本發(fā)明涉及紫外光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種條狀光源、面狀光源及采用該面狀光源的曝光部件。

背景技術(shù)：

在紫外光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域中，光刻微細(xì)加工在各行業(yè)中應(yīng)用越來(lái)越廣泛，為了提高生產(chǎn)效率，人們希望曝光光源有高的有效輻照強(qiáng)度和良好的均勻性，以及有大的有效光斑面積。但是，對(duì)于曝光光源而言，增加有效光斑面積與增加有效輻照強(qiáng)度是相互矛盾的。

為了實(shí)現(xiàn)有效輻照強(qiáng)度和有效光斑面積的同時(shí)提高，目前的方式是采用多個(gè)光源拼接成光源條，在曝光面上形成一條帶狀的照射光斑，曝光過(guò)程中，通過(guò)移動(dòng)光源條，使帶狀的照射光斑掃過(guò)待曝光面，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)較大面積的曝光。

在進(jìn)一步的設(shè)計(jì)工作中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，上述這種采用光源條進(jìn)行掃描的方式還存在有不足，具體在于：由于光源呈條狀布置，為了具有較寬的照射光斑，所以，光束角通常都較大，曝光面的有效輻照強(qiáng)度不高，而且整個(gè)曝光過(guò)程移動(dòng)行程較大，部件移動(dòng)部件結(jié)構(gòu)復(fù)雜，還不便于光源移動(dòng)的精確控制。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于：針對(duì)目前紫外曝光技術(shù)領(lǐng)域中，存在的上述不足，提供一種光束角較小、有效輻照強(qiáng)度高的光源結(jié)構(gòu)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：

一種條狀光源，包括支撐架，所述支撐架上設(shè)置有若干光源單元和若干用于調(diào)整光源單元發(fā)出光線的光學(xué)透鏡，每一個(gè)光源單元與一個(gè)光學(xué)透鏡配合，所述光源單元發(fā)出的光線經(jīng)光學(xué)透鏡后，形成光斑單元，各個(gè)光源單元形成的光斑單元在曝光面內(nèi)依次拼接或部分重疊或間隙配合的形成一條狀光斑。

本申請(qǐng)的條狀光源，通過(guò)在支撐架上設(shè)置若干光源單元，并且每個(gè)光源單元都與一個(gè)光學(xué)透鏡相配合，使得光源單元發(fā)出的光線先被光學(xué)透鏡調(diào)整后再照射在曝光面上形成光斑單元，所以，各個(gè)光源單元的光斑單元以部分重疊的方式、相互拼接或者在相鄰光斑單元之間存在微小間隙的方式，形成長(zhǎng)條狀的光斑，如此使得，形成光斑單元光線的光束角較小，光斑具有較高的有效輻照強(qiáng)度，在需要得到大面積光斑時(shí)，將多個(gè)本申請(qǐng)的條狀光源進(jìn)行拼接即可，拼裝過(guò)程簡(jiǎn)單方便，而且，在某個(gè)條狀光源故障時(shí)，也方便更換。

優(yōu)選的，相鄰所述光源單元之間的距離相同，相鄰所述光源單元光軸之間的距離為L(zhǎng)，當(dāng)各個(gè)光源單元形成的光斑單元之間為間隙配合時(shí)，相鄰光斑單元之間的距離小于0.1L。

優(yōu)選的，所述支撐架上還連接有用于壓緊所述光學(xué)透鏡的壓緊件，所述光學(xué)透鏡底部設(shè)置有翼緣，所述壓緊件環(huán)繞于每一個(gè)光學(xué)透鏡的外圍，并壓在所述翼緣上，將所述光學(xué)透鏡固定在所述支撐架上。

通過(guò)設(shè)置壓緊件，保證光學(xué)透鏡安裝的可靠性，進(jìn)而保證在使用過(guò)程中，形成光斑單元的穩(wěn)定性，避免因透鏡移位而導(dǎo)致光斑單元出現(xiàn)變形的情況。

