技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種TFT背板及其制作方法。本發(fā)明的TFT背板的制作方法，利用具有三種光線穿透率的半色調(diào)掩膜板對有機光阻層進(jìn)行黃光制程，通過一道黃光工序即可實現(xiàn)三種曝光效果，從而同時形成像素定義層、像素定義層上的開口、及支撐層，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明節(jié)約了一道掩膜板與一道黃光工序，可有效節(jié)省治具成本和生產(chǎn)成本；同時，在結(jié)構(gòu)上所述支撐層與像素定義層為一個整體，可避免支撐層脫落，有效提高顯示器的顯示品質(zhì)。本發(fā)明的TFT背板，像素定義層與支撐層在同一個制程中制得，制程簡單，生產(chǎn)成本低，且由于像素定義層與支撐層為一個整體，可避免出現(xiàn)支撐層脫落的問題，從而有效提高顯示器的顯示品質(zhì)。

技術(shù)研發(fā)人員：陳哲
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號碼：201611147758
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.13
技術(shù)公布日：2017.05.10