縱截面圖。[疊層陶瓷電容器]疊層陶瓷電容器1大致包括陶瓷燒結(jié)體10和形成在陶瓷燒結(jié)體10的兩側(cè)的一對(duì)外部電極20,其中,陶瓷燒結(jié)體10具有以標(biāo)準(zhǔn)確定的芯片尺寸和形狀(例如1.0×0.5×0.5mm的長(zhǎng)方體),為陶瓷顆粒的燒結(jié)體。陶瓷燒結(jié)體10以含有BaTiO3的顆粒結(jié)晶為主成分,具有在內(nèi)部由內(nèi)部電極層13隔著電介質(zhì)層12交替疊層而成的疊層體11和作為疊層方向上下的最外層形成的覆蓋層15。并且,雖然未圖示,以疊層體11(的內(nèi)部電極層13)不露出到外部的方式存在將其覆蓋的側(cè)向裕量(sidemargin)。根據(jù)靜電電容和所要求的耐壓等的標(biāo)準(zhǔn),疊層體11具有由2個(gè)內(nèi)部電極層13夾著的電介質(zhì)層12的厚度設(shè)定在規(guī)定的范圍的(通常在0.8μm以下)、整體的疊層數(shù)為幾百~幾千程度的高密度多層構(gòu)造。形成在疊層體11的最外層部分的覆蓋層15保護(hù)電介質(zhì)層12和內(nèi)部電極層13不受到來自外部的濕氣和污染物等的污染,防止它們的時(shí)效老化。另外,內(nèi)部電極層13的端緣被交替引出至位于電介質(zhì)層12的長(zhǎng)度方向兩端部的極性的不同的一對(duì)外部電極20,從而電連接。而且,本發(fā)明的疊層陶瓷電容器1的電介質(zhì)層12含有以BaTiO3為主成分的陶瓷顆粒,該陶瓷顆粒包括Mo、Mn和稀土元素R,上述陶瓷顆粒中的Mo的平均價(jià)數(shù)為4.18~4.60。如上所述,構(gòu)成電介質(zhì)層的陶瓷顆粒含有規(guī)定的元素、且陶瓷顆粒中的Mo的平均價(jià)數(shù)為4.18~4.60,由此,在本發(fā)明的疊層陶瓷電容器1中,即使電介質(zhì)層12的厚度在0.8μm以下,壽命特性和偏壓特性也優(yōu)良。在上述平均價(jià)數(shù)低于4.18時(shí),壽命特性變得不良,當(dāng)超過4.60時(shí),偏壓特性變得不良。此外,關(guān)于平均價(jià)數(shù)的測(cè)定方法在后述的實(shí)施例中詳細(xì)說明。上述的平均價(jià)數(shù)的范圍受到各種要素的影響。例如,電介質(zhì)層12中的Mo的量影響Mo的平均價(jià)數(shù)。本發(fā)明中,優(yōu)選使上述量相對(duì)于BaTiO3100mol為0.1~0.3mol,容易將平均價(jià)數(shù)調(diào)整到4.18~4.60的范圍。此外,在上述的Mo量的范圍中,Mo的量變高時(shí),Mo的平均價(jià)數(shù)有上升的趨勢(shì)。并且,Mn也影響Mo的平均價(jià)數(shù)。本發(fā)明中,優(yōu)選使電介質(zhì)層12中的Mn的量相對(duì)于BaTiO3100mol為0.03~0.28mol,容易將Mo的平均價(jià)數(shù)調(diào)整到4.18~4.60的范圍。此外,對(duì)于添加的Mn的全部量中的一部分,使用Mg代替Mn(即用Mg置換Mn的一部分),也能夠?qū)崿F(xiàn)上述的Mo的平均價(jià)數(shù)的范圍,起到本發(fā)明的效果。此外,在上述的Mn量的范圍中,Mn的量提高時(shí),Mo的平均價(jià)數(shù)有上升的趨勢(shì)。另外,在電介質(zhì)層12中的Mn量變多時(shí),偏壓特性有變差的趨勢(shì)。另外,稀土元素R也影響Mo的平均價(jià)數(shù)。本發(fā)明中,能夠沒有特別限制地使用與稀土元素相當(dāng)?shù)慕饘?,從將Mo的平均價(jià)數(shù)調(diào)整到4.18~4.60的范圍的觀點(diǎn)奧率,優(yōu)選Ho、Y、Dy、Gd、Tb、Er、Sm和Eu,更優(yōu)選Ho、Y、Dy和Gd。另外,在本發(fā)明中,優(yōu)選使電介質(zhì)層12中的稀土元素R的量(作為R使用2種以上的情況下,它們的合計(jì)值)相對(duì)于BaTiO3100mol為0.5~1.8mol,容易將平均價(jià)數(shù)調(diào)整到4.18~4.60的范圍。此外,在上述的R量的范圍中,當(dāng)稀土元素R的量提高時(shí),平均價(jià)數(shù)有上升的趨勢(shì)。此外,以上說明的各種金屬元素的電介質(zhì)層12中的量例如能夠通過ICP發(fā)光分光分析測(cè)定,通常作為氧化物和碳酸鹽的換算值求出。另外,該值在制造后述的疊層陶瓷電容器時(shí),與其各自的金屬元素的添加材料的加入量大約一致。另外,在本發(fā)明的疊層陶瓷電容器1中,覆蓋層15的厚度、側(cè)向裕量的厚度和內(nèi)部電極層11的厚度沒有特別限制,覆蓋層15的厚度通常為4~50μm,側(cè)向裕量的厚度通常為4~50μm,內(nèi)部電極層11的厚度通常為0.26~1.00μm。[疊層陶瓷電容器的制造方法]以下,對(duì)以上說明的本發(fā)明的疊層陶瓷電容器的制造方法進(jìn)行說明。首先,準(zhǔn)備用于形成電介質(zhì)層的原料粉末。作為原料粉末,能夠使用形成陶瓷燒結(jié)體的BaTiO3的粉末。BaTiO3為具有鈣鈦礦構(gòu)造的正方晶化合物,顯示高介電常數(shù)。該BaTiO3通常通過使二氧化鈦等的鈦原料和碳酸鋇等的鋇原料反應(yīng)而合成鈦酸鋇得到。此外,從合成微細(xì)的BaTiO3的觀點(diǎn)考慮,優(yōu)選鈦原料的比表面積在10~300m2/g的范圍。從合成微細(xì)的BaTiO3的觀點(diǎn)考慮,優(yōu)選鋇原料的比表面積在10~50m2/g的范圍。作為上述BaTiO3的合成方法,一直以來已知有各種方法,例如,已知有固相法、溶膠-凝膠法、水熱法等。本發(fā)明中,能夠采用上述的任一種。在本發(fā)明中,為了使陶瓷顆粒中的Mo的平均價(jià)數(shù)在4.18~4.60的范圍,添加Mo、Mn和稀土元素R。它們作為含有各個(gè)金屬元素的化合物(例如氧化物)添加。此外,如上所述能夠利用Mg置換Mn的一部分。添加的階段沒有特別限定,例如,在BaTiO3的合成反應(yīng)時(shí),在鈦原料和鋇原料中混合含有上述金屬元素的化合物來實(shí)施BaTiO3的合成反應(yīng),形成預(yù)先固溶有上述金屬元素的BaTiO3顆粒?;蛘?,在制備作為原料粉末的BaTiO3粉末后,添加含有這些金屬元素的化合物,提供給疊層陶瓷電容器的制造工序(燒制工序等)。另外,在所得到的原料粉末中,可以根據(jù)目的添加規(guī)定的添加化合物。作為上述添加化合物,能夠列舉V、Nb、W、Cr、Co、Ni、Li、B、Na、K和Si的氧化物。