優(yōu)選的，相鄰光學(xué)透鏡之間對(duì)應(yīng)的所述壓緊件上都設(shè)置有用于緊固所述壓緊件與支撐架相對(duì)位置的緊固件。通過(guò)在相鄰光學(xué)透鏡之間設(shè)置固定件，即，每個(gè)光學(xué)透鏡兩側(cè)都存在有固定件固定，進(jìn)一步的保證光學(xué)透鏡安裝的可靠性。

優(yōu)選的，所述緊固件為螺釘。

優(yōu)選的，所述條狀光源還包括有基板和冷卻部件，所述光源單元設(shè)置在所述基板上，所述基板設(shè)置在所述冷卻部件上。在本申請(qǐng)中，由于存在多個(gè)光源單元，所以，通過(guò)設(shè)置冷卻部件，對(duì)各個(gè)光源單元進(jìn)行冷卻，進(jìn)一步的提高本申請(qǐng)條狀光源使用的可靠性。

優(yōu)選的，所述支撐架與所述冷卻部件連接，所述支撐架還包括有擠壓部，所述擠壓部環(huán)繞于所述光源單元外圍，并將所述基板壓緊在所述冷卻部件上。通過(guò)擠壓部將基板壓緊在冷卻部件上，一方面是提高了光源單元安裝的可靠性，另一方面，也提高了冷卻部件對(duì)基板的冷卻效率。

本申請(qǐng)還公開了一種面光源，

一種面光源，包括有安裝板，所述安裝板上設(shè)置有若干上述的條狀光源，所述條狀光源并排設(shè)置，使各個(gè)條狀光源形成的條狀光斑在一平面內(nèi)依次拼接或部分重疊或間隙配合的形成一面狀光斑。

本申請(qǐng)的面光源，在安裝板上設(shè)置若干條狀光源，進(jìn)而形成曝光面積較大的面狀光斑，各個(gè)光斑單元的光束角較小，面狀光斑的有效輻照強(qiáng)度較傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的光源而言，得到了顯著的提高，拼裝過(guò)程簡(jiǎn)單方便，而且，在某個(gè)條狀光源故障時(shí)，也方便更換。

優(yōu)選的，所述面光源的面狀光斑的外圍邊緣環(huán)繞于待曝光區(qū)域邊緣的外圍，使待曝光區(qū)域完全被所述面狀光斑覆蓋。保證待曝光區(qū)域被完全被面狀光斑輻射，實(shí)現(xiàn)曝光效果。

優(yōu)選的，所述面光源至少存在有一條移動(dòng)軌跡，以及存在至少一個(gè)曝光行程，所述面狀光斑照射的區(qū)域中存在有至少一個(gè)有效曝光區(qū)域，當(dāng)所述面光源在所述移動(dòng)軌跡上移動(dòng)一個(gè)所述曝光行程時(shí)，待曝光區(qū)域始終處于有效曝光區(qū)域內(nèi)，并且，所述有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量積分差值小于10%。

本申請(qǐng)的面光源，具有上述的有效曝光區(qū)域，在實(shí)際使用過(guò)程中，有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量進(jìn)行積分，有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量積分差值小于10%，即，保證了進(jìn)行曝光工作時(shí)，待曝光區(qū)域中各個(gè)位置被曝光具有較為一致的均勻性，保證良好的曝光效果；而且，由于是采用上述的方式實(shí)現(xiàn)曝光的均勻性，所以，在另一方面也相對(duì)的減小了對(duì)光源單元以及光學(xué)透鏡一致性的要求，進(jìn)而也減小了生產(chǎn)難度和制造成本；再一方面，在實(shí)際中，對(duì)于單個(gè)光源形成的光斑單元而言，其光斑單元內(nèi)部各個(gè)區(qū)域的輻照強(qiáng)度也存在差異，采用本申請(qǐng)的上述結(jié)構(gòu)和移動(dòng)方式，還進(jìn)一步的消除了這種因光斑單元內(nèi)部輻照強(qiáng)度不均勻而導(dǎo)致曝光不均勻的問(wèn)題；更進(jìn)一步的，在本申請(qǐng)中，由于面狀光斑是由若干光斑單元依次拼接或部分重疊或間隙配合形成的，所以，在光斑單元之間或者重疊處，其輻照強(qiáng)度與其他部位的輻照強(qiáng)度并不相同，所以，本申請(qǐng)的面狀光源如上述的設(shè)置后，也消除了因光源單元拼接所引起曝光不均勻的問(wèn)題。

優(yōu)選的，當(dāng)所述面光源在所述移動(dòng)軌跡上移動(dòng)一個(gè)所述曝光行程時(shí)，待曝光區(qū)域始終處于有效曝光區(qū)域內(nèi)，并且，所述有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量積分相等。作為最優(yōu)的方案，即是使有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量積分相等，如此，即保證了各個(gè)點(diǎn)或區(qū)域被曝光的均勻性。

優(yōu)選的，所述光源單元為波長(zhǎng)從200納米到420納米的紫外LED光源。

優(yōu)選的，所述光源單元的規(guī)格和型號(hào)相同，所述光學(xué)透鏡的尺寸和材質(zhì)相同。采用相同規(guī)格和型號(hào)的光源單元，以及采用相同尺寸和材質(zhì)的，在同一曝光面內(nèi)，能夠保證各個(gè)光斑單元具有較好的一致性，進(jìn)一步的方便光源單元之間相對(duì)位置的布置。

優(yōu)選的，相鄰條狀光源之間的距離相等。

作為進(jìn)一步的優(yōu)選，所有光源單元為均布設(shè)置。

優(yōu)選的，所述光斑單元的形狀為長(zhǎng)方形、正方形、正六邊形或與長(zhǎng)方形相近似的類長(zhǎng)方形形狀、或與正方形相近似的類正方形形狀、或與正六邊形相近似的類正六邊形形狀。

通過(guò)上述的結(jié)構(gòu)可以方便光斑單元在曝光面上配合形成整體的面狀光斑。

作為一種優(yōu)選，相鄰條狀光源的光源單元之間錯(cuò)開布置，使條狀光斑的光斑單元配合部位與相鄰條狀光斑的光斑單元配合部位錯(cuò)開。

本申請(qǐng)還公開了一種曝光部件，

一種曝光部件，包括上述的面光源和驅(qū)動(dòng)部件，所述驅(qū)動(dòng)部件用于驅(qū)動(dòng)所述面光源沿所述移動(dòng)軌跡移動(dòng)。

本申請(qǐng)的曝光部件，由于采用了上述的面光源，保證了進(jìn)行曝光工作時(shí)，待曝光區(qū)域中各個(gè)位置被曝光的均勻性，保證良好的曝光效果；而且，由于是采用上述的方式實(shí)現(xiàn)曝光的均勻性，所以，在另一方面也相對(duì)的減小了對(duì)光源單元以及光學(xué)透鏡一致性的要求，進(jìn)而也減小了生產(chǎn)難度和制造成本；再一方面，在實(shí)際中，對(duì)于單個(gè)光源形成的光斑單元而言，其光斑單元內(nèi)部各個(gè)區(qū)域的輻照強(qiáng)度也存在差異，采用本申請(qǐng)的上述結(jié)構(gòu)和移動(dòng)方式，還進(jìn)一步的消除了這種因光斑單元內(nèi)部輻照強(qiáng)度不均勻而導(dǎo)致曝光不均勻的問(wèn)題；更進(jìn)一步的，在本申請(qǐng)中，由于面狀光斑是由若干光斑單元依次拼接或部分重疊或間隙配合形成的，所以，在光斑單元之間或者重疊處，其輻照強(qiáng)度與其他部位的輻照強(qiáng)度并不相同，所以，本申請(qǐng)的面狀光源如上述的設(shè)置后，也消除了因光源單元拼接所引起曝光不均勻的問(wèn)題。