其中,關(guān)于V和W,提高M(jìn)o的價(jià)數(shù)的作用較強(qiáng),因此,在添加時(shí),優(yōu)選盡量抑制其添加量。例如,對(duì)于如上所述操作得到的原料粉末,根據(jù)需要進(jìn)行粉碎處理來調(diào)節(jié)粒徑,或者與分級(jí)處理組合來使粒徑一致。而且,在原料粉末中可以添加聚乙烯醇縮丁醛(PVB)樹脂等的粘合劑、乙醇和甲苯等的有機(jī)溶劑以及鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)等的增塑劑進(jìn)行濕式混合。例如利用模涂法、刮刀法,在基材上帶狀地涂敷所得到的漿料并使其干燥,得到厚度在1.2μm以下的電介質(zhì)生片。接著,在電介質(zhì)生片的表面利用絲網(wǎng)印刷、凹版印刷,印刷含有有機(jī)粘合劑的金屬導(dǎo)電膏,配置被交替引出到極性的不同的一對(duì)外部電極的內(nèi)部電極層的圖案。作為上述金屬,從成本的觀點(diǎn)考慮,廣泛采用鎳。此外,在上述金屬導(dǎo)電膏中,作為共材均勻地分散有平均粒徑在50nm以下的鈦酸鋇。之后,將印刷有內(nèi)部電極層圖案的電介質(zhì)生片沖裁為規(guī)定的大小,將沖裁得到的上述電介質(zhì)生片在將基材剝離的狀態(tài)下以內(nèi)部電極層和電介質(zhì)層彼此不同的方式且內(nèi)部電極層在電介質(zhì)層的長(zhǎng)度方向兩端面交替露出端緣而被交替引出至極性的不同的一對(duì)外部電極的方式疊層規(guī)定層數(shù)(例如100~1000層)。在疊層的電介質(zhì)生片的上下壓接成為覆蓋層的覆蓋片,切割為規(guī)定芯片尺寸(例如1.2mm×0.75mm×0.75mm)。接著,形成側(cè)向裕量,作為其方法,能夠沒有特別限制地采用現(xiàn)有公知的各種方法。例如,在切割為上述規(guī)定芯片尺寸時(shí),以并不在內(nèi)部電極層的剛好的位置、而與其相比具有若干寬度地包含不被內(nèi)部電極層覆蓋的電介質(zhì)層的部分的方式切割,由此能夠在疊層體的兩側(cè)面形成所期望的厚度的側(cè)向裕量。另外,在切割后,在所得到的疊層體的、形成有側(cè)向裕量的側(cè)面涂敷規(guī)定的材料(通常為與電介質(zhì)層相同的材料)等,也能夠形成側(cè)向裕量。之后,將成為外部電極的Ni導(dǎo)電膏涂敷在切割后的疊層體的兩端面并使其干燥。由此,得到疊層陶瓷電容器的成型體。此外,也可以通過濺射法等在疊層體的兩端面形成外部電極。在將如上操作得到的疊層陶瓷電容器的成型體在250~500℃的N2氣氛中進(jìn)行脫粘合劑后,在還原氣氛中在1100~1300℃燒制10分鐘~2小時(shí),由此,構(gòu)成上述電介質(zhì)生片的各化合物燒結(jié)而進(jìn)行顆粒生長(zhǎng)。如上所述,能夠得到具有在內(nèi)部由陶瓷顆粒的燒結(jié)體形成的電介質(zhì)層12和內(nèi)部電極層13交替疊層而成的疊層體11、以及作為疊層方向上下的最外層形成的覆蓋層15的疊層陶瓷電容器1。此外,在本發(fā)明中,還可以在600~1000℃實(shí)施再氧化處理。另外,作為關(guān)于疊層陶瓷電容器的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式,也可以通過分別的步驟對(duì)外部電極和電介質(zhì)進(jìn)行燒制。例如,對(duì)疊層電介質(zhì)而成的疊層體進(jìn)行燒制后,在其兩端部燒附導(dǎo)電膏而形成外部電極。實(shí)施例以下,利用實(shí)施例更詳細(xì)地說明本發(fā)明。但是,本發(fā)明不受上述實(shí)施例任何限定。[實(shí)施例1]在離子交換水中添加有分散劑的水溶液中,將BaCO3(比表面積30m2/g)和TiO2(比表面積50m2/g)以Ba/Ti摩爾比=1的方式添加,制成漿料,使用珠磨機(jī)混合、分散。將上述漿料干燥而除去水,在935℃進(jìn)行預(yù)燒,合成根據(jù)SEM照片求出的平均粒徑為100nm的BaTiO3。接著,相對(duì)于BaTiO3100mol而言,以MoO3=0.2mol、(Ho2O3)/2=0.5mol、MnCO3=0.1mol、SiO2=1.0mol的比率(均為各化合物的換算值)添加各種添加材料,添加溶劑,制成漿料。在該漿料中添加PVB粘合劑,在PET薄膜上以1.0μm的厚度涂敷生片。接下來,將Ni導(dǎo)電膏印刷在上述生片上作為內(nèi)部電極,使用其制作1005形狀的400層的疊層陶瓷電容器。在進(jìn)行了脫粘合劑處理后,關(guān)于燒制,在1200℃還原氣氛(氧分壓1.0×10-11MPa)下燒制0.5小時(shí),在N2氣氛下800℃進(jìn)行再氧化處理。燒制后的電介質(zhì)層的厚度為0.8μm,內(nèi)部電極層的厚度為0.9μm,疊層陶瓷電容器的容量為約10μF。另外,為了研究疊層陶瓷電容器的電介質(zhì)層中所含的Mo的平均價(jià)數(shù),進(jìn)行放射光X射線吸收分光的測(cè)定,利用熒光法檢測(cè)MoK吸收端的X射線吸收端附近構(gòu)造(XANES)。作為參照物質(zhì),利用透過法檢測(cè)Mo、MoO2、MoO3的MoK吸收端的XANES。將所得到的XANES利用XAFS分析軟件(產(chǎn)品名:Athena)標(biāo)準(zhǔn)化。在所得到的光譜的上升部分中,讀取關(guān)于Mo、MoO2、MoO3標(biāo)準(zhǔn)化的吸收系數(shù)為0.7的能量值,分別作為0價(jià)、4價(jià)、6價(jià)以一次函數(shù)對(duì)能量值和價(jià)數(shù)的對(duì)應(yīng)作成校正曲線。采用吸收系數(shù)0.7是為了容易把握Mo的0價(jià)、4價(jià)、6價(jià)的價(jià)數(shù)變化。此外,作為XAFS分析軟件也能夠使用REX2000。接著,將關(guān)于疊層陶瓷電容器的電介質(zhì)層的Mo求出的K端XANES的標(biāo)準(zhǔn)化后的吸收系數(shù)為0.7的能量值應(yīng)用于校正曲線,由此求出Mo的平均價(jià)數(shù)。測(cè)定的結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.20。此外,求出Mo的平均價(jià)數(shù)的放射光X射線吸收分光測(cè)定的樣品通過如下方式制作。將10~30個(gè)制作的疊層陶瓷電容器粉碎,制成粒徑為幾十μm的粉末。該粉末也包含疊層陶瓷電容器的內(nèi)部電極、外部電極(被粉碎后的粉末),將該粉末作為上述放射光X射線吸收分光測(cè)定的樣品。