優(yōu)選的，當(dāng)所述光斑單元的形狀為正方形或者長(zhǎng)方形時(shí)，所述移動(dòng)軌跡與所述光斑單元的對(duì)角線方向相平行，所述曝光行程等于或者大于一個(gè)光斑單元的對(duì)角線長(zhǎng)度。通過(guò)上述的結(jié)構(gòu)，當(dāng)面光源沿光斑單元對(duì)角線方向移動(dòng)一個(gè)等于或者大于光斑單元對(duì)角線長(zhǎng)度的曝光行程時(shí)，在有效曝光區(qū)域內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量積分差值小于10%，保證了進(jìn)行曝光工作時(shí)，待曝光區(qū)域中各個(gè)位置被曝光的均勻性。

綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本申請(qǐng)的有益效果是：

1、本申請(qǐng)的條狀光源，通過(guò)在支撐架上設(shè)置若干光源單元，并且每個(gè)光源單元都與一個(gè)光學(xué)透鏡相配合，使得光源單元發(fā)出的光線先被光學(xué)透鏡調(diào)整后再照射在曝光面上形成光斑單元，所以，各個(gè)光源單元的光斑單元以部分重疊的方式、相互拼接或者在相鄰光斑單元之間存在微小間隙的方式，形成長(zhǎng)條狀的光斑，如此使得，形成光斑單元光線的光束角較小，光斑具有較高的有效輻照強(qiáng)度，在需要得到大面積光斑時(shí)，將多個(gè)本申請(qǐng)的條狀光源進(jìn)行拼接即可，拼裝過(guò)程簡(jiǎn)單方便，而且，在某個(gè)條狀光源故障時(shí)，也方便更換；

2、本申請(qǐng)的面光源，在安裝板上設(shè)置若干條狀光源，進(jìn)而形成曝光面積較大的面狀光斑，各個(gè)光斑單元的光束角較小，面狀光斑的有效輻照強(qiáng)度較傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的光源而言，得到了顯著的提高，拼裝過(guò)程簡(jiǎn)單方便，而且，在某個(gè)條狀光源故障時(shí)，也方便更換；

3、本申請(qǐng)的曝光部件，由于采用了上述的面光源，保證了進(jìn)行曝光工作時(shí)，待曝光區(qū)域中各個(gè)位置被曝光的均勻性，保證良好的曝光效果；而且，由于是采用上述的方式實(shí)現(xiàn)曝光的均勻性，所以，在另一方面也相對(duì)的減小了對(duì)光源單元以及光學(xué)透鏡一致性的要求，進(jìn)而也減小了生產(chǎn)難度和制造成本；再一方面，在實(shí)際中，對(duì)于單個(gè)光源形成的光斑單元而言，其光斑單元內(nèi)部各個(gè)區(qū)域的輻照強(qiáng)度也存在差異，采用本申請(qǐng)的上述結(jié)構(gòu)和移動(dòng)方式，還進(jìn)一步的消除了這種因光斑單元內(nèi)部輻照強(qiáng)度不均勻而導(dǎo)致曝光不均勻的問(wèn)題；更進(jìn)一步的，在本申請(qǐng)中，由于面狀光斑是由若干光斑單元依次拼接或部分重疊或間隙配合形成的，所以，在光斑單元之間或者重疊處，其輻照強(qiáng)度與其他部位的輻照強(qiáng)度并不相同，所以，本申請(qǐng)的面狀光源如上述的設(shè)置后，也消除了因光源單元拼接所引起曝光不均勻的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

圖1為本申請(qǐng)條狀光源的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本申請(qǐng)曝光部件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本申請(qǐng)面光源拆除部分光學(xué)透鏡、壓緊件和支撐架時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本申請(qǐng)光學(xué)透鏡的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為光源單元形成對(duì)應(yīng)光斑單元的示意圖；