接著,測(cè)定制作出的疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命(105℃、50V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間),結(jié)果為110分鐘,顯示100分以上,顯示為良好的值。另外,在25℃、1kHz下的DC偏壓特性(3V/μm的容量相對(duì)于0偏壓時(shí)的容量的容量減少率)為-50%,為-60%以下,顯示為良好的值。在后述表1表示包括以下說明的實(shí)施例2~20和比較例1~6、測(cè)定結(jié)果的一覽(添加金屬元素的組成、Mo的平均價(jià)數(shù)、高溫加速壽命試驗(yàn)結(jié)果和DC偏壓特性)。[實(shí)施例2]除了采用MnO3=0.1mol(換算值)、(Ho2O3)/2=1.0mol(換算值)以外,與實(shí)施例1同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.20。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為120分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-50%。[實(shí)施例3]除了采用(Ho2O3)/2=1.0mol(換算值)以外,與實(shí)施例1同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.22。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為775分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-50%。[實(shí)施例4]除了采用MnCO3=0.03mol(換算值)以外,與實(shí)施例3同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.21。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為680分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-48%。[實(shí)施例5]除了采用(Ho2O3)/2=0.5mol(換算值)以外,與實(shí)施例4同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.18。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為105分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-47%。[實(shí)施例6]除了采用MnCO3=0.01mol(換算值)、(Ho2O3)/2=1.8mol(換算值)以外,與實(shí)施例1同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.20。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為1530分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-47%。[實(shí)施例7]除了采用MnCO3=0.2mol(換算值)、(Ho2O3)/2=0.1mol(換算值)以外,與實(shí)施例1同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.30。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為103分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-54%。[實(shí)施例8]除了采用MoCO3=0.3mol(換算值)以外,與實(shí)施例3同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.50。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為990分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-52%。[實(shí)施例9]除了使用(Dy2O3)/2代替(Ho2O3)/2以外,與實(shí)施例3同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.30。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為220分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-50%。[實(shí)施例10]除了使用(Gd2O3)/2代替(Ho2O3)/2以外,與實(shí)施例3同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.40。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為350分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-51%。[實(shí)施例11]除了使用(Y2O3)/2代替(Ho2O3)/2以外,與實(shí)施例3同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.40。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為180分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-51%。[實(shí)施例12]除了使用將(Dy2O3)/2和(Gd2O3)/2按1:1混合而成的組成代替(Ho2O3)/2以外,與實(shí)施例3同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.30。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為290分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-50%。[實(shí)施例13]除了(Ho2O3)/2=1.5mol(換算值)以外,與實(shí)施例3同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.44。