圖6為光斑單元之間為間隙配合時(shí)的示意圖；

圖7為光斑單元配合部之間錯(cuò)開的示意圖；

圖8為光斑單元為長(zhǎng)方形時(shí)的示意圖；

圖9為驅(qū)動(dòng)部件驅(qū)動(dòng)面光源移動(dòng)的示意圖，

圖中標(biāo)記：1-支撐架， 2-光源單元，3-光學(xué)透鏡，4-光斑單元，5-壓緊件， 6-翼緣，7-緊固件，8-基板，9-冷卻部件，10-擠壓部，11-安裝板，12-驅(qū)動(dòng)部件，A-有效曝光區(qū)域，。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)的說(shuō)明。

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

實(shí)施例1，如圖1-4所示，

一種條狀光源，包括支撐架1，所述支撐架1上設(shè)置有若干光源單元2和若干用于調(diào)整光源單元2發(fā)出光線的光學(xué)透鏡3，每一個(gè)光源單元2與一個(gè)光學(xué)透鏡3配合，所述光源單元2發(fā)出的光線經(jīng)光學(xué)透鏡3后，形成光斑單元4，各個(gè)光源單元2形成的光斑單元4在曝光面內(nèi)依次拼接或部分重疊或間隙配合的形成一條狀光斑。

本實(shí)施例的條狀光源，通過(guò)在支撐架1上設(shè)置若干光源單元2，并且每個(gè)光源單元2都與一個(gè)光學(xué)透鏡3相配合，使得光源單元2發(fā)出的光線先被光學(xué)透鏡3調(diào)整后再照射在曝光面上形成光斑單元4，所以，各個(gè)光源單元2的光斑單元4以部分重疊的方式、相互拼接或者在相鄰光斑單元4之間存在微小間隙的方式，形成長(zhǎng)條狀的光斑，如此使得，形成光斑單元4光線的光束角較小，光斑具有較高的有效輻照強(qiáng)度，在需要得到大面積光斑時(shí)，將多個(gè)本實(shí)施例的條狀光源進(jìn)行拼接即可，拼裝過(guò)程簡(jiǎn)單方便，而且，在某個(gè)條狀光源故障時(shí)，也方便更換。

作為一種實(shí)施方式，相鄰所述光源單元2之間的距離相同，相鄰所述光源單元2光軸之間的距離為L(zhǎng)，當(dāng)各個(gè)光源單元2形成的光斑單元4之間為間隙配合時(shí)，相鄰光斑單元4之間的距離小于0.1L。

作為一種實(shí)施方式，所述支撐架1上還連接有用于壓緊所述光學(xué)透鏡3的壓緊件5，所述光學(xué)透鏡3底部設(shè)置有翼緣6，所述壓緊件5環(huán)繞于每一個(gè)光學(xué)透鏡3的外圍，并壓在所述翼緣6上，將所述光學(xué)透鏡3固定在所述支撐架1上。

通過(guò)設(shè)置壓緊件5，保證光學(xué)透鏡3安裝的可靠性，進(jìn)而保證在使用過(guò)程中，形成光斑單元4的穩(wěn)定性，避免因透鏡移位而導(dǎo)致光斑單元4出現(xiàn)變形的情況。

作為一種實(shí)施方式，相鄰光學(xué)透鏡3之間對(duì)應(yīng)的所述壓緊件5上都設(shè)置有用于緊固所述壓緊件5與支撐架1相對(duì)位置的緊固件7。通過(guò)在相鄰光學(xué)透鏡3之間設(shè)置固定件，即，每個(gè)光學(xué)透鏡3兩側(cè)都存在有固定件固定，進(jìn)一步的保證光學(xué)透鏡3安裝的可靠性。

進(jìn)一步的，所述緊固件7為螺釘。

作為一種實(shí)施方式，所述條狀光源還包括有基板8和冷卻部件9，所述光源單元2設(shè)置在所述基板8上，所述基板8設(shè)置在所述冷卻部件9上。在本實(shí)施例中，由于存在多個(gè)光源單元2，所以，通過(guò)設(shè)置冷卻部件9，對(duì)各個(gè)光源單元2進(jìn)行冷卻，進(jìn)一步的提高本實(shí)施例條狀光源使用的可靠性。