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為1283分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-51%。[實(shí)施例14]除了MnCO3=0.20mol(換算值)以外,與實(shí)施例13同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.56。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為880分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-55%。[實(shí)施例15]使七鉬酸銨六銨四水合物溶解在離子交換水中,在添加了分散劑的水溶液中,以Ba/Ti摩爾比=1的方式添加BaCO3(比表面積30m2/g)和TiO2(比表面積50m2/g),制成漿料,使用珠磨機(jī)進(jìn)行混合、分散。此外,在該漿料中,以BaTiO3為100mol時(shí),Mo添加量以MoO3換算為0.2mol。將上述漿料干燥而除去水,在930℃進(jìn)行預(yù)燒,合成根據(jù)SEM照片求出的平均粒徑為100nm的含Mo的鈦酸鋇。除了使用該含Mo的鈦酸鋇以外,與實(shí)施例14同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.55。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為890分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-55%。[實(shí)施例16]除了MnCO3=0.28mol(換算值)以外,與實(shí)施例13同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.58。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為900分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-56%。[實(shí)施例17]除了(Ho2O3)/2=1.8mol(換算值)以外,與實(shí)施例16同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.60。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為1010分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-58%。[實(shí)施例18]除了MnCO3=0.3mol(換算值)以外,與實(shí)施例3同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.60。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為930分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-56%。[實(shí)施例19]除了將實(shí)施例16的MnCO3=0.28mol(換算值)中的、0.14mol置換為MgO(換算值)以外,與實(shí)施例16同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.57。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為860分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-54%。[實(shí)施例20]除了(Ho2O3)/2=1.8mol(換算值)以外,與實(shí)施例13同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.50。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為1400分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-55%。[比較例1]除了(Ho2O3)/2=0.1mol(換算值)以外,與實(shí)施例1同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.10。疊層陶瓷電容器的DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-49%,但是高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為98分鐘,短于100分鐘。Mo的平均價(jià)數(shù)低于4.18的情況被推測(cè)為主要原因。[比較例2]除了MnCO3=0.01mol(換算值)以外,與實(shí)施例13同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.10。疊層陶瓷電容器的DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-47%,但是高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為95分鐘,短于100分鐘。Mo的平均價(jià)數(shù)低于4.18的情況被推測(cè)為主要原因。[比較例3]除了MoO3=0.05mol(換算值)、(Ho2O3)/2=1.5mol(換算值)以外,與實(shí)施例3同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.10。疊層陶瓷電容器的DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-48%,但是高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為90分鐘,短于100分鐘。Mo的平均價(jià)數(shù)低于4.18的情況被推測(cè)為主要原因。[比較例4]除了MoO3=0.3mol(換算值)以外,與實(shí)施例14同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.70。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為913分鐘。但是,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-65%,比目標(biāo)值-60%差。