作為一種實(shí)施方式，所述支撐架1與所述冷卻部件9連接，所述支撐架1還包括有擠壓部10，所述擠壓部10環(huán)繞于所述光源單元2外圍，并將所述基板8壓緊在所述冷卻部件9上。通過(guò)擠壓部10將基板8壓緊在冷卻部件9上，一方面是提高了光源單元2安裝的可靠性，另一方面，也提高了冷卻部件9對(duì)基板8的冷卻效率。

實(shí)施例2，如圖1-4所示，

一種面光源，包括有安裝板11，所述安裝板11上設(shè)置有若干上述的條狀光源，所述條狀光源并排設(shè)置，使各個(gè)條狀光源形成的條狀光斑在一平面內(nèi)依次拼接或部分重疊或間隙配合的形成一面狀光斑。

本實(shí)施例的面光源，在安裝板11上設(shè)置若干條狀光源，進(jìn)而形成曝光面積較大的面狀光斑，各個(gè)光斑單元4的光束角較小，面狀光斑的有效輻照強(qiáng)度較傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的光源而言，得到了顯著的提高，拼裝過(guò)程簡(jiǎn)單方便，而且，在某個(gè)條狀光源故障時(shí)，也方便更換。

作為一種實(shí)施方式，所述面光源的面狀光斑的外圍邊緣環(huán)繞于待曝光區(qū)域邊緣的外圍，使待曝光區(qū)域完全被所述面狀光斑覆蓋。保證待曝光區(qū)域被完全被面狀光斑輻射，實(shí)現(xiàn)曝光效果。

作為一種實(shí)施方式，如圖5-9所示，所述面光源至少存在有一條移動(dòng)軌跡，以及存在至少一個(gè)曝光行程，所述面狀光斑照射的區(qū)域中存在有至少一個(gè)有效曝光區(qū)域A，當(dāng)所述面光源在所述移動(dòng)軌跡上移動(dòng)一個(gè)所述曝光行程時(shí)，待曝光區(qū)域始終處于有效曝光區(qū)域A內(nèi)，并且，所述有效曝光區(qū)域A內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量積分差值小于10%。

本實(shí)施例的面光源，具有上述的有效曝光區(qū)域A，在實(shí)際使用過(guò)程中，有效曝光區(qū)域A內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量積分差值小于10%，即，保證了進(jìn)行曝光工作時(shí)，待曝光區(qū)域中各個(gè)位置被曝光具有較為一致均勻性，保證良好的曝光效果；而且，由于是采用上述的方式實(shí)現(xiàn)曝光的均勻性，所以，在另一方面也相對(duì)的減小了對(duì)光源單元2以及光學(xué)透鏡3一致性的要求，進(jìn)而也減小了生產(chǎn)難度和制造成本；再一方面，在實(shí)際中，對(duì)于單個(gè)光源形成的光斑單元4而言，其光斑單元4內(nèi)部各個(gè)區(qū)域的輻照強(qiáng)度也存在差異，采用本實(shí)施例的上述結(jié)構(gòu)和移動(dòng)方式，還進(jìn)一步的消除了這種因光斑單元4內(nèi)部輻照強(qiáng)度不均勻而導(dǎo)致曝光不均勻的問(wèn)題；更進(jìn)一步的，在本實(shí)施例中，由于面狀光斑是由若干光斑單元4依次拼接或部分重疊或間隙配合形成的，所以，在光斑單元4之間或者重疊處，其輻照強(qiáng)度與其他部位的輻照強(qiáng)度并不相同，所以，本實(shí)施例的面狀光源如上述的設(shè)置后，也消除了因光源單元2拼接所引起曝光不均勻的問(wèn)題。

作為進(jìn)一步的優(yōu)選方案，有效曝光區(qū)域A內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量積分相等。作為最優(yōu)的方案，即是使有效曝光區(qū)域A內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量積分相等，如此，即保證了各個(gè)點(diǎn)或區(qū)域被曝光的均勻性。

優(yōu)選的，所述光源單元2為波長(zhǎng)從200納米到420納米的紫外LED光源

作為一種實(shí)施方式，所述光源單元2的規(guī)格和型號(hào)相同，所述光學(xué)透鏡3的尺寸和材質(zhì)相同。采用相同規(guī)格和型號(hào)的光源單元2，以及采用相同尺寸和材質(zhì)的，在同一曝光面內(nèi)，能夠保證各個(gè)光斑單元4具有較好的一致性，進(jìn)一步的方便光源單元2之間相對(duì)位置的布置。

作為一種實(shí)施方式，相鄰條狀光源之間的距離相等。

作為進(jìn)一步的優(yōu)選，所有光源單元2為均布設(shè)置。

作為一種實(shí)施方式，所述光斑單元4的形狀為長(zhǎng)方形、正方形、正六邊形或與長(zhǎng)方形相近似的類長(zhǎng)方形形狀、或與正方形相近似的類正方形形狀、或與正六邊形相近似的類正六邊形形狀。

通過(guò)上述的結(jié)構(gòu)可以方便光斑單元4在曝光面上配合形成整體的面狀光斑。

作為一種優(yōu)選，相鄰條狀光源的光源單元2之間錯(cuò)開布置，使條狀光斑的光斑單元4配合部位與相鄰條狀光斑的光斑單元4配合部位錯(cuò)開。

實(shí)施例3，如圖1-9所示

一種曝光部件，包括上述的面光源和驅(qū)動(dòng)部件12，所述驅(qū)動(dòng)部件12用于驅(qū)動(dòng)所述面光源沿所述移動(dòng)軌跡移動(dòng)。

本實(shí)施例的曝光部件，由于采用了上述的面光源，保證了進(jìn)行曝光工作時(shí)，待曝光區(qū)域中各個(gè)位置被曝光的均勻性，保證良好的曝光效果；而且，由于是采用上述的方式實(shí)現(xiàn)曝光的均勻性，所以，在另一方面也相對(duì)的減小了對(duì)光源單元2以及光學(xué)透鏡3一致性的要求，進(jìn)而也減小了生產(chǎn)難度和制造成本；再一方面，在實(shí)際中，對(duì)于單個(gè)光源形成的光斑單元4而言，其光斑單元4內(nèi)部各個(gè)區(qū)域的輻照強(qiáng)度也存在差異，采用本實(shí)施例的上述結(jié)構(gòu)和移動(dòng)方式，還進(jìn)一步的消除了這種因光斑單元4內(nèi)部輻照強(qiáng)度不均勻而導(dǎo)致曝光不均勻的問(wèn)題；更進(jìn)一步的，在本實(shí)施例中，由于面狀光斑是由若干光斑單元4依次拼接或部分重疊或間隙配合形成的，所以，在光斑單元4之間或者重疊處，其輻照強(qiáng)度與其他部位的輻照強(qiáng)度并不相同，所以，本實(shí)施例的面狀光源如上述的設(shè)置后，也消除了因光源單元2拼接所引起曝光不均勻的問(wèn)題。

作為一種實(shí)施方式，當(dāng)所述光斑單元4的形狀為正方形或者長(zhǎng)方形時(shí)，所述移動(dòng)軌跡與所述光斑單元4的對(duì)角線方向相平行，所述曝光行程等于或者大于一個(gè)光斑單元4的對(duì)角線長(zhǎng)度。通過(guò)上述的結(jié)構(gòu)，當(dāng)面光源沿光斑單元4對(duì)角線方向移動(dòng)一個(gè)等于或者大于光斑單元4對(duì)角線長(zhǎng)度的曝光行程時(shí)，在有效曝光區(qū)域A內(nèi)的任意兩點(diǎn)或任意兩區(qū)域的光照能量積分差值小于10%，保證了進(jìn)行曝光工作時(shí)，待曝光區(qū)域中各個(gè)位置被曝光的均勻性。

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