Mo的平均價(jià)數(shù)高于4.60的情況被推測(cè)為主要原因。[比較例5]除了(Ho2O3)/2=2.0mol(換算值)以外,與實(shí)施例13同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,生成含有Ho和Si的析出物,疊層陶瓷電容器的絕緣性變差(漏電流變大)。[比較例6]除了MoO3=0.4mol(換算值)以外,與實(shí)施例13同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.70。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)的結(jié)果為980分鐘。但是,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-62%,比目標(biāo)值-60%差。Mo的平均價(jià)數(shù)高于4.60的情況被推測(cè)為主要原因。在下述表1中歸納以上的結(jié)果。由該結(jié)果可知,當(dāng)Mo的平均價(jià)數(shù)在4.18~4.60的范圍時(shí),能夠得到壽命特性和偏壓特性優(yōu)良的疊層陶瓷電容器。此外,實(shí)施例6、實(shí)施例7和實(shí)施例18中,Mn、稀土元素R等的本發(fā)明中的必需的添加材中的任一個(gè)的量超出優(yōu)選的范圍,通過調(diào)整另外添加材料的量,能夠使Mo的平均價(jià)數(shù)收斂于本發(fā)明的范圍。作為結(jié)果,壽命特性和偏壓特性都變?yōu)榱己谩4送?,本發(fā)明中的必須必需的添加材的量在優(yōu)選的范圍時(shí),能夠更容易將Mo的平均價(jià)數(shù)調(diào)整到本發(fā)明的范圍?!颈?】[實(shí)施例5-2]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為0.6μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.7μm以外,與實(shí)施例5同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.18。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、30V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為103分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-50%。[實(shí)施例5-3]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為0.4μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.5μm以外,與實(shí)施例5同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.18。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、12V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為101分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-53%。[實(shí)施例5-4]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為1.0μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.9μm以外,與實(shí)施例5同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.18。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、50V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為120分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-53%。[實(shí)施例17-2]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為0.6μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.7μm以外,與實(shí)施例17同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.60。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、30V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為990分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-58%。[實(shí)施例17-3]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為0.4μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.5μm以外,與實(shí)施例17同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.60。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、12V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為920分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-59%。[實(shí)施例17-4]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為1.0μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.9μm以外,與實(shí)施例17同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.60。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、50V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為1020分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-55%。[比較例2-2]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為0.6μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.7μm以外,與實(shí)施例2同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.10。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、30V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為88分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-52%。[比較例2-3]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為0.4μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.5μm以外,與實(shí)施例2同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.10。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、12V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為81分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-54%。[比較例2-4]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為1.0μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.9μm以外,與實(shí)施例2同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.10。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、50V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為102分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-48%。[比較例4-2]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為0.6μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.7μm以外,與實(shí)施例4同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.70。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、30V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為890分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-67%。[比較例4-3]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為0.4μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.5μm以外,與實(shí)施例4同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.70。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、12V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(p)成為1×1010Ω2cm為止的時(shí)間)的結(jié)果為790分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-69%。[比較例4-4]除了燒制后的電介質(zhì)層的厚度為1.0μm、內(nèi)部電極層的厚度為0.9μm以外,與實(shí)施例4同樣地制作出疊層陶瓷電容器。其結(jié)果,Mo的平均價(jià)數(shù)為4.70。疊層陶瓷電容器的高溫加速壽命試驗(yàn)(在105℃、50V/μm直流電場(chǎng)下絕緣電阻率(ρ)成為1×1010Ωcm為止的時(shí)間)的結(jié)果為890分鐘,DC偏壓特性的測(cè)定結(jié)果為-60%。在下述表2中歸納以上的結(jié)果?!颈?】電介質(zhì)層的厚度(μm)Mo平均價(jià)數(shù)高溫加速壽命(分鐘)DC偏壓特壓性(%)電介質(zhì)組成實(shí)施例5-20.64.18103-50實(shí)施例5實(shí)施例5-30.44.18101-53實(shí)施例5實(shí)施例5-414.18120-45實(shí)施例5實(shí)施例17-20.64.60990-58實(shí)施例17實(shí)施例17-30.44.60920-59實(shí)施例17實(shí)施例17-414.601020-55實(shí)施例17比較例2-20.64.1088-52比較例2比較例2-30.44.1081-54比較例2比較例2-414.10102-48比較例2比較例4-20.64.70890-67比較例4比較例4-30.44.70790-69比較例4比較例4-414.70890-60比較例4通過比較表1和表2的結(jié)果可知,Mo的平均價(jià)數(shù)基本上不受電介質(zhì)層的厚度影響。另外,從表2可知,使Mo的平均價(jià)數(shù)在本發(fā)明的范圍的效果,電介質(zhì)層越薄,特別是電介質(zhì)層的厚度在0.8μm以下時(shí),良好地發(fā)揮作用。并且,從表2可知,Mo的平均價(jià)數(shù)在本發(fā)明中規(guī)定的范圍內(nèi)時(shí),電介質(zhì)層進(jìn)一步薄層化至0.6μm以下,能夠得到壽命特性和偏壓特性良好的疊層陶瓷電容器。符號(hào)說明1疊層陶瓷電容器10陶瓷燒結(jié)體11疊層體12電介質(zhì)層13內(nèi)部電極層15覆蓋層20外部電極。當(dāng)前第1頁1 2